[發(fā)明專利]潔凈室用低角度光照微塵清潔裝置及具有該裝置的潔凈室

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910315291.6
• 申請(qǐng)日: 2019-04-19
• 公開（公告）號(hào): CN111820811A
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊之逸;近藤博仁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 承奕科技股份有限公司
• 主分類號(hào): A47L9/02
• 分類號(hào): A47L9/02;A47L9/04;A47L9/30;E04H1/12
• 代理公司: 上海中優(yōu)律師事務(wù)所 31284
• 代理人: 潘詩(shī)孟

本發(fā)明公開了一種潔凈室用低角度光照微塵清潔裝置，供導(dǎo)入一負(fù)壓環(huán)境而吸取一操作空間中的微塵，該低角度光照微塵清潔裝置包括：一主體，連結(jié)上述負(fù)壓環(huán)境；一光源吸嘴組件，包括一鏈接上述主體并導(dǎo)接上述負(fù)壓環(huán)境的吸嘴，該吸嘴具有一通氣本體及吸頭端，該吸頭端形成有一開口，供吸取上述操作空間中對(duì)應(yīng)上述開口的一吸取工作區(qū)處的微塵，及一組以低角度照射上述吸取工作區(qū)的低角度光源；及一對(duì)應(yīng)上述吸嘴的起塵裝置，當(dāng)上述微塵是附著于上述操作空間之一工作表面時(shí)，將上述微塵以非接觸力驅(qū)離上述工作表面供上述吸嘴吸取。此外，本發(fā)明還公開了具有前述低角度光照微塵清潔裝置的潔凈室。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是有關(guān)于一種清潔裝置，尤其是一種潔凈室用低角度光照微塵清潔裝置及具有該裝置的潔凈室。

背景技術(shù)

潔凈室為食品、光電、半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥、和醫(yī)院內(nèi)的手術(shù)室等領(lǐng)域常見的設(shè)施，為提升產(chǎn)品或?qū)嶒?yàn)過程的質(zhì)量、良率及可靠性，潔凈室內(nèi)的環(huán)境條件必須被嚴(yán)格地控制，除溫度、濕度和空氣質(zhì)量，對(duì)于微塵顆粒的數(shù)量更有嚴(yán)格的要求。

一般性的微塵顆粒，可以藉由潔凈室中空氣反復(fù)對(duì)流過程中，以濾網(wǎng)濾除；然而，部分特殊的微塵顆粒，例如化妝品的顆粒、來(lái)自手套或服裝上的帶靜電顆粒、甚至是沾黏到人體表面油脂的灰塵等，由于具有些微的黏著性，通常會(huì)附著于工作臺(tái)表面。即使額外采用真空吸塵器吸取的方式，仍可能因?yàn)槲m本身的靜電或油脂導(dǎo)致附著力過大，而難以被吸離其所附著的表面；而若以高壓空氣吹除的方式，去除附著于對(duì)象表面的微塵，微塵可能會(huì)因?yàn)闅饬黠w濺至其他地方，造成潔凈室二度污染。

另一方面，對(duì)于肉眼極難觀察到的微塵，并無(wú)法準(zhǔn)確地判斷數(shù)量及位置，即使要求以人力擦拭的方式處理，仍然難以確保可以有效地清理去除，即使加入燈光輔助照明，也可能會(huì)因微塵過小，尤其當(dāng)主要的入射光線角度過于陡峭，工作臺(tái)面也將會(huì)造成光線的反射過強(qiáng)，并且直接進(jìn)入操作人員眼中，進(jìn)而影響對(duì)微塵位置和到底擦拭干凈與否的判斷。

另方面，常見的例如自走掃地機(jī)器人，其清掃方式完全是依賴刷頭旋轉(zhuǎn)，使得較大型顆粒狀雜物被驅(qū)離原本位置而被吸取；但相同的結(jié)構(gòu)應(yīng)用于本技術(shù)領(lǐng)域時(shí)，一方面毛刷類結(jié)構(gòu)接觸清潔表面進(jìn)行掃除時(shí)，微塵可能沾黏至毛刷上，隨后落至其他位置，或直接因掃動(dòng)力道而被驅(qū)離至其他位置，造成預(yù)期之外的污染；另方面毛刷本身和清潔表面接觸過程中磨耗所產(chǎn)生的毛屑、甚至因毛刷的刷動(dòng)而造成清潔表面的刮傷，尤其當(dāng)清潔對(duì)象是例如光罩等，一旦被刮傷就造成大量后續(xù)困擾。因此，本發(fā)明的潔凈室清除工作，必須避免上述接觸式的清潔方式。

因此，如何提供一種清潔裝置，能有效將附著力較大的細(xì)小微塵從附著表面有效去除，且能避免微塵飛濺至他處，尤其要同時(shí)以不妨礙觀察的光源輔助照明，就是本發(fā)明所要達(dá)到的目的。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述不足，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，希望提供一種一種潔凈室用低角度光照微塵清潔裝置，旨在實(shí)現(xiàn)如下目的：(1)能有效地將微塵驅(qū)離附著表面，并且吸除；(2)以低角度的光源輔助照明，不僅照亮工作區(qū)域，更減少直接反射光而易于觀察微塵，并能確認(rèn)微塵是否確實(shí)被清除；(3)藉由具有自走功能，自動(dòng)化清潔一工作區(qū)域。本發(fā)明還希望提供一種具有低角度光照微塵清潔裝置的潔凈室，能自動(dòng)偵測(cè)操作空間內(nèi)的微塵，并依鎖定位置指令具有自走功能的清潔裝置前往清除。

根據(jù)實(shí)施例，本發(fā)明提供的一種潔凈室用低角度光照微塵清潔裝置，供導(dǎo)入一負(fù)壓環(huán)境而吸取一操作空間中的微塵，該低角度光照微塵清潔裝置包括：一主體，連結(jié)上述負(fù)壓環(huán)境；一光源吸嘴組件，供可拆卸地連結(jié)至上述主體，該光源吸嘴組件包括一鏈接上述主體并導(dǎo)接上述負(fù)壓環(huán)境的吸嘴，該吸嘴具有一通氣本體及遠(yuǎn)離上述主體的吸頭端，該吸頭端形成有一開口，使得上述負(fù)壓環(huán)境被施加至上述開口，供吸取上述操作空間中對(duì)應(yīng)上述開口的一吸取工作區(qū)處的微塵，及一組以低角度照射上述吸取工作區(qū)的低角度光源，使得上述吸取工作區(qū)對(duì)前述低角度光源的反射光遠(yuǎn)離一觀察角度；及一對(duì)應(yīng)上述吸嘴的起塵裝置，當(dāng)上述微塵是附著于上述操作空間之一工作表面時(shí)，將上述微塵以非接觸力驅(qū)離上述工作表面供上述吸嘴吸取。