[發明專利]等離子體處理裝置和電源控制方法

在審

• 申請號: 201910332392.4
• 申請日: 2019-04-24
• 公開（公告）號: CN110416051A
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發明（設計）人: 永海幸一;大下辰郎
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/67
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;劉芃茜

1.一種等離子體處理裝置，其特征在于，包括：

載置臺，其載置作為等離子體處理的對象的被處理體，并作為下部電極發揮作用；

直流電源，其交替地產生施加到所述載置臺的正直流電壓和負直流電壓；

測量載置于所述載置臺的被處理體的電壓的測量部；

計算部，其基于所述測量出的被處理體的電壓，計算對所述載置臺施加負直流電壓的期間的、所述載置臺與所述被處理體之間的電位差；和

電源控制部，其控制所述直流電源，以使得施加到所述載置臺的負直流電壓的值變化使所述計算出的電位差減少的變化量。

2.如權利要求1所述的等離子體處理裝置，其特征在于：

所述電源控制部控制所述直流電源，以使得一邊維持施加到所述載置臺的正直流電壓和負直流電壓的絕對值的總和，一邊變化施加到所述載置臺的負直流電壓的值。

3.如權利要求1或2所述的等離子體處理裝置，其特征在于：

在所述載置臺與所述被處理體之間的電位差比規定的閾值小的情況下，所述電源控制部控制所述直流電源，以使得對所述載置臺施加負直流電壓的時間相對于對所述載置臺施加正直流電壓和負直流電壓的1個周期的時間的比例被改變。

4.如權利要求1～3中任一項所述的等離子體處理裝置，其特征在于：

在所述載置臺與所述被處理體之間的電位差比規定的閾值小的情況下，所述電源控制部控制所述直流電源，以使得施加到所述載置臺的正直流電壓和負直流電壓的絕對值的總和被改變。

5.如權利要求1～4中任一項所述的等離子體處理裝置，其特征在于：

在所述載置臺與所述被處理體之間的電位差比規定的閾值小的情況下，所述電源控制部控制所述直流電源，以使得施加到所述載置臺的正直流電壓和負直流電壓的頻率被改變。

6.如權利要求1～5中任一項所述的等離子體處理裝置，其特征在于：

還包括獲取部，其用于獲取要施加到所述載置臺的正直流電壓和負直流電壓的絕對值的總和，

所述直流電源對所述載置臺交替地施加正直流電壓和負直流電壓，該正直流電壓和負直流電壓具有作為初始值的、將所述獲取的絕對值的總和以預先設定的比例分配而得的正直流電壓的絕對值和負直流電壓的絕對值。

7.如權利要求1所述的等離子體處理裝置，其特征在于：

所述計算部基于所述測量出的被處理體的電壓，計算：對所述載置臺施加負直流電壓的期間的、所述載置臺與所述被處理體之間的第一電位差；和對所述載置臺施加正直流電壓的期間的、所述載置臺與所述被處理體之間的第二電位差，

所述電源控制部控制所述直流電源，以使得施加到所述載置臺的負直流電壓的值變化使所述計算出的第一電位差和第二電位差這兩者減少的變化量。

8.如權利要求1所述的等離子體處理裝置，其特征在于，還包括：

存儲電壓測量值表的存儲部，其中所述電壓測量值表將要施加到所述載置臺的正直流電壓和負直流電壓的絕對值的總和，與在對所述載置臺施加負直流電壓的期間預先測量出的所述被處理體的電壓的測量值逐一相關聯地存儲；和

獲取部，其獲取要施加到所述載置臺的正直流電壓和負直流電壓的絕對值的總和，

所述測量部參照所述電壓測量值表，測量與所述獲取的絕對值的總和對應的測量值并將其作為所述被處理體的電壓。

9.一種電源控制方法，其特征在于：

計算機執行下述處理：

測量載置于載置臺的被處理體的電壓，其中所述載置臺載置作為等離子體處理的對象的被處理體，從直流電源對其交替地施加正直流電壓和負直流電壓，并作為下部電極發揮作用，

基于所述測量出的被處理體的電壓，計算對所述載置臺施加負直流電壓的期間的、所述載置臺與所述被處理體之間的電位差，

控制所述直流電源，以使得施加到所述載置臺的負直流電壓的值變化使所述計算出的電位差減少的變化量。