[發明專利]顯示面板及其制作方法

有效

• 申請號: 201910361334.4
• 申請日: 2019-04-30
• 公開（公告）號: CN110165074B
• 公開（公告）日: 2021-08-06
• 發明（設計）人: 郭林山
• 申請（專利權）人: 武漢天馬微電子有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 北京晟睿智杰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11603
• 代理人: 于淼

本發明公開了一種顯示面板及其制作方法，屬于顯示技術領域，包括：提供一設置有發光器件的基板；形成第一無機材料層；薄化第一無機材料層，得到第一無機層；形成第二無機層；形成第三層；第三層位于第一區域中；復用第三層作為第二掩膜版，使用干刻法對第一無機層和第二無機層圖案化、同時對第三層進行薄化，保留第一區域中的第一無機層，得到第一無機封裝層；保留第一區域中的第二無機層，得到第二無機封裝層；對第三層進行薄化，得到第三封裝層。相對于現有技術，可以節省掩膜版的數量，有利于降低成本。并且提高顯示面板的耐彎折性能。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，更具體地，涉及一種顯示面板及其制作方法。

背景技術

顯示技術自出現至今，技術發展非常迅速，先后出現了陰極射線管技術(CRT)、等離子體顯示技術(PDP)、液晶顯示技術(LCD)、以及最新的有機發光顯示技術(OLED)、微型二極管顯示技術(micro LED)。

隨著社會的發展和人類對物質生活需求的不斷提高，當今顯示技術正在朝著窄邊框化、高對比度、高分辨力、全彩色顯示、低功耗、可靠性高、長壽命以及薄而輕的方向快速邁進，而柔性顯示屏(軟屏)技術的研究也在不斷的進步和深入。與傳統的平板顯示器不同，顯示面板若采用柔性材料作為基板可現實柔性顯示，從而能夠打造夢幻般的視覺效果。柔性顯示面板憑借其可彎曲性能可實現多領域應用，例如可卷曲顯示裝置、柔性可穿戴設備、可折疊顯示器等。

現有技術提供的一種柔性顯示屏中，使用薄膜封裝技術對顯示屏進行封裝。現有技術提供的薄膜封裝技術制作的封裝層中，無機封裝層的厚度較大，大概為1μm左右，彎折過程中出現的裂紋構成水氧入侵路徑，會導致封裝失效，降低顯示屏的顯示品質和可靠性。

發明內容

有鑒于此，本發明提供了一種顯示面板及其制作方法，以解決現有技術提出的問題。

一方面，本發明提供了一種顯示面板的制作方法，包括：提供一設置有發光器件的基板；形成第一無機材料層；薄化第一無機材料層，得到第一無機層；形成第二無機層；形成第三層；第三層位于第一區域中；復用第三層作為第二掩膜版，使用干刻法對第一無機層和第二無機層圖案化、同時對第三層進行薄化，保留第一區域中的第一無機層，得到第一無機封裝層；保留第一區域中的第二無機層，得到第二無機封裝層；對第三層進行薄化，得到第三封裝層。

另一方面，本發明提供了一種顯示面板，包括：設置有發光器件的基板；設置在發光器件一側的第一無機封裝層，第一無機封裝層所在的區域為第一區域；設置在第一無機封裝層背離發光器件一側的第二無機封裝層，第二無機封裝層位于第一區域；設置在第二無機封裝層背離發光器件一側的第三封裝層，第三封裝層位于第一區域；第三封裝層的豎截面包括弧形坡；弧形坡的一端和第一區域的邊界齊平，沿著第一區域的邊界朝向第一區域內部的方向，弧形坡位置的第三封裝層的厚度逐漸增加。

與現有技術相比，本發明提供的顯示面板及其制作方法，至少實現了如下的有益效果：

一方面，對第一無機材料層進行薄化，得到第一無機層，較薄的第一無機層有利于提高其彎折性能，使其不易出現裂紋。

另一方面，在第一區域中形成第三層，復用第三層作為第二掩膜版，對于第一無機層和第二無機層進行刻蝕，保留第一區域中的第一無機層，得到第一無機封裝層，保留第一區域中的第二無機層，得到第二無機封裝層。可以節省掩膜版的數量，有利于降低成本。

并且，又一方面，在使用干刻法對第一無機層和第二無機層圖案化的同時，刻蝕氣體對于第三層進行薄化，減薄后得到第三封裝層。較薄的第三封裝層有利于提高其彎折性能，使其不易出現裂紋。

本發明提供的顯示面板，各個封裝層的厚度較薄，使顯示面板具有良好的耐彎折性能，提高了顯示品質和可靠性。

當然，實施本發明的任一產品不必特定需要同時達到以上所述的所有技術效果。