[發明專利]一種激光器諧振腔反射鏡的遠距離角度調節系統

在審

• 申請號: 201910342498.2
• 申請日: 2019-04-26
• 公開（公告）號: CN110086075A
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發明（設計）人: 張闊;陳飛;潘其坤;孫俊杰;于德洋;何洋
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: H01S3/105
• 分類號: H01S3/105
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 曹衛良

本發明提供了一種激光器諧振腔反射鏡的遠距離角度調節系統，包括角度調節機構、第一方向調節機構、第二方向調節機構、偏轉驅動電機、俯仰驅動電機、信號處理模塊、控制模塊；信號處理模塊將操作指令轉化為偏轉驅動電機和俯仰驅動電機可識別的信號，偏轉驅動電機和俯仰驅動電機根據信號輸出相應的力。本發明的激光器諧振腔反射鏡的遠距離角度調節系統可以通過操作控制模塊，遠距離調節激光器諧振腔反射鏡的偏轉及俯仰，避免了打開激光器箱體調節反射鏡帶來的調節費時、費力的問題，顯著提高了激光器諧振腔的調節效率，同時，工作人員可在安全的距離范圍調節激光器諧振腔反射鏡，基本消除了工作人員帶電作業的潛在風險。

技術領域

本發明涉及激光器技術領域，具體涉及一種激光器諧振腔反射鏡的遠距離調節系統。

背景技術

激光器諧振腔反射鏡的位置和角度影響輸出激光的功率和光束質量。激光器諧振腔反射鏡的精確調節一直是激光器諧振腔調試中的重要環節。現有調節激光器諧振腔反射鏡需通過激光器諧振腔反射鏡安裝機構的調節螺栓來實現反射鏡偏轉和俯仰的調節，利用現有方法調節激光器諧振腔反射鏡時需要打開激光器箱體，拆除遮擋反射鏡的機構，嚴重影響激光器調節效率；并且調節激光器諧振腔反射鏡時需要工作人員在激光器旁邊進行操作，高功率激光器工作時激光器通有高電壓和大電流，人員近距離操作具有一定的風險性。

為解決上述問題，亟需突破激光器諧振腔反射鏡遠距離調節技術，避免打開激光器箱體調節反射鏡帶來的調節費時、費力的問題，消除了工作人員帶電作業的潛在風險。

發明內容

本發明的目的在于針對現有技術的上述缺陷，提供一種激光器諧振腔反射鏡的遠距離調節系統，可以通過操作控制模塊，遠距離調節激光器諧振腔反射鏡的偏轉及俯仰，避免了打開激光器箱體調節反射鏡帶來的調節費時、費力的問題，顯著提高了激光器諧振腔的調節效率，同時，工作人員可在安全的距離范圍調節激光器諧振腔反射鏡，基本消除了工作人員帶電作業的潛在風險。

本發明的目的可通過以下的技術措施來實現：

本發明提供了一種激光器諧振腔反射鏡的遠距離角度調節系統，包括角度調節機構、第一方向調節機構、第二方向調節機構、偏轉驅動電機、俯仰驅動電機、信號處理模塊、控制模塊；

所述角度調節機構用于執行并實現所述反射鏡的偏轉和俯仰角度調節；

所述第一方向調節機構連接所述偏轉驅動電機與所述角度調節機構，將所述偏轉驅動電機輸出的偏轉力的方向轉換成適合所述角度調節機構的方向；

所述第二方向調節機構連接所述俯仰驅動電機與所述角度調節機構，將所述俯仰驅動電機輸出的俯仰力的方向轉換成適合所述角度調節機構的方向；

所述偏轉驅動電機、所述俯仰驅動電機與所述信號處理模塊電性連接，所述控制模塊與所述信號處理模塊電性連接，所述控制模塊用于輸出操作指令，所述信號處理模塊用于將所述操作指令轉化為所述偏轉驅動電機和所述俯仰驅動電機可識別的信號，所述偏轉驅動電機和所述俯仰驅動電機根據信號輸出相應的力。

進一步地，所述偏轉驅動電機、所述俯仰驅動電機為力矩電機。

進一步地，在所述偏轉驅動電機與所述第一方向調節機構間還設置有偏轉力矩傳動軸，用于傳動所述偏轉驅動電機產生的力矩。

進一步地，在所述俯仰驅動電機與所述第二方向調節機構間還設置有俯仰力矩傳動軸，用于傳動所述俯仰驅動電機產生的力矩。

進一步地，所述第一方向調節機構包括兩個互相嚙合的錐齒輪組成的錐齒輪組，將所述偏轉驅動電機輸出的偏轉力矩的由水平方向轉換成垂直方向。

進一步地，所述第二方向調節機構包括兩個互相嚙合的錐齒輪組成的錐齒輪組，將所述俯仰驅動電機輸出的俯仰力矩的由水平方向轉換成垂直方向。