[發明專利]遮罩及其制造方法和使用方法有效
| 申請號： | 201910319701.4 | 申請日： | 2019-04-19 |
| 公開（公告）號： | CN110824853B | 公開（公告）日： | 2021-10-26 |
| 發明（設計）人： | 廖啟宏;廖主瑋 | 申請（專利權）人： | 臺灣積體電路制造股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G03F1/38;G03F1/52;G03F1/54 |
| 代理公司： | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金國 |
| 地址： | 中國臺灣新竹市*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 及其 制造 方法 使用方法 | ||
1.一種遮罩的使用方法，其特征在于，包含：
將一遮罩夾持在一遮罩臺上，其中該遮罩包含一多層磁膜，其中該多層磁膜為伸展釋放膜；
通過該遮罩來執行一第一微影制程；
將該遮罩自該遮罩臺移開；
確認該多層磁膜的一表面層的一表面狀況是否可接受；以及
當該表面層的該表面狀況被確認為不可接受時自該多層磁膜剝離該多層磁膜的該表面層。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，進一步包含：
在剝離該多層磁膜的該表面層之后，將該遮罩夾回該遮罩臺；以及
在將該遮罩夾回該遮罩臺之后，執行一第二微影制程。
3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，其中：
執行剝離該多層磁膜的該表面層以使得該多層磁膜的另一層的一平坦表面曝露；以及
將該遮罩夾回該遮罩臺包含將該多層磁膜的該另一層的該平坦表面連接至該遮罩臺。
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，進一步包含當該表面層的該表面狀況可接受時，將該遮罩夾回該遮罩臺；以及
在將該遮罩夾回該遮罩臺之后，執行一第二微影制程。
5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，其中剝離該多層磁膜的該表面層是手動地執行。
6.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，其中將該遮罩夾持在該遮罩臺上包含在該遮罩臺的一靜電卡盤與該遮罩的一多層磁膜的一磁性材料之間產生一吸引力。
7.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，其中剝離該多層磁膜的該表面層包含自該多層磁膜的另一層的一釋放層卸除該多層磁膜的該表面層的一粘合層。
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