[發(fā)明專利]一種激光器諧振腔反射鏡的遠(yuǎn)距離角度調(diào)節(jié)系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910342498.2
• 申請日: 2019-04-26
• 公開（公告）號: CN110086075A
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張闊;陳飛;潘其坤;孫俊杰;于德洋;何洋
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號: H01S3/105
• 分類號: H01S3/105
• 代理公司: 深圳市科進(jìn)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44316
• 代理人: 曹衛(wèi)良

本發(fā)明提供了一種激光器諧振腔反射鏡的遠(yuǎn)距離角度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，包括角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、第一方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、第二方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、偏轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)、俯仰驅(qū)動電機(jī)、信號處理模塊、控制模塊；信號處理模塊將操作指令轉(zhuǎn)化為偏轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)和俯仰驅(qū)動電機(jī)可識別的信號，偏轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)和俯仰驅(qū)動電機(jī)根據(jù)信號輸出相應(yīng)的力。本發(fā)明的激光器諧振腔反射鏡的遠(yuǎn)距離角度調(diào)節(jié)系統(tǒng)可以通過操作控制模塊，遠(yuǎn)距離調(diào)節(jié)激光器諧振腔反射鏡的偏轉(zhuǎn)及俯仰，避免了打開激光器箱體調(diào)節(jié)反射鏡帶來的調(diào)節(jié)費(fèi)時、費(fèi)力的問題，顯著提高了激光器諧振腔的調(diào)節(jié)效率，同時，工作人員可在安全的距離范圍調(diào)節(jié)激光器諧振腔反射鏡，基本消除了工作人員帶電作業(yè)的潛在風(fēng)險。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及激光器技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種激光器諧振腔反射鏡的遠(yuǎn)距離調(diào)節(jié)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

激光器諧振腔反射鏡的位置和角度影響輸出激光的功率和光束質(zhì)量。激光器諧振腔反射鏡的精確調(diào)節(jié)一直是激光器諧振腔調(diào)試中的重要環(huán)節(jié)。現(xiàn)有調(diào)節(jié)激光器諧振腔反射鏡需通過激光器諧振腔反射鏡安裝機(jī)構(gòu)的調(diào)節(jié)螺栓來實(shí)現(xiàn)反射鏡偏轉(zhuǎn)和俯仰的調(diào)節(jié)，利用現(xiàn)有方法調(diào)節(jié)激光器諧振腔反射鏡時需要打開激光器箱體，拆除遮擋反射鏡的機(jī)構(gòu)，嚴(yán)重影響激光器調(diào)節(jié)效率；并且調(diào)節(jié)激光器諧振腔反射鏡時需要工作人員在激光器旁邊進(jìn)行操作，高功率激光器工作時激光器通有高電壓和大電流，人員近距離操作具有一定的風(fēng)險性。

為解決上述問題，亟需突破激光器諧振腔反射鏡遠(yuǎn)距離調(diào)節(jié)技術(shù)，避免打開激光器箱體調(diào)節(jié)反射鏡帶來的調(diào)節(jié)費(fèi)時、費(fèi)力的問題，消除了工作人員帶電作業(yè)的潛在風(fēng)險。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種激光器諧振腔反射鏡的遠(yuǎn)距離調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可以通過操作控制模塊，遠(yuǎn)距離調(diào)節(jié)激光器諧振腔反射鏡的偏轉(zhuǎn)及俯仰，避免了打開激光器箱體調(diào)節(jié)反射鏡帶來的調(diào)節(jié)費(fèi)時、費(fèi)力的問題，顯著提高了激光器諧振腔的調(diào)節(jié)效率，同時，工作人員可在安全的距離范圍調(diào)節(jié)激光器諧振腔反射鏡，基本消除了工作人員帶電作業(yè)的潛在風(fēng)險。

本發(fā)明的目的可通過以下的技術(shù)措施來實(shí)現(xiàn)：

本發(fā)明提供了一種激光器諧振腔反射鏡的遠(yuǎn)距離角度調(diào)節(jié)系統(tǒng)，包括角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、第一方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、第二方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)、偏轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)、俯仰驅(qū)動電機(jī)、信號處理模塊、控制模塊；

所述角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)用于執(zhí)行并實(shí)現(xiàn)所述反射鏡的偏轉(zhuǎn)和俯仰角度調(diào)節(jié)；

所述第一方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)連接所述偏轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)與所述角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，將所述偏轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)輸出的偏轉(zhuǎn)力的方向轉(zhuǎn)換成適合所述角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的方向；

所述第二方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)連接所述俯仰驅(qū)動電機(jī)與所述角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，將所述俯仰驅(qū)動電機(jī)輸出的俯仰力的方向轉(zhuǎn)換成適合所述角度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的方向；

所述偏轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)、所述俯仰驅(qū)動電機(jī)與所述信號處理模塊電性連接，所述控制模塊與所述信號處理模塊電性連接，所述控制模塊用于輸出操作指令，所述信號處理模塊用于將所述操作指令轉(zhuǎn)化為所述偏轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)和所述俯仰驅(qū)動電機(jī)可識別的信號，所述偏轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)和所述俯仰驅(qū)動電機(jī)根據(jù)信號輸出相應(yīng)的力。

進(jìn)一步地，所述偏轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)、所述俯仰驅(qū)動電機(jī)為力矩電機(jī)。

進(jìn)一步地，在所述偏轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)與所述第一方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)間還設(shè)置有偏轉(zhuǎn)力矩傳動軸，用于傳動所述偏轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)產(chǎn)生的力矩。

進(jìn)一步地，在所述俯仰驅(qū)動電機(jī)與所述第二方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)間還設(shè)置有俯仰力矩傳動軸，用于傳動所述俯仰驅(qū)動電機(jī)產(chǎn)生的力矩。

進(jìn)一步地，所述第一方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括兩個互相嚙合的錐齒輪組成的錐齒輪組，將所述偏轉(zhuǎn)驅(qū)動電機(jī)輸出的偏轉(zhuǎn)力矩的由水平方向轉(zhuǎn)換成垂直方向。

進(jìn)一步地，所述第二方向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括兩個互相嚙合的錐齒輪組成的錐齒輪組，將所述俯仰驅(qū)動電機(jī)輸出的俯仰力矩的由水平方向轉(zhuǎn)換成垂直方向。