[發明專利]觀察窗組件及半導體加工設備

有效

• 申請號: 201910312268.1
• 申請日: 2019-04-18
• 公開（公告）號: CN111834188B
• 公開（公告）日: 2022-11-25
• 發明（設計）人: 魯艷成
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/30
• 分類號: H01J37/30;H01J37/305
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

本發明提供一種觀察窗組件及半導體加工設備，包括觀察窗和底座，所述底座用于固定安裝在腔室壁上；在所述底座中設置有容納觀察窗的空腔，并且在所述底座上，且位于所述空腔的兩側分別設置有用于顯露所述觀察窗的開口。本發明提供的觀察窗組件，其可以簡化拆裝過程，提高維護效率。

技術領域

本發明涉及半導體制造領域，具體地，涉及一種觀察窗組件及半導體加工設備。

背景技術

在IC(集成電路)的制造工藝中，刻蝕機是必不可少的設備。為了便于觀察反應腔內部的狀態，刻蝕機的反應腔側壁通常裝有觀察窗。現有的觀察窗一般有兩個元件，其中一個為圓片型玻璃，其通過固定件及密封件安裝在腔室側壁上；其中另一個為圓柱型玻璃，其內嵌在腔室側壁的觀察孔中，用作圓片型玻璃的保護件。

隨著工藝的進行，由于圓柱型玻璃的一端暴露在反應腔內部，其會被等離子體腐蝕，導致透光性降低，需要定期更換維護。而且在更換圓柱型玻璃時，需拆下腔室側壁上的圓片型玻璃及其固定件和密封件，并在更換圓柱型玻璃后，需再次安裝圓片型玻璃及其固定件和密封件，拆裝過程復雜，維護效率較低。

發明內容

本發明旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一，提出了一種觀察窗組件及半導體加工設備，其可以簡化拆裝過程，提高維護效率。

為實現本發明的目的而提供一種觀察窗組件，包括觀察窗和底座，所述底座用于固定安裝在腔室壁上；在所述底座中設置有容納所述觀察窗的空腔，并且在所述底座上，且位于所述空腔的兩側分別設置有用于顯露所述觀察窗的開口。

可選的，所述底座包括相互疊置的底座本體和蓋板，在所述底座本體和/或所述蓋板上設置有凹槽，以構成所述空腔；

對應地分別在所述底座本體和蓋板上設置有通孔，用作所述開口。

可選的，所述底座本體和蓋板通過多個螺釘固定連接，多個所述螺釘沿所述通孔的周向間隔分布。

可選的，所述通孔的軸線與所述觀察窗的中心重合，且所述通孔的直徑小于所述觀察窗的外徑。

可選的，在所述觀察窗與所述底座本體相疊置的兩個表面之間，和/或在所述觀察窗與所述蓋板相疊置的兩個表面之間設置有至少一個密封墊圈。

可選的，所述觀察窗組件還包括遮擋板，所述遮擋板可活動的設置在所述底座上，用以遮擋或者顯露所述開口。

可選的，所述遮擋板通過螺釘與所述底座可旋轉的連接，且所述螺釘的軸線偏離所述開口的中心。

可選的，所述觀察窗組件還包括頂絲，所述頂絲與所述底座螺紋連接，且所述頂絲的一端能夠與所述腔室壁相接觸。

可選的，所述觀察窗組件還包括密封圈，所述密封圈設置在所述底座與所述腔室壁之間，用以在所述底座固定安裝在所述腔室壁上時，密封所述底座與所述腔室壁之間的間隙。

可選的，所述觀察窗組件還包括多個固定螺釘，用以將所述底座與所述腔室壁固定連接；多個所述固定螺釘沿所述觀察窗的周向間隔分布。

作為另一個技術方案，本發明還提供一種半導體加工設備，包括腔室，在所述腔室的腔室壁中設置有沿其厚度貫穿的觀察孔，且在所述腔室壁的與所述觀察孔對應的位置處安裝有觀察窗組件，所述觀察窗組件采用本發明提供的上述觀察窗組件。

本發明具有以下有益效果：

本發明提供的觀察窗組件，其通過在底座中設置容納有觀察窗的空腔，并利用能夠顯露觀察窗的開口來實現對腔室內部的觀察，可以使觀察窗與底座集成為一個整體式結構安裝在腔室壁上，從而在需要更換觀察窗時，通過將底座自腔室壁上拆卸下來即可實現整體的拆卸，進而可以簡化拆裝過程，提高維護效率。

本發明提供的半導體加工設備，其通過采用本發明提供的上述觀察窗組件，可以簡化拆裝過程，提高維護效率。