[發明專利]一種激光器諧振腔反射鏡的遠距離角度調節系統

在審

• 申請號: 201910342498.2
• 申請日: 2019-04-26
• 公開（公告）號: CN110086075A
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發明（設計）人: 張闊;陳飛;潘其坤;孫俊杰;于德洋;何洋
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: H01S3/105
• 分類號: H01S3/105
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 曹衛良

1.一種激光器諧振腔反射鏡的遠距離角度調節系統，其特征在于，包括角度調節機構、第一方向調節機構、第二方向調節機構、偏轉驅動電機、俯仰驅動電機、信號處理模塊、控制模塊；

所述角度調節機構用于執行并實現所述反射鏡的偏轉和俯仰角度調節；

所述第一方向調節機構連接所述偏轉驅動電機與所述角度調節機構，將所述偏轉驅動電機輸出的偏轉力的方向轉換成適合所述角度調節機構的方向；

所述第二方向調節機構連接所述俯仰驅動電機與所述角度調節機構，將所述俯仰驅動電機輸出的俯仰力的方向轉換成適合所述角度調節機構的方向；

所述偏轉驅動電機、所述俯仰驅動電機與所述信號處理模塊電性連接，所述控制模塊與所述信號處理模塊電性連接，所述控制模塊用于輸出操作指令，所述信號處理模塊用于將所述操作指令轉化為所述偏轉驅動電機和所述俯仰驅動電機可識別的信號，所述偏轉驅動電機和所述俯仰驅動電機根據信號輸出相應的力。

2.根據權利要求1所述的激光器諧振腔反射鏡的遠距離角度調節系統，其特征在于，所述偏轉驅動電機、所述俯仰驅動電機為力矩電機。

3.根據權利要求2所述的激光器諧振腔反射鏡的遠距離角度調節系統，其特征在于，在所述偏轉驅動電機與所述第一方向調節機構間還設置有偏轉力矩傳動軸，用于傳動所述偏轉驅動電機產生的力矩。

4.根據權利要求2所述的激光器諧振腔反射鏡的遠距離角度調節系統，其特征在于，在所述俯仰驅動電機與所述第二方向調節機構間還設置有俯仰力矩傳動軸，用于傳動所述俯仰驅動電機產生的力矩。

5.根據權利要求2所述的激光器諧振腔反射鏡的遠距離角度調節系統，其特征在于，所述第一方向調節機構包括兩個互相嚙合的錐齒輪組成的錐齒輪組，將所述偏轉驅動電機輸出的偏轉力矩的由水平方向轉換成垂直方向。

6.根據權利要求2所述的激光器諧振腔反射鏡的遠距離角度調節系統，其特征在于，所述第二方向調節機構包括兩個互相嚙合的錐齒輪組成的錐齒輪組，將所述俯仰驅動電機輸出的俯仰力矩的由水平方向轉換成垂直方向。

7.根據權利要求1所述的激光器諧振腔反射鏡的遠距離角度調節系統，其特征在于，所述控制模塊為計算機，所述計算機中的操作軟件發出運動信號，所述信號處理模塊將所述運動信號處理后傳遞給所述偏轉驅動電機和所述俯仰驅動電機。

8.根據權利要求1所述的激光器諧振腔反射鏡的遠距離角度調節系統，其特征在于，所述偏轉驅動電機的角速度、轉動角度可設計，由所述控制模塊進行控制。

9.根據權利要求1所述的激光器諧振腔反射鏡的遠距離角度調節系統，其特征在于，所述俯仰驅動電機的角速度、轉動角度可設計，由所述控制模塊進行控制。