[發(fā)明專利]石墨舟夾具

在審

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• 申請日: 2019-04-22
• 公開（公告）號: CN110211906A
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發(fā)明（設計）人: 劉軍;王坤;王銀;陸彥輝
• 申請（專利權）人: 江蘇潤陽悅達光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明屬于工裝夾具領域，尤其涉及一種石墨舟夾具，包括該夾具包括底座、卡軸以及卡帽，該底座兩側對稱固定該卡軸，該卡軸遠離該底座一端固定連接該卡帽，該底座與該卡軸之間設有該卡槽，該卡槽呈U型開設于該卡軸上，該卡帽至該卡槽之間設有倒角。本發(fā)明的石墨舟夾具，加厚卡帽可有效保護石墨舟夾具的磨損及意外觸碰導致的損壞，增加石墨舟夾具使用壽命及減少產線返修率；同時倒角可降低因插不到位導致的碎片及不良，并方便清理夾具內異物；卡槽寬度小于常規(guī)U型卡槽間距，減小硅片與底座之間的空隙，使硅片與石墨舟片貼合更加緊密。

技術領域

本發(fā)明屬于工裝夾具領域，尤其涉及一種石墨舟夾具。

背景技術

在太陽能在太陽能電池片的制造過程中，硅片進行其表面鍍膜工序時，需要將未鍍膜的硅片插入PECVD真空鍍膜設備的石墨舟上，具體操作過程是將硅片插入石墨舟并通過石墨舟夾具定位于其上，將載有硅片的石墨舟放置在PECVD真空鍍膜設備中，采用PECVD工藝對硅片進行鍍膜。

目前使用的常規(guī)主要是兩種：V型與U型；V型卡槽的槽內尺寸較小，在插片過程中硅片易造成劃傷，另因V型卡槽空間細小易因沉積氮化硅而導致插取片過程崩邊或缺角，影響產品合格率并且工藝過程中夾具燒焦嚴重；U型卡槽的槽體位置及卡帽斜度增大，相對減少了劃傷、崩邊問題；但是U型卡槽燒焦后，異物難以處理；還有其槽體為平行設計，如果硅片接觸放置滑落槽底與舟葉吻合度不高，則氣流會繞鍍到正膜，對應正膜邊緣夾具會形成繞鍍印，影響正膜外觀。

發(fā)明內容

本發(fā)明的目的是解決上述現(xiàn)有技術的不足，提供一種減小硅片與夾具底座之間的空隙，使硅片與石墨舟貼合更加緊密的石墨舟夾具。

本發(fā)明解決上述現(xiàn)有技術的不足所采用的技術方案是：一種石墨舟夾具，包括底座、卡軸以及卡帽，該底座兩側對稱固定該卡軸，該卡軸遠離該底座一端固定連接該卡帽，該底座與該卡軸之間設有該卡槽，該卡槽呈U型開設于該卡軸上，該卡帽至該卡槽之間設有一倒角。

優(yōu)選的，該卡帽至該卡槽之間的倒角為54°~55°。

優(yōu)選的，該卡槽的寬度為0.3~0.4mm。

優(yōu)選的，該卡帽為圓形，厚度為1.29~1.39mm。

優(yōu)選的，該底座、卡軸以及卡帽為一體成型結構。

優(yōu)選的，該底座和卡帽的中心軸處于同一基準線上。

本發(fā)明的有益效果是，本發(fā)明的石墨舟夾具，加厚卡帽可有效保護石墨舟夾具的磨損及意外觸碰導致的損壞，增加石墨舟夾具使用壽命及減少產線返修率；同時倒角可降低因插不到位導致的碎片及不良，并方便清理石墨舟夾具內異物；卡槽寬度小于常規(guī)U型卡槽間距，硅片能與石墨舟片貼合的更加緊密，極大減小硅片與底座之間的空隙，從而減少氣流繞鍍到硅片背面，降低正膜邊緣石墨舟夾具繞鍍印，改善正膜膜色，提高正膜的片內顏色的均勻性，進一步滿足市場對高標準外觀膜色的要求，應用前景廣闊。

附圖說明

圖1為本發(fā)明石墨舟夾具的一種實施例的立體圖，為該實施例的主視圖。

圖2為圖1實施例的主視圖。

具體實施方式

以下描述用于揭露本發(fā)明以使本領域技術人員能夠實現(xiàn)本發(fā)明。以下描述中的優(yōu)選實施例只作為舉例，本領域技術人員可以想到其他顯而易見的變型。在以下描述中界定的本發(fā)明的基本原理可以應用于其他實施方案、變形方案、改進方案、等同方案以及沒有背離本發(fā)明的精神和范圍的其他技術方案。

在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，術語“上”、“下”、“內”、“外”等指示的方位或位置關系為基于附圖所示的方位或位置關系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構造和操作，因此不能理解為對本發(fā)明的限制。