[發(fā)明專利]潔凈室用低角度光照微塵清潔裝置及具有該裝置的潔凈室

在審

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• 申請日: 2019-04-19
• 公開（公告）號: CN111820811A
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊之逸;近藤博仁
• 申請（專利權(quán)）人: 承奕科技股份有限公司
• 主分類號: A47L9/02
• 分類號: A47L9/02;A47L9/04;A47L9/30;E04H1/12
• 代理公司: 上海中優(yōu)律師事務(wù)所 31284
• 代理人: 潘詩孟

1.一種潔凈室用低角度光照微塵清潔裝置，供導(dǎo)入一負壓環(huán)境而吸取一操作空間中的微塵，其特征是，該低角度光照微塵清潔裝置包括：

一主體，連結(jié)上述負壓環(huán)境；

一光源吸嘴組件，供可拆卸地連結(jié)至上述主體，該光源吸嘴組件包括：

一連結(jié)上述主體并導(dǎo)接上述負壓環(huán)境的吸嘴，該吸嘴具有一通氣本體及遠離上述主體的吸頭端，該吸頭端形成有一開口，使得上述負壓環(huán)境被施加至上述開口，供吸取上述操作空間中對應(yīng)上述開口的一吸取工作區(qū)處的微塵，及

一組以低角度照射上述吸取工作區(qū)的低角度光源，使得上述吸取工作區(qū)對前述低角度光源的反射光遠離一觀察角度；及

一對應(yīng)上述吸嘴的起塵裝置，當上述微塵附著于上述操作空間之一工作表面時，將上述微塵以非接觸力驅(qū)離上述工作表面供上述吸嘴吸取。

2.如權(quán)利要求1所述的潔凈室用低角度光照微塵清潔裝置，其特征是，上述起塵裝置是一正壓吹嘴。

3.如權(quán)利要求2所述的潔凈室用低角度光照微塵清潔裝置，其特征是，上述正壓吹嘴包含至少一主吹氣口以及復(fù)數(shù)輔助吹氣口，前述輔助吹氣口具有對應(yīng)上述主吹氣口的導(dǎo)引吹氣模式，藉此，當上述微塵受上述主吹氣口吹送脫離上述工作表面時，將上述微塵導(dǎo)引朝向上述吸嘴的位置推送。

4.如權(quán)利要求1所述的潔凈室用低角度光照微塵清潔裝置，其特征是，上述起塵裝置是一超聲波起振器。

5.如權(quán)利要求4所述的清潔室用低角度光照微塵清潔裝置，其特征是，上述超聲波起振器包括復(fù)數(shù)以彼此相異時序訊號驅(qū)動的晶胞，藉此，超聲波可以選擇性地造成相互干涉的波前。

6.如權(quán)利要求1、2、3、4或5項所述的潔凈室用低角度光照微塵清潔裝置，其特征是，進一步包括一組微處理器；以及上述主體還設(shè)置有一組受前述微處理器驅(qū)動的滾輪。

7.如權(quán)利要求6所述的潔凈室用低角度光照微塵清潔裝置，其特征是，進一步包括一組設(shè)置于上述主體的傳感器，供接收由上述低角度光源所發(fā)光束經(jīng)上述微塵漫反射和/或自發(fā)光所導(dǎo)致的回授光，并將前述回授光訊號轉(zhuǎn)換為一感測訊號傳輸至上述微處理器。

8.如權(quán)利要求1所述的潔凈室用低角度光照微塵清潔裝置，其特征是，進一步包括一設(shè)置于上述主體的影像放大裝置，供一操作人員觀察上述吸取工作區(qū)處的微塵。

9.一種具有低角度光照微塵清潔裝置的潔凈室，包括一個由至少一頂壁及至少一圍繞壁所構(gòu)成的潔凈操作空間，以及至少一潔凈室用低角度光照微塵清潔裝置，供導(dǎo)入一負壓環(huán)境而吸取前述潔凈操作空間中的微塵，其特征是，該低角度光照微塵清潔裝置包括：

一主體，連結(jié)上述負壓環(huán)境，該主體包括一組滾輪；

一光源吸嘴組件，供可拆卸地連結(jié)至上述主體，該光源吸嘴組件包括：

一連結(jié)上述主體并導(dǎo)接上述負壓環(huán)境的吸嘴，該吸嘴具有一通氣本體及遠離上述主體的吸頭端，該吸頭端形成有一開口，使得上述負壓環(huán)境被施加至上述開口，供吸取上述操作空間中對應(yīng)上述開口的一吸取工作區(qū)處的微塵，及

一組以低角度照射上述吸取工作區(qū)的低角度光源，使得上述吸取工作區(qū)對前述低角度光源的反射光遠離一觀察角度；

一對應(yīng)上述吸嘴的起塵裝置，當上述微塵是附著于上述操作空間之一工作表面時，將上述微塵以非接觸力驅(qū)離上述工作表面供上述吸嘴吸取；及

一組供驅(qū)動上述滾輪的微處理器。

10.如權(quán)利要求9所述的潔凈室，其特征是，進一步包括一組通信鏈接上述微處理器的控制器及一組光傳感器組件，前述光傳感器組件包括復(fù)數(shù)設(shè)置于上述頂壁和/或上述圍繞壁的光傳感器。