[發明專利]一種激光器諧振腔反射鏡的二維角度調節機構

有效

• 申請號: 201910342482.1
• 申請日: 2019-04-26
• 公開（公告）號: CN110011172B
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 張闊;陳飛;潘其坤;何洋;于德洋;孫俊杰
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: H01S3/08
• 分類號: H01S3/08;G02B7/182
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 曹衛良

1.一種激光器諧振腔反射鏡的二維角度調節機構，其特征在于，包括偏轉驅動機構、俯仰驅動機構、支撐架、鏡片安裝架；

所述支撐架用于支撐固定所述鏡片安裝架，所述支撐架固定安裝于所述偏轉驅動機構上，所述俯仰驅動機構安裝于所述支撐架上，在所述偏轉驅動機構的驅動下所述俯仰驅動機構和所述鏡片安裝架同步轉動；所述鏡片安裝架同時固定于所述俯仰驅動機構上，在所述俯仰驅動機構的驅動下轉動；

所述反射鏡安裝于所述鏡片安裝架上，且所述反射鏡的幾何中心處于所述偏轉驅動機構的轉動軸線與所述俯仰驅動機構的轉動軸線的交點上，所述偏轉驅動機構用于實現所述反射鏡的偏轉角度調節，所述俯仰驅動機構用于實現所述反射鏡的俯仰角度調節；

所述偏轉驅動機構包括偏轉主動齒輪、偏轉從動齒輪；

所述偏轉主動齒輪與所述偏轉從動齒輪嚙合，所述偏轉主動齒輪受偏轉外力作用傳動給所述偏轉從動齒輪，所述支撐架固定安裝于所述偏轉從動齒輪上，所述偏轉驅動機構的轉動軸線為所述偏轉從動齒輪的軸線；

所述俯仰驅動機構包括俯仰主動蝸桿、俯仰從動齒輪；

所述俯仰主動蝸桿可自轉地安裝于所述支撐架上，所述俯仰從動齒輪與所述俯仰主動蝸桿嚙合，所述鏡片安裝架同時固定于所述俯仰從動齒輪上，所述俯仰主動蝸桿受俯仰外力作用傳動給所述俯仰從動齒輪，所述俯仰驅動機構的轉動軸線為所述俯仰從動齒輪的軸線。

2.根據權利要求1所述的激光器諧振腔反射鏡的二維角度調節機構，其特征在于，所述偏轉主動齒輪和所述偏轉從動齒輪的傳動比可設計。

3.根據權利要求1所述的激光器諧振腔反射鏡的二維角度調節機構，其特征在于，所述俯仰主動蝸桿和所述俯仰從動齒輪的傳動比可設計。