[發明專利]掩膜版清潔裝置及方法

在審

• 申請號: 201910361336.3
• 申請日: 2019-04-30
• 公開（公告）號: CN110000142A
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發明（設計）人: 劉蘇偉;王善鶴;楊碩;袁亞鴻;張琪;張孟湜;張杰;古春笑
• 申請（專利權）人: 云谷（固安）科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B3/08;B08B3/12;B08B3/14
• 代理公司: 上海晨皓知識產權代理事務所(普通合伙) 31260
• 代理人: 成麗杰

1.一種掩膜版清潔裝置，其特征在于，包括：用于容納掩膜版的腔室以及噴灑結構，所述噴灑結構用于向所述掩膜版噴灑霧狀清潔液。

2.根據權利要求1所述的掩膜版清潔裝置，其特征在于，所述噴灑結構包括震蕩器以及與所述震蕩器連接的噴嘴，所述噴嘴的噴頭位于所述腔室中，所述震蕩器震蕩所述噴嘴，以使所述噴嘴噴出所述霧狀清潔液；

優選地，所述震蕩器為超聲波震蕩器。

3.根據權利要求2所述的掩膜版清潔裝置，其特征在于，所述震蕩器的數量為一個或多個，每個所述震蕩器均對應設置有一個或多個所述噴嘴。

4.根據權利要求2所述的掩膜版清潔裝置，其特征在于，所述噴嘴內設有毛細管，所述霧狀清潔液經所述毛細管由所述噴頭噴出。

5.根據權利要求1所述的掩膜版清潔裝置，其特征在于，所述噴灑結構包括霧化器，所述霧化器用于向所述腔室內噴灑所述霧狀清潔液。

6.根據權利要求1所述的掩膜版清潔裝置，其特征在于，所述腔室為真空腔室。

7.根據權利要求1所述的掩膜版清潔裝置，其特征在于，還包括與所述腔室連通的過濾器及與所述過濾器連通的液體收集罐；所述過濾器用于過濾所述腔室中流出的廢液；所述液體收集罐用于收集過濾后的廢液。

8.根據權利要求7所述的掩膜版清潔裝置，其特征在于，還包括離心泵，所述離心泵設置在所述液體收集罐與所述噴灑結構之間，用于將所述液體收集罐內的液體泵入所述噴灑結構中。

9.一種掩膜版清潔方法，其特征在于，包括：

提供一種如權利要求1至8任一項所述的掩膜版清潔裝置；

利用所述掩膜版清潔裝置向掩膜版表面噴灑霧狀清潔液；

優選地，利用超聲波震蕩器震蕩噴嘴，以使所述噴嘴向所述掩膜版表面噴灑霧狀清潔液；或者，利用霧化器向所述掩膜版表面噴灑霧狀清潔液。

10.根據權利要求9所述的掩膜版清潔方法，其特征在于，在所述向掩膜版表面噴灑霧狀清潔液之后，還包括：

獲取清洗過所述掩膜版表面的廢液；

將所述廢液加工成滿足預設要求的待使用清潔液。