[發明專利]一種激光器諧振腔反射鏡的二維角度調節機構

有效

• 申請號: 201910342482.1
• 申請日: 2019-04-26
• 公開（公告）號: CN110011172B
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 張闊;陳飛;潘其坤;何洋;于德洋;孫俊杰
• 申請（專利權）人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
• 主分類號: H01S3/08
• 分類號: H01S3/08;G02B7/182
• 代理公司: 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙) 44316
• 代理人: 曹衛良

本發明提供了一種激光器諧振腔反射鏡的二維角度調節機構，包括偏轉驅動機構、俯仰驅動機構、支撐架、鏡片安裝架；支撐架用于支撐固定鏡片安裝架，支撐架固定安裝于偏轉驅動機構上，俯仰支架安裝于支撐架上，在偏轉驅動機構的驅動下俯仰驅動機構和鏡片安裝架同步轉動；鏡片安裝架同時固定于所述俯仰驅動機構上，在俯仰驅動機構的驅動下轉動；反射鏡安裝于所述鏡片安裝架上，且反射鏡的幾何中心處于偏轉驅動機構的轉動軸線與俯仰驅動機構的轉動軸線的交點上。本發明的激光器諧振腔反射鏡的二維角度調節機構實現了反射鏡的偏轉和俯仰角度調節，過程互不干涉，有效解決了調節過程費時、費力的問題，提高了調節效率，降低了激光器使用和維護成本。

技術領域

本發明涉及激光器技術領域，具體涉及一種激光器諧振腔反射鏡的二維角度調節機構。

背景技術

激光器諧振腔反射鏡的位置和角度影響輸出激光的功率和光束質量，激光器在調試過程中，通過調節諧振腔反射鏡獲得設定的激光參數和光束質量后，將諧振腔反射鏡位置和角度固定，此時，輸出激光滿足激光器使用要求。但隨著激光器使用時間增多，以及激光器運輸和使用過程中受到的振動和沖擊，諧振腔反射鏡會發生微小偏轉，導致輸出激光功率下降、光束質量降低，不能滿足激光器使用要求。此時，需要拆解激光器諧振腔反射鏡，通過光路調整確定反射鏡位置并重新固定，嚴重消耗人員和時間成本。

隨著激光器從實驗室走向工業應用，具有諧振腔反射鏡調節功能的激光器是激光器研制的方向。在激光器設計時，首先要固定諧振腔長，即反射鏡沿光軸方向的位置確定，此時諧振腔反射鏡的偏轉和俯仰決定了激光器輸出功率和光束質量。因此，亟需研制一種激光器諧振腔反射鏡的二維角度調節機構，有效解決諧振腔反射鏡調節過程費時、費力的問題，提高諧振腔反射鏡的調節效率和，降低激光器使用和維護成本。

發明內容

本發明的目的在于針對現有技術的上述缺陷，提供一種激光器諧振腔反射鏡的二維角度調節機構，通過該機構即可以調整反射鏡的俯仰，也可以調整反射鏡的偏轉，有效解決諧振腔反射鏡調節過程費時、費力的問題，提高諧振腔調節效率，降低激光器使用和維護成本。

本發明的目的可通過以下的技術措施來實現：

本發明提供了一種激光器諧振腔反射鏡的二維角度調節機構，包括偏轉驅動機構、俯仰驅動機構、支撐架、鏡片安裝架；

所述支撐架用于支撐固定所述鏡片安裝架，所述支撐架的固定安裝于所述偏轉驅動機構上，所述俯仰驅動機構安裝于所述支撐架上，在所述偏轉驅動機構的驅動下所述俯仰驅動機構和所述鏡片安裝架同步轉動；所述鏡片安裝架同時固定于所述俯仰驅動機構上，在所述俯仰驅動機構的驅動下轉動；

所述反射鏡安裝于所述鏡片安裝架上，且所述反射鏡的幾何中心處于所述偏轉驅動機構的轉動軸線與所述俯仰驅動機構的轉動軸線的交點上，所述偏轉驅動機構用于實現所述反射鏡的偏轉角度調節，所述俯仰驅動機構用于實現所述反射鏡的俯仰角度調節。

進一步地，所述偏轉驅動機構包括偏轉主動齒輪、偏轉從動齒輪；

所述偏轉主動齒輪與所述偏轉從動齒輪嚙合，所述偏轉主動齒輪受偏轉外力作用傳動給所述偏轉從動齒輪，所述支撐架固定安裝于所述偏轉從動齒輪上，所述偏轉驅動機構的轉動軸線為所述偏轉從動齒輪的軸線。

進一步地，所述俯仰驅動機構包括俯仰主動蝸桿、俯仰從動齒輪；

所述俯仰主動蝸桿可自轉地安裝于所述支撐架上，所述俯仰從動齒輪與所述俯仰主動蝸桿嚙合，所述鏡片安裝架同時固定于所述俯仰從動齒輪上，所述俯仰主動蝸桿受俯仰外力作用傳動給所述俯仰從動齒輪，所述俯仰驅動機構的轉動軸線為所述俯仰從動齒輪的軸線。

進一步地，所述偏轉主動齒輪和所述偏轉從動齒輪的傳動比可設計。

進一步地，所述俯仰主動蝸桿和所述俯仰從動齒輪的傳動比可設計。