[發(fā)明專利]用于監(jiān)測隔振基座的系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910327768.2
• 申請日: 2019-04-23
• 公開（公告）號: CN110416115A
• 公開（公告）日: 2019-11-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李銀三;樸海東;金民贊;柳國鉉;宋敬鎬;李俊和
• 申請（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司;(株)V1
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/66
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11204
• 代理人: 王達(dá)佐;劉錚

本公開涉及用于監(jiān)測隔振基座的系統(tǒng)，在用于監(jiān)測隔振基座的系統(tǒng)中，該系統(tǒng)包括用于監(jiān)測供應(yīng)至隔振基座的空氣底座的空氣壓力的空氣壓力監(jiān)測系統(tǒng)，其中，空氣壓力監(jiān)測系統(tǒng)包括多個空氣端口、多個壓力傳感器、控制單元以及通知單元，其中，多個空氣端口配置成接收待供應(yīng)至空氣底座的空氣，壓力傳感器中的每個配置成測量供應(yīng)至空氣端口中的相應(yīng)空氣端口的空氣的壓力并將所測量的壓力輸出為感測信號，控制單元配置成從壓力傳感器中的每個接收感測信號并根據(jù)壓力傳感器中的每個的測量值輸出控制信號，通知單元配置成根據(jù)控制單元的控制信號進(jìn)行操作。

相關(guān)申請的交叉引用

本申請要求于2018年4月26日在韓國知識產(chǎn)權(quán)局提交的第10-2018-0048730號韓國專利申請的優(yōu)先權(quán)和權(quán)益，所述韓國專利申請的公開內(nèi)容通過引用以其整體并入本文。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開的一些示例性實(shí)施方式的方面涉及用于監(jiān)測隔振基座的系統(tǒng)。

背景技術(shù)

通常，在制造諸如半導(dǎo)體和OLED的超精密產(chǎn)品的過程中，對于與產(chǎn)品生產(chǎn)相關(guān)的大多數(shù)設(shè)備(例如，測量設(shè)備、拋光裝置等)，將環(huán)境振動保持在最低限度是非常重要的。這是為了確保高質(zhì)量的產(chǎn)品。為此，可以利用使用空氣底座的隔振基座。例如，應(yīng)用氣動彈簧作為空氣底座的技術(shù)可用作與隔振基座相關(guān)的技術(shù)。

然而，利用以上技術(shù)，上部部分中的工作人員將可能無法識別與空氣底座對應(yīng)的氣動彈簧中的異常，或者由于在下部部分上的非計劃工作期間的粗心而引起的氣動彈簧的損壞。因此，這可引起事故并顯著降低調(diào)平和隔振操作的可靠性。

此外，因超過極限的位移而導(dǎo)致的過度提升可嚴(yán)重危害工作人員的安全并導(dǎo)致所安裝設(shè)備的故障或損壞。

本說明書的背景技術(shù)部分包括旨在為示例性實(shí)施方式提供上下文的信息，并且本背景部分中的信息不一定構(gòu)成現(xiàn)有技術(shù)。

發(fā)明內(nèi)容

本公開的一些示例性實(shí)施方式的方面涉及用于監(jiān)測隔振基座的系統(tǒng)。根據(jù)一些示例性實(shí)施方式，所述系統(tǒng)可以使生產(chǎn)線操作者能夠迅速地識別空氣底座的空氣供應(yīng)的異常，空氣底座的機(jī)械部件的異常或者由于工作人員的粗心而導(dǎo)致的空氣底座的錯誤操作，從而防止或減少精密生產(chǎn)設(shè)備的故障情況，防止或減少產(chǎn)品制造缺陷的情況，確保或改善工作人員的安全和對精密設(shè)備的保護(hù)，以及防止或減少二次事故的情況。

一些示例性實(shí)施方式可使工作人員能夠迅速地識別空氣底座的空氣供應(yīng)的異常或空氣底座的損壞，從而確保或改善工作人員的安全，防止或減少事故，并且使得能夠迅速采取后續(xù)措施以確保調(diào)平和隔振操作的可靠性。

一些示例性實(shí)施方式可防止或減少由于超出極限的位移而導(dǎo)致的過度提升的情況，從而確保或改善工作人員的安全，并且使得可以實(shí)時識別和防止(或減少)所安裝的設(shè)備的故障(的情況)。

然而，本公開的方面不限于本文中闡述的方面。對于本公開所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，通過參考以下給出的本公開的詳細(xì)描述，本公開的以上和其它方面將變得更加明顯。

根據(jù)本公開的一些示例性實(shí)施方式的方面，提供了用于監(jiān)測隔振基座的系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括空氣壓力監(jiān)測系統(tǒng)，該空氣壓力監(jiān)測系統(tǒng)用于監(jiān)測供應(yīng)至隔振基座的空氣底座的空氣壓力，其中，空氣壓力監(jiān)測系統(tǒng)包括多個空氣端口、多個壓力傳感器、控制單元以及通知單元，其中，多個空氣端口接收待供應(yīng)至空氣底座的空氣，多個壓力傳感器各自測量供應(yīng)至空氣端口中的相應(yīng)空氣端口的空氣的壓力并將所測量的壓力輸出為感測信號，控制單元從壓力傳感器中的每個接收感測信號并根據(jù)壓力傳感器中的每個的測量值輸出控制信號，通知單元根據(jù)控制單元的控制信號進(jìn)行操作。