[發明專利]光罩取放裝置

有效

• 申請號: 201910351292.6
• 申請日: 2019-04-28
• 公開（公告）號: CN110127375B
• 公開（公告）日: 2021-09-03
• 發明（設計）人: 龔昌鋒;田應超
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;B08B5/02
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

本發明提出了一種光罩取放裝置，包括第一存儲區，用于存儲待處理光罩；中轉區，用于所述待處理光罩的中轉站；清潔區，用于清洗所述待處理光罩；第二存儲區，用于存儲目標光罩；抓取組件，用于將所述待處理光罩從所述第一存儲區取出；所述待處理光罩經所述抓取組件取出，并運輸至所述中轉區，以及經所述中轉區運輸至所述清潔區或者所述第二存儲區。本申請設計了一種光罩取放裝置，通過控制抓取組件以及可移動固定組件對該待處理光罩進行自動搬運及清潔，避免了因人工的操作而出現損傷。

技術領域

本發明涉及顯示領域，特別涉及一種光罩清潔裝置。

背景技術

在顯示面板的制造需要用光罩曝光，光罩又名掩膜板，是印刻有特定圖案的特殊透光材料，光線透過光罩將光罩上的圖形印刷到玻璃上。曝光是極其精密的過程，要求生產潔凈度極高。光罩表面細微的臟污或雜質都將影響光的透過率，從而造成線寬或膜厚的變化形成瑕疵或Mura，影響批量產品品質。

光罩在儲存及搬運中使用的裝載容器是光罩盒，通常光罩盒是密封的，可以保護光罩免受撞擊損傷或微塵污染。但是在使用光罩時，需要人工進行搬放、及后續的人工清潔，在上述過程中，光罩極易出現損傷。

因此，亟需一種光罩取放裝置以解決上述技術問題。

發明內容

本發明提供了一種光罩取放裝置，以解決現有光罩易出現損傷的技術問題。

為實現上述目的，本發明提供的技術方案如下：

本發明提供一種光罩取放裝置，其包括：

第一存儲區，用于存儲待處理光罩；

中轉區，用于所述待處理光罩的中轉站；

清潔區，用于清洗所述待處理光罩；

第二存儲區，用于存儲目標光罩；

抓取組件，用于將所述待處理光罩從所述第一存儲區取出；

所述待處理光罩經所述抓取組件取出，并運輸至所述中轉區，以及經所述中轉區運輸至所述清潔區或者所述第二存儲區。

在本申請的光罩取放裝置中，

所述中轉區內設置可移動固定組件；

所述可移動固定組件用于固定所述待處理光罩，以及將所述待處理光罩運輸至所述清潔區或者所述第二存儲區。

在本申請的光罩取放裝置中，

所述光罩取放裝置還包括水平軌道和豎直軌道；

所述水平軌道和所述豎直軌道設置于所述光罩取放裝置的框架上；

所述抓取組件通過所述水平軌道在所述光罩取放裝置上水平移動，所述可移動固定組件通過所述水平軌道及所述豎直軌道在所述光罩取放裝置上水平及豎直移動。

在本申請的光罩取放裝置中，

所述抓取組件與所述水平軌道滑動連接；

所述抓取組件包括可伸縮臂和位于遠離所述水平軌道的至少兩個抓取夾；

所述抓取組件通過所述可伸縮臂將所述抓取夾傳遞至預定位置，并通過所述抓取夾將所述待處理光罩從所述第一存儲區去除。

在本申請的光罩取放裝置中，

所述抓取組件至少包括第一抓取夾和第二抓取夾；

所述第一抓取夾和所述第二抓取夾相對設置，位于所述待處理光罩的兩側；

所述第一抓取夾和所述第二抓取夾內設置有凹槽，所述凹槽的寬度大于所述待處理光罩的厚度。

在本申請的光罩取放裝置中，