[發明專利]一種多晶硅原料的提純工藝有效
| 申請號: | 201910342221.X | 申請日: | 2019-04-26 |
| 公開(公告)號: | CN110156026B | 公開(公告)日: | 2020-09-04 |
| 發明(設計)人: | 田先瑞;趙云松 | 申請(專利權)人: | 新疆大全新能源股份有限公司 |
| 主分類號: | C01B33/107 | 分類號: | C01B33/107 |
| 代理公司: | 北京鼎佳達知識產權代理事務所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 王偉鋒;張小勇 |
| 地址: | 832000 新疆維吾爾自治區石*** | 國省代碼: | 新疆;65 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 多晶 原料 提純 工藝 | ||
1.一種多晶硅原料的提純工藝,其特征在于,包括以下步驟:
將多晶硅生產中尾氣回收工序中吸附塔的反吹氫氣加壓后,與冷氫化反應尾氣進入冷氫化工序的急冷塔,急冷塔采用自身循環;所述的反吹氫氣中的含磷化合物,與冷氫化反應尾氣、塔釜液中的含硼化合物、金屬雜質,在急冷塔中充分接觸,進行絡合;
急冷塔頂部出來的氣相經過初步冷凝后,冷凝液去精餾提純;
其中,所述的塔釜液為冷氫化產品,其主成分為氯硅烷,還含有含硼化合物和金屬雜質;
所述的急冷塔采用自身循環指:所述的塔釜液由急冷塔中部進入,塔底部出來,再通過泵輸送到塔中部。
2.根據權利要求1所述的提純工藝,其特征在于,所述的反吹氫氣加壓到2.4-2.5MPaG。
3.根據權利要求1所述的提純工藝,其特征在于,所述的初步冷凝過程中,未冷凝的氣相返回到冷氫化工序。
4.根據權利要求1所述的提純工藝,其特征在于,所述的提純工藝中,急冷塔的溫度為30-230℃。
5.根據權利要求1所述的提純工藝,其特征在于,所述的急冷塔頂部出來的氣相經過初步冷凝,部分冷凝液作為回流液進入急冷塔。
6.根據權利要求5所述的提純工藝,其特征在于,所述的回流液從急冷塔上部進入。
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