[發明專利]MEMS加速度計的批量夾持工裝及測試系統、測試方法

在審

• 申請號: 201910333150.7
• 申請日: 2019-04-24
• 公開（公告）號: CN111856076A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發明（設計）人: 周衛濤;劉建平;李福川;閆紅兵
• 申請（專利權）人: 航天科工慣性技術有限公司
• 主分類號: G01P21/00
• 分類號: G01P21/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種MEMS加速度計的批量夾持工裝，其特征在于，包括導桿、壓板、載板、面板、立板和底板；所述面板安裝在立板和底板組成的固定基座上，面板包括支撐板和內嵌在支撐板上表面的電木針板，所述電木針板上設置多組探針；所述載板通過彈性元件安裝在面板上方，且載板設置有多個加速度計安裝槽孔，每個安裝槽孔對應電木針板上的一組探針；所述壓板沿面板邊緣設置的至少兩根導桿上下移動，壓板下表面設置與加速度計安裝槽孔位置相對應的多組壓棒，壓板通過壓緊卡扣與面板咬合固定。

2.根據權利要求1所述的MEMS加速度計的批量夾持工裝，其特征在于，所述壓板下表面還設置有至少1支載板壓棒，所述至少兩根導桿上端固定在導桿固定板上，所述壓板通過上提卡扣固定在導桿固定板，所述安裝槽孔內部設置至少2個定位柱。

3.根據權利要求1所述的MEMS加速度計的批量夾持工裝，其特征在于，所述面板支撐板上開設鏤空，所述探針嵌入電木針板并從支撐板上鏤空位置穿出。

4.根據權利要求1所述的MEMS加速度計的批量夾持工裝，其特征在于，所述立板包括前立板、后立板，所述后立板中心設置連接軸安裝孔；所述前立板留有測試電纜接口、電源指示燈，所述探針的后端信號線連接到前立板的測試電纜接口上；所述立板上對稱開設多個減重孔。

5.根據權利要求1所述的MEMS加速度計的批量夾持工裝，其特征在于，所述導桿、導桿固定板、壓板、載板、支撐板、立板、底板均采用鋁合金材料；所述壓棒采用尼龍塑料材料；所述探針采用圓錐頭型；所述彈性元件為伸縮彈簧柱。

6.根據權利要求1所述的MEMS加速度計的批量夾持工裝，其特征在于，所述每組探針包括四根探針，所述每組壓棒包括至少3支壓棒。

7.一種采用權利要求1～6中任一項所述MEMS加速度計批量夾持工裝的測試系統，其特征在于，包括批量夾持工裝和測試儀，所述批量夾持工裝固定基座通過連接軸安裝在分度頭上，所述批量夾持工裝與測試儀通過測試電纜連接；

所述測試儀包括工控一體機、A/D采集模塊、電源模塊、繼電器，A/D采集模塊用于信號采集，工控一體機用于信號處理、界面顯示，并與電源模塊、繼電器一起用于供電控制。

8.根據權利要求7所述的測試系統，其特征在于，所述測試儀采用7U鋁合金機箱進行集成，所述工控一體機集成在機箱一面上，所述機箱內部采用雙層結構，上層布置A/D采集模塊、下層布置電源模塊、繼電器，中間設置隔離材料。

9.一種采用權利要求7或8所述的測試系統的MEMS加速度計測試方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1、將批量夾持工裝通過連接軸安裝緊固在光學分度頭上，將批量夾持工裝與測試儀通過測試電纜連接，旋轉光學分度頭內軸，通過水平儀將批量夾持工裝調整至水平位置，將光學分度頭顯示器讀數置零；

S2、將多個加速度計安裝于批量加持工裝上，啟動測試儀，控制批量夾持工裝上電；

S3、進行0值標定，多個加速度計零偏值標定成功后顯示在測試儀上，設定0偏值輸出指標范圍，測試儀自動判斷各測試通道0偏值輸出是否有效；

S4、進行0°測試，多個通道的測試值實時顯示在測試儀上，設定0°輸出指標范圍，測試儀自動判斷各通道0°測試值輸出是否正確，輸出錯誤通道顯示紅色報警；

S5、旋轉分度頭內軸使批量夾持工裝處于+30°位置，開始進行+30°測試，多個通道的測試值實時顯示在測試儀上，設定+30°輸出指標范圍，測試儀自動判斷各通道+30°測試值輸出是否正確，輸出錯誤通道顯示紅色報警；

S6、旋轉分度頭內軸使批量夾持工裝處于-30°位置，開始進行-30°測試，多個通道的測試值實時顯示在測試儀上，設定-30°輸出指標范圍，測試儀自動判斷各通道-30°測試值輸出是否正確，輸出錯誤通道顯示紅色報警；

S7、測試項全部測試完畢后，工裝下電，取出各通道內加速度計，測試結束。

10.根據權利要求9所述的測試方法，其特征在于，所述步驟S3中0偏值輸出指標范圍為0±0.2V，所述步驟S4中0°輸出指標范圍為0±0.001V；所述步驟S5中+30°輸出指標范圍為2±0.001V，所述步驟S6中-30°輸出指標范圍為-2±0.001V。