[發明專利]MEMS加速度計的批量夾持工裝及測試系統、測試方法

在審

• 申請號: 201910333150.7
• 申請日: 2019-04-24
• 公開（公告）號: CN111856076A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 周衛濤;劉建平;李福川;閆紅兵
• 申請（專利權）人: 航天科工慣性技術有限公司
• 主分類號: G01P21/00
• 分類號: G01P21/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明提供了一種MEMS加速度計的批量夾持工裝及測試系統、測試方法，該批量夾持工裝包括導桿、壓板、載板、面板、立板和底板；面板安裝在立板和底板組成的固定基座上，面板包括支撐板和內嵌在支撐板上表面的電木針板，電木針板上設置多組探針；載板通過彈性元件安裝在面板上方，載板設置多個加速度計安裝槽孔，每個安裝槽孔對應一組探針；壓板沿面板邊緣設置的導桿上下移動，壓板下表面設置多組壓棒，壓板通過壓緊卡扣與面板咬合固定。該批量夾持裝置安裝在分度頭上，與測試儀配合共同實現加速度計批量測試，滿足工程應用。

技術領域

本發明涉及MEMS加速度計技術領域，尤其涉及一種MEMS加速度計的批量夾持工裝及測試系統、測試方法。

背景技術

MEMS加速度計就是使用MEMS技術制造的加速度計。由于采用了微機電系統技術，使得其尺寸大大縮小。MEMS加速度計具有體積小、重量輕、能耗低等優點，適于應用于巖土測斜領域，測量各種巖土邊坡和地基的位移，對監測對象的穩定性進行分析和預報。

目前，MEMS加速度計的標定測試主要以單件、手動為主，標定測試時間較長，生產效率較低，這種測試方式不利于MEMS加速度計的批量生產。部分批量測試系統的夾持固定裝置多為單件單獨固定，多個夾持固定裝置共同進行測試，安裝加速度計步驟較為繁瑣，不利于批量生產，且重復性差，降低測試精度。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術不足，提供了一種MEMS加速度計的批量夾持工裝及測試系統、測試方法，能夠解決現有技術中MEMS加速度計批量生產中的批量測試和批量安裝問題，提高生產效率。

本發明采用的技術解決方案如下：

一種MEMS加速度計的批量夾持工裝，包括導桿、壓板、載板、面板、立板和底板；所述面板安裝在立板和底板組成的固定基座上，面板包括支撐板和內嵌在支撐板上表面的電木針板，所述電木針板上設置多組探針；所述載板通過彈性元件安裝在面板上方，且載板設置有多個加速度計安裝槽孔，每個安裝槽孔對應電木針板上的一組探針；所述壓板沿面板邊緣設置的至少兩根導桿上下移動，壓板下表面設置與加速度計安裝槽孔位置相對應的多組壓棒，壓板通過壓緊卡扣與面板咬合固定。

進一步的，所述壓板下表面還設置有至少1支載板壓棒，所述至少兩根導桿上端固定在導桿固定板上，所述壓板通過上提卡扣固定在導桿固定板，所述安裝槽孔內部設置至少2個定位柱。

進一步的，所述面板支撐板上開設鏤空，所述探針嵌入電木針板并從支撐板上鏤空位置穿出。

進一步的，所述立板包括前立板、后立板，所述后立板中心設置連接軸安裝孔；所述前立板留有測試電纜接口、電源指示燈，所述探針的后端信號線連接到前立板的測試電纜接口上；所述立板上對稱開設多個減重孔。

進一步的，所述導桿、導桿固定板、壓板、載板、支撐板、立板、底板均采用鋁合金材料；所述壓棒采用尼龍塑料材料；所述探針采用圓錐頭型；所述彈性元件為伸縮彈簧柱。

進一步的，所述每組探針包括四根探針，所述每組壓棒包括至少3支壓棒。

本發明還提供了一種MEMS加速度計批量測試系統，包括批量夾持工裝和測試儀，所述批量夾持工裝固定基座通過連接軸安裝在分度頭上，所述批量夾持工裝與測試儀通過測試電纜連接；所述測試儀包括工控一體機、A/D采集模塊、電源模塊、繼電器，A/D采集模塊用于信號采集，工控一體機用于信號處理、界面顯示、并與電源模塊、繼電器一起用于供電控制。

進一步的，所述測試儀采用7U鋁合金機箱進行集成，所述工控一體機集成在機箱一面上，所述機箱內部采用雙層結構，上層布置A/D采集模塊、下層布置電源模塊、繼電器，中間設置隔離材料。

本發明還提供了一種MEMS加速度計批量測試方法，包括如下步驟：