[發明專利]掃描型探針顯微鏡及光強度調整方法在審
| 申請號： | 201910328923.2 | 申請日： | 2019-04-23 |
| 公開（公告）號： | CN110398613A | 公開（公告）日： | 2019-11-01 |
| 發明（設計）人： | 渡邊一馬;藤野敬太;飯田榮治;平出雅人;山崎賢治;中島秀郎;池田雄一郎;新井浩 | 申請（專利權）人： | 株式會社島津制作所 |
| 主分類號： | G01Q60/00 | 分類號： | G01Q60/00;G01Q30/00 |
| 代理公司： | 上海華誠知識產權代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖華 |
| 地址： | 日本國京都府京*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針顯微鏡 掃描型 開閉傳感器 開閉門 變更處理部 光強度調整 殼體 光源 檢測器 檢測結果 強度調整 自動變更 開閉 照射 檢測 | ||
【權利要求書】：
1.一種掃描型探針顯微鏡，其通過使懸臂沿樣品的表面進行掃描來獲取樣品的表面圖像，
所述掃描型探針顯微鏡的特征在于，具備：
光源，其向所述懸臂照射光；
檢測器，其接收來自所述懸臂的反射光；
殼體，其在內部收納所述光源以及所述檢測器；
開閉門，其用于開閉所述殼體；
開閉傳感器，其對所述開閉門的開閉進行檢測；以及
光強度變更處理部，其基于所述開閉傳感器的檢測結果對從所述光源照射的光的強度進行變更。
2.根據權利要求1所述的掃描型探針顯微鏡，其特征在于，
在所述開閉傳感器檢測到所述開閉門被打開的情況下，所述光強度變更處理部使從所述光源照射的光的強度下降到比在所述開閉門關閉的狀態下進行樣品的測定時要低。
3.一種光強度調整方法，其是通過使懸臂沿樣品的表面進行掃描，用所述懸臂使從光源照射的光發生反射，并用檢測器接收該反射光，從而來對樣品的表面圖像進行獲取的掃描型探針顯微鏡的光強度調整方法，
所述光強度調整方法的特征在于，
包含光強度變更步驟，在用于對殼體進行開閉的開閉門被開閉的情況下，對從所述光源照射的光的強度進行變更，所述殼體在內部收納所述光源以及所述檢測器。
4.根據權利要求3所述的光強度調整方法，其特征在于，
在所述光強度變更步驟中，在所述開閉門被打開的情況下，使從所述光源照射的光的強度下降到比關閉所述開閉門進行樣品的測定時要低。
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