[發明專利]真空干燥設備

在審

• 申請號: 201910326774.6
• 申請日: 2019-04-23
• 公開（公告）號: CN110116559A
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發明（設計）人: 李文杰;井口真介
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: B41J11/00
• 分類號: B41J11/00
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

本發明公開一種真空干燥設備，所述真空干燥設備包含：一腔體、一載臺、一多孔整流板、一多孔溫度調節裝置及一氣體抽取裝置。所述真空干燥設備主要是通過多孔整流板及多孔溫度調節裝置來調整抽氣時的氣流變化及溫度變化，進而使經噴墨打印的基板上的噴墨膜面在經過真空干燥后具備優良膜面均勻性。

技術領域

本發明是有關于一種干燥設備，特別是有關于一種真空干燥設備。

背景技術

在有機發光器件的制作流程中，印刷顯示技術(例如噴墨打印(Ink jetprinting，IJP))發展迅速。噴墨打印具有材料利用率高，設備價格低等優點。在利用噴墨打印法制備有機發光器件中，關鍵在于各個膜層厚度的調節，因為膜層厚度(或者形貌)的均勻性會直接影響器件的壽命。

然而，利用現有的真空干燥設備10對噴墨打印后的基板11進行干燥過程中，由于真空泵浦12和抽氣出口閥門13都會設置于腔體14下方處(如圖1A所示)，故抽氣時形成的氣流15會對墨水表面造成影響。雖然位在所述基板11的中間部分11A的膜面16的厚度或形貌是均勻的(如圖1B所示)，但所述氣流15會使得位在所述基板11的邊緣部分11B的膜面16的厚度或形貌不均，進而影響所述基板11的膜面均勻性(如圖1C所示)。

故，有必要提供一種真空干燥設備，以解決現有技術所存在的問題。

發明內容

有鑒于此，本發明提供一種真空干燥設備，以解決現有的真空干燥設備所導致的膜面均勻性不足的問題。

本發明的一目的在于提供一種真空干燥設備，其可以使經噴墨打印的基板上的噴墨膜面在經過真空干燥后具備優良膜面均勻性。

為達成本發明的前述目的，本發明一實施例提供一種真空干燥設備，其中所述封真空干燥設備包含：一腔體、一載臺、一多孔整流板、一多孔溫度調節裝置及一氣體抽取裝置。所述腔體具有一容置空間。所述載臺設在所述容置空間內。所述多孔整流板設在所述容置空間內且位在所述載臺的上方，其中所述多孔整流板的一下表面面對所述載臺，以及所述多孔整流板包含從中心朝外部減少的一孔分布密度。所述多孔溫度調節裝置設在所述容置空間內且接觸所述多孔整流板的一上表面。所述氣體抽取裝置設在所述多孔溫度調節裝置的上方且連通所述腔體的容置空間。

在本發明的一實施例中，所述多孔整流板的一材質包含陶瓷。

在本發明的一實施例中，所述孔分布密度從所述多孔整流板的中心朝外部是連續的漸減。

在本發明的一實施例中，所述孔分布密度從所述多孔整流板的中心朝外部是階段式的漸減。

在本發明的一實施例中，所述多孔溫度調節裝置是一多孔冷凝板。

在本發明的一實施例中，所述多孔冷凝板的一溫度調整范圍介于2至30℃之間。

在本發明的一實施例中，所述氣體抽取裝置包含一機械泵浦及一分子泵浦中的至少一種。

在本發明的一實施例中，所述多孔整流板包含從中心朝外部分布的多個區域，所述多個區域包含：一第一區域、一第二區域及一第三區域。所述第一區域位在所述多孔整流板的中心且具有一第一孔分布密度。所述第二區域鄰接所述第一區域且具有一第二孔分布密度，其中所述第二孔分布密度小于所述第一孔分布密度。所述第三區域鄰接所述第二區域且具有一第三孔分布密度，其中所述第三孔分布密度小于所述第二孔分布密度。

在本發明的一實施例中，所述多個區域各具有一面積，其中所述多個區域的面積從中心朝外部是減少的。