[發明專利]掃描型探針顯微鏡及光強度調整方法

在審

• 申請號: 201910328923.2
• 申請日: 2019-04-23
• 公開（公告）號: CN110398613A
• 公開（公告）日: 2019-11-01
• 發明（設計）人: 渡邊一馬;藤野敬太;飯田榮治;平出雅人;山崎賢治;中島秀郎;池田雄一郎;新井浩
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: G01Q60/00
• 分類號: G01Q60/00;G01Q30/00
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 肖華

本發明提供一種能夠提高用戶的操作性的掃描型探針顯微鏡及光強度調整方法。掃描型探針顯微鏡(1)具備光源、檢測器(7)、殼體、開閉門、開閉傳感器(14)以及控制部(16)等。開閉門被設置于殼體。控制部(16)也作為光強度變更處理部(164)起作用。在掃描型探針顯微鏡(1)中，當開閉傳感器(14)檢測到開閉門的開閉時，光強度變更處理部(164)基于開閉傳感器(14)的檢測結果，自動變更從光源(4)照射的光的強度。因此，能夠省去用戶手動的光的強度調整作業。其結果，能夠提高使用掃描型探針顯微鏡(1)時的用戶的操作性。

技術領域

本發明涉及使懸臂沿樣品的表面進行掃描從而來獲取樣品的表面圖像的掃描型探針顯微鏡、以及該掃描型探針顯微鏡的光強度調整方法。

背景技術

以往，使用掃描型探針顯微鏡來作為對樣品的細微的表面形狀進行檢查的裝置。在掃描型探針顯微鏡中，探針對樣品的表面進行相對移動來進行掃描，并且在該掃描中激光被照射于探針。然后，基于來自探針的反射光，檢測作用于探針與樣品表面之間的物理量(隧道電流或原子力等)的變化。然后，通過對探針的相對位置進行反饋控制以將掃描中的上述物理量保持為固定，從而能夠基于該反饋量來對樣品的表面形狀進行測定(例如，參照下述專利文獻1)。

在專利文獻1所述的掃描型探針顯微鏡中，能夠對向探針照射的激光的強度進行調整。由此，例如能夠根據探針的種類對激光的強度進行調整，從而提高測定精度。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2008－51556號公報

發明內容

[發明要解決的問題]

在上述以往的掃描型探針顯微鏡中，通過手動進行激光的強度的調整。因此，會產生用戶的操作繁雜化的不便。另外，有時在安全性的方面也會產生不便。具體來說，在掃描型探針顯微鏡中，在進行激光的光軸調整的作業時等、開放掃描型探針顯微鏡的殼體的情況下，從安全性的觀點來看需要降低激光的強度。在該情況下，用戶通過手動對激光的強度進行調整，在發生了操作失誤的情況下，殼體可能會保持激光的強度較高的狀態被開放，這是危險的。

本發明是鑒于上述實際情況而完成的，目的在于提供一種能夠提高用戶的操作性的掃描型探針顯微鏡。

[用于解決問題的技術手段]

(1)本發明的掃描型探針顯微鏡是使懸臂沿樣品的表面進行掃描從而來獲取樣品的表面圖像的掃描型探針顯微鏡。所述掃描型探針顯微鏡具備光源、檢測器、殼體、開閉門、開閉傳感器、以及光強度變更處理部。所述光源向所述懸臂照射光。所述檢測器接收來自所述懸臂的反射光。所述殼體在內部收納所述光源以及所述檢測器。所述開閉門開閉所述殼體。所述開閉傳感器對所述開閉門的開閉進行檢測。所述光強度變更處理部基于所述開閉傳感器的檢測結果對從所述光源照射的光的強度進行變更。

根據這樣的構成，在掃描型探針顯微鏡中，當開閉傳感器檢測到被設置于殼體的開閉門的開閉時，光強度變更處理部基于開閉傳感器的檢測結果，自動變更從光源照射的光的強度。

因此，能夠省去用戶手動的光的強度調整作業。

其結果，能夠提高使用掃描型探針顯微鏡時的用戶的操作性。

(2)另外，在所述開閉傳感器檢測到所述開閉門被打開的情況下，所述光強度變更處理部也可以使從所述光源照射的光的強度下降得比在所述開閉門關閉的狀態下進行樣品的測定時要低。

根據這樣的構成，在開閉門被打開時，來自光源的光的強度被光強度變更處理部自動降低。

因此，能夠防止開閉門在來自光源的光的強度保持高的狀態下被打開。

其結果，能夠提高使用掃描型探針顯微鏡時的安全性。