[發明專利]翻轉結構及晶圓甩干設備

有效

• 申請號: 201910314580.4
• 申請日: 2019-04-18
• 公開（公告）號: CN110034051B
• 公開（公告）日: 2021-07-13
• 發明（設計）人: 陳蘇偉;吳光慶;王勇威;劉建民;安穩鵬
• 申請（專利權）人: 北京半導體專用設備研究所（中國電子科技集團公司第四十五研究所）
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 王獻茹

1.一種翻轉結構，應用于晶圓甩干設備中，其特征在于，包括承載盒(1)、轉盤(2)和翻轉裝置(4)；

所述承載盒(1)轉動連接于所述轉盤(2)；

所述翻轉裝置(4)驅動連接所述承載盒(1)，能夠驅動所述承載盒(1)在所述轉盤(2)上翻轉；

還包括支撐板(31)；

所述支撐板(31)固接于所述轉盤(2)，且所述承載盒(1)轉動連接于所述支撐板(31)；

所述翻轉裝置(4)包括翻轉組件(41)和動力組件(42)；

所述動力組件(42)驅動連接所述翻轉組件(41)，且所述動力組件(42)驅動所述翻轉組件(41)運動時，所述翻轉組件(41)能夠帶動所述承載盒(1)翻轉；

所述翻轉組件(41)包括擺桿(411)、傳動板(412)、支撐軸(413)和固接于機架的法蘭座(414)；

所述擺桿(411)插設于所述法蘭座(414)，且與所述法蘭座(414)轉動連接；

所述擺桿(411)包括相對應的第一端和第二端，所述第二端固接于所述傳動板(412)的一端，所述支撐軸(413)固接于所述傳動板(412)的另一端；

所述動力組件(42)驅動連接所述支撐軸(413)，且能夠驅動所述支撐軸(413)帶動所述傳動板(412)擺動，以令所述傳動板(412)帶動所述擺桿(411)轉動，從而所述擺桿(411)的第一端帶動所述承載盒(1)翻轉。

2.根據權利要求1所述的翻轉結構，其特征在于，所述翻轉組件(41)還包括密封法蘭(415)，所述密封法蘭(415)固接于所述法蘭座(414)；所述擺桿(411)穿過所述密封法蘭(415)后與所述法蘭座(414)連接。

3.根據權利要求2所述的翻轉結構，其特征在于，所述翻轉裝置(4)還包括密封組件；

所述密封組件包括第一密封圈(431)、第二密封圈(432)和第三密封圈(433)；

所述第一密封圈(431)設置于所述密封法蘭(415)和所述擺桿(411)之間，所述第二密封圈(432)設置于所述密封法蘭(415)和所述法蘭座(414)之間，所述第三密封圈(433)設置于所述法蘭座(414)和所述機架之間。

4.根據權利要求1所述的翻轉結構，其特征在于，所述動力組件(42)包括氣缸(421)；

所述氣缸(421)的缸筒鉸接于所述機架，所述支撐軸(413)固接于所述氣缸(421)的活塞桿；所述活塞桿相對所述缸筒伸縮時，能夠驅動所述支撐軸(413)帶動所述傳動板(412)擺動。

5.根據權利要求1所述的翻轉結構，其特征在于，所述承載盒(1)上固設有翻轉板(5)，所述轉盤(2)上固設有墊板(6)；

所述第一端帶動所述翻轉板(5)轉動，能夠令所述翻轉板(5)帶動所述承載盒(1)翻轉，且所述承載盒(1)翻轉至預設的甩干位置時，所述翻轉板(5)與所述墊板(6)抵接。

6.根據權利要求5所述的翻轉結構，其特征在于，沿所述擺桿(411)的延伸方向，所述擺桿(411)包括依次連接的第一段部(4111)、第二段部(4112)和第三段部(4113)，且所述第二段部(4112)和所述第一段部(4111)之間呈角度設置；

所述第二端位于所述第一段部(4111)上，所述第一端位于所述第三段部(4113)上。

7.一種晶圓甩干設備，其特征在于，包括如權利要求1-6任一項所述的翻轉結構。