[發(fā)明專(zhuān)利]光罩取放裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910351292.6 | 申請(qǐng)日： | 2019-04-28 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN110127375B | 公開(kāi)（公告）日： | 2021-09-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 龔昌鋒;田應(yīng)超 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 武漢華星光電技術(shù)有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | B65G49/06 | 分類(lèi)號(hào)： | B65G49/06;B08B5/02 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黃威 |
| 地址： | 430079 湖北省武漢市*** | 國(guó)省代碼： | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 光罩取放 裝置 | ||
1.一種光罩取放裝置，其特征在于，包括：
第一存儲(chǔ)區(qū)，用于存儲(chǔ)待處理光罩；
中轉(zhuǎn)區(qū)，用于所述待處理光罩的中轉(zhuǎn)站；
清潔區(qū)，用于清洗所述待處理光罩；
第二存儲(chǔ)區(qū)，用于存儲(chǔ)目標(biāo)光罩；
抓取組件，用于將所述待處理光罩從所述第一存儲(chǔ)區(qū)取出；
所述待處理光罩經(jīng)所述抓取組件取出，并運(yùn)輸至所述中轉(zhuǎn)區(qū)，以及經(jīng)所述中轉(zhuǎn)區(qū)運(yùn)輸至所述清潔區(qū)或者所述第二存儲(chǔ)區(qū)；
其中，所述中轉(zhuǎn)區(qū)位于所述第一存儲(chǔ)區(qū)、所述第二存儲(chǔ)區(qū)及所述清潔區(qū)的中心位置，以及在豎直方向上，所述清潔區(qū)位于所述中轉(zhuǎn)區(qū)的下方，所述中轉(zhuǎn)區(qū)及所述清潔區(qū)共用一豎直軌道；所述中轉(zhuǎn)區(qū)內(nèi)設(shè)置可移動(dòng)固定組件，所述可移動(dòng)固定組件用于固定所述待處理光罩，以及將所述待處理光罩運(yùn)輸至所述清潔區(qū)或者所述第二存儲(chǔ)區(qū)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩取放裝置，其特征在于，所述光罩取放裝置包括水平軌道和豎直軌道，所述水平軌道和所述豎直軌道設(shè)置于所述光罩取放裝置的框架上，所述抓取組件通過(guò)所述水平軌道在所述光罩取放裝置上水平移動(dòng)，所述可移動(dòng)固定組件通過(guò)所述水平軌道及所述豎直軌道在所述光罩取放裝置上水平及豎直移動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光罩取放裝置，其特征在于，
所述抓取組件與所述水平軌道滑動(dòng)連接；
所述抓取組件包括可伸縮臂和位于遠(yuǎn)離所述水平軌道的至少兩個(gè)抓取夾；
所述抓取組件通過(guò)所述可伸縮臂將所述抓取夾傳遞至預(yù)定位置，并通過(guò)所述抓取夾將所述待處理光罩從所述第一存儲(chǔ)區(qū)去除。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光罩取放裝置，其特征在于，
所述抓取組件至少包括第一抓取夾和第二抓取夾；
所述第一抓取夾和所述第二抓取夾相對(duì)設(shè)置，位于所述待處理光罩的兩側(cè)；
所述第一抓取夾和所述第二抓取夾內(nèi)設(shè)置有凹槽，所述凹槽的寬度大于所述待處理光罩的厚度。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光罩取放裝置，其特征在于，
所述抓取組件還包括連接所述可伸縮臂及所述抓取夾的連接構(gòu)件，所述連接構(gòu)件用于控制所述抓取夾在第一方向或第二方向上的間距；
其中，所述第一方向與所述待處理光罩的長(zhǎng)邊方向平行，所述第二方向與所述待處理光罩的短邊方向平行。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光罩取放裝置，其特征在于，
所述清潔區(qū)內(nèi)設(shè)置有第一清潔構(gòu)件和第二清潔構(gòu)件；
所述第一清潔構(gòu)件用于提供清潔介質(zhì)；
所述第二清潔構(gòu)件用于吸收所述清潔介質(zhì)；
所述第二清潔構(gòu)件與所述待處理光罩的間距大于所述第一清潔構(gòu)件與所述待處理光罩的間距。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光罩取放裝置，其特征在于，
所述第一清潔構(gòu)件包括至少一個(gè)出氣口；
所述第二清潔構(gòu)件包括至少一個(gè)吸氣口；
所述出氣口的出氣方向朝向所述第二清潔構(gòu)件；
所述吸氣口的出氣方向朝向所述第一清潔構(gòu)件。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光罩取放裝置，其特征在于，所述第一清潔構(gòu)件和所述第二清潔構(gòu)件與所述待處理光罩的長(zhǎng)邊或短邊平行設(shè)置；
在所述待處理光罩從所述中轉(zhuǎn)區(qū)進(jìn)入所述清潔區(qū)的過(guò)程中，所述第一清潔構(gòu)件和所述第二清潔構(gòu)件同時(shí)對(duì)所述待處理光罩進(jìn)行處理。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光罩取放裝置，其特征在于，所述清潔介質(zhì)包括氮?dú)狻?/p>
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