[發(fā)明專利]觀察窗組件及半導(dǎo)體加工設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910312268.1
• 申請(qǐng)日: 2019-04-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111834188B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-11-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 魯艷成
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/30
• 分類號(hào): H01J37/30;H01J37/305
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

1.一種半導(dǎo)體加工設(shè)備，包括腔室，在所述腔室的腔室壁中設(shè)置有沿其厚度貫穿的觀察孔，且在所述腔室壁的與所述觀察孔對(duì)應(yīng)的位置處安裝有觀察窗組件，其特征在于，所述觀察窗組件包括觀察窗和底座，所述底座用于固定安裝在腔室壁上；在所述底座中設(shè)置有容納所述觀察窗的空腔，并且在所述底座上，且位于所述空腔的兩側(cè)分別設(shè)置有用于顯露所述觀察窗的開(kāi)口；

所述底座包括相互疊置的底座本體和蓋板，在所述底座本體和/或所述蓋板上設(shè)置有凹槽，以構(gòu)成所述空腔；對(duì)應(yīng)地分別在所述底座本體和蓋板上設(shè)置有通孔，用作所述開(kāi)口；

所述觀察窗組件還包括多個(gè)固定螺釘和頂絲，多個(gè)所述固定螺釘和所述頂絲均設(shè)置于所述底座本體上，且環(huán)繞于所述蓋板外側(cè)的未被所述蓋板遮擋的區(qū)域，多個(gè)所述固定螺釘沿所述觀察窗的周向間隔分布，用以將所述底座本體與所述腔室壁固定連接；所述頂絲與所述底座本體螺紋連接，且所述頂絲的一端能夠與所述腔室壁相接觸，并且所述頂絲的一端能夠在旋緊時(shí)相對(duì)于所述底座本體的朝向所述腔室壁的表面伸出，以使所述底座本體與所述腔室壁相分離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備，其特征在于，所述底座本體和蓋板通過(guò)多個(gè)螺釘固定連接，多個(gè)所述螺釘沿所述通孔的周向間隔分布。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備，其特征在于，所述通孔的軸線與所述觀察窗的中心重合，且所述通孔的直徑小于所述觀察窗的外徑。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備，其特征在于，在所述觀察窗與所述底座本體相疊置的兩個(gè)表面之間，和/或在所述觀察窗與所述蓋板相疊置的兩個(gè)表面之間設(shè)置有至少一個(gè)密封墊圈。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任意一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備，其特征在于，所述觀察窗組件還包括遮擋板，所述遮擋板可活動(dòng)的設(shè)置在所述底座上，用以遮擋或者顯露所述開(kāi)口。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備，其特征在于，所述遮擋板通過(guò)螺釘與所述底座可旋轉(zhuǎn)的連接，且所述螺釘?shù)妮S線偏離所述開(kāi)口的中心。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-4任意一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體加工設(shè)備，其特征在于，所述觀察窗組件還包括密封圈，所述密封圈設(shè)置在所述底座與所述腔室壁之間，用以在所述底座固定安裝在所述腔室壁上時(shí)，密封所述底座與所述腔室壁之間的間隙。