[發(fā)明專利]石墨舟夾具在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910322897.2 | 申請日: | 2019-04-22 |
| 公開(公告)號: | CN110211906A | 公開(公告)日: | 2019-09-06 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 劉軍;王坤;王銀;陸彥輝 | 申請(專利權(quán))人: | 江蘇潤陽悅達光伏科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 224000 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 夾具 石墨舟 卡軸 卡帽 底座 卡槽 硅片 倒角 加厚 底座兩側(cè) 對稱固定 工裝夾具 卡槽寬度 石墨舟片 使用壽命 返修率 異物 產(chǎn)線 觸碰 減小 貼合 磨損 | ||
1.一種石墨舟夾具,其特征在于,該夾具包括底座、卡軸以及卡帽,該底座兩側(cè)對稱固定該卡軸,該卡軸遠(yuǎn)離該底座一端固定連接該卡帽,該底座與該卡軸之間設(shè)有該卡槽,該卡槽呈U型開設(shè)于該卡軸上,該卡帽至該卡槽之間設(shè)有一倒角。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石墨舟夾具,其特征在于,該卡帽至該卡槽之間的倒角為54°~55°。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石墨舟夾具,其特征在于,該卡槽的寬度為0.3~0.4mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的石墨舟夾具,其特征在于,該卡帽為圓形,厚度為1.29~1.39mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的石墨舟夾具,其特征在于,該底座、卡軸以及卡帽為一體成型結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的石墨舟夾具,其特征在于,該底座和卡帽的中心軸處于同一基準(zhǔn)線上。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





