[發明專利]光罩取放裝置

有效

• 申請號: 201910351292.6
• 申請日: 2019-04-28
• 公開（公告）號: CN110127375B
• 公開（公告）日: 2021-09-03
• 發明（設計）人: 龔昌鋒;田應超
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;B08B5/02
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

1.一種光罩取放裝置，其特征在于，包括：

第一存儲區，用于存儲待處理光罩；

中轉區，用于所述待處理光罩的中轉站；

清潔區，用于清洗所述待處理光罩；

第二存儲區，用于存儲目標光罩；

抓取組件，用于將所述待處理光罩從所述第一存儲區取出；

所述待處理光罩經所述抓取組件取出，并運輸至所述中轉區，以及經所述中轉區運輸至所述清潔區或者所述第二存儲區；

其中，所述中轉區位于所述第一存儲區、所述第二存儲區及所述清潔區的中心位置，以及在豎直方向上，所述清潔區位于所述中轉區的下方，所述中轉區及所述清潔區共用一豎直軌道；所述中轉區內設置可移動固定組件，所述可移動固定組件用于固定所述待處理光罩，以及將所述待處理光罩運輸至所述清潔區或者所述第二存儲區。

2.根據權利要求1所述的光罩取放裝置，其特征在于，所述光罩取放裝置包括水平軌道和豎直軌道，所述水平軌道和所述豎直軌道設置于所述光罩取放裝置的框架上，所述抓取組件通過所述水平軌道在所述光罩取放裝置上水平移動，所述可移動固定組件通過所述水平軌道及所述豎直軌道在所述光罩取放裝置上水平及豎直移動。

3.根據權利要求2所述的光罩取放裝置，其特征在于，

所述抓取組件與所述水平軌道滑動連接；

所述抓取組件包括可伸縮臂和位于遠離所述水平軌道的至少兩個抓取夾；

所述抓取組件通過所述可伸縮臂將所述抓取夾傳遞至預定位置，并通過所述抓取夾將所述待處理光罩從所述第一存儲區去除。

4.根據權利要求3所述的光罩取放裝置，其特征在于，

所述抓取組件至少包括第一抓取夾和第二抓取夾；

所述第一抓取夾和所述第二抓取夾相對設置，位于所述待處理光罩的兩側；

所述第一抓取夾和所述第二抓取夾內設置有凹槽，所述凹槽的寬度大于所述待處理光罩的厚度。

5.根據權利要求3所述的光罩取放裝置，其特征在于，

所述抓取組件還包括連接所述可伸縮臂及所述抓取夾的連接構件，所述連接構件用于控制所述抓取夾在第一方向或第二方向上的間距；

其中，所述第一方向與所述待處理光罩的長邊方向平行，所述第二方向與所述待處理光罩的短邊方向平行。

6.根據權利要求1所述的光罩取放裝置，其特征在于，

所述清潔區內設置有第一清潔構件和第二清潔構件；

所述第一清潔構件用于提供清潔介質；

所述第二清潔構件用于吸收所述清潔介質；

所述第二清潔構件與所述待處理光罩的間距大于所述第一清潔構件與所述待處理光罩的間距。

7.根據權利要求6所述的光罩取放裝置，其特征在于，

所述第一清潔構件包括至少一個出氣口；

所述第二清潔構件包括至少一個吸氣口；

所述出氣口的出氣方向朝向所述第二清潔構件；

所述吸氣口的出氣方向朝向所述第一清潔構件。

8.根據權利要求6所述的光罩取放裝置，其特征在于，所述第一清潔構件和所述第二清潔構件與所述待處理光罩的長邊或短邊平行設置；

在所述待處理光罩從所述中轉區進入所述清潔區的過程中，所述第一清潔構件和所述第二清潔構件同時對所述待處理光罩進行處理。

9.根據權利要求6所述的光罩取放裝置，其特征在于，所述清潔介質包括氮氣。