[發明專利]感光性樹脂組合物、耐熱性樹脂膜的制造方法及顯示裝置

在審

• 申請號: 201910307047.5
• 申請日: 2013-12-13
• 公開（公告）號: CN110147031A
• 公開（公告）日: 2019-08-20
• 發明（設計）人: 小森悠佑;越野美加;三好一登
• 申請（專利權）人: 東麗株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/023;G03F7/037;G03F7/038;G03F7/40;H01L27/32;H01L51/52;C09D179/08;C09D7/40;C08G73/10
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 楊宏軍;李國卿

本發明提供一種使用了下述聚酰亞胺前體的感光性樹脂組合物，所述聚酰亞胺前體在有機溶劑中的溶解性優異、且可降低得到的樹脂組合物的粘度，本發明的感光性樹脂組合物含有：具有酰胺基、三氟甲基和芳香環的特定結構作為主要重復單元的芳香族酰胺樹脂、(b)感光劑及(c)溶劑。

本申請是申請日為2013年12月13日、申請號為201380065421.6(國際申請號為PCT/JP2013/083491)、發明名稱為“感光性樹脂組合物、耐熱性樹脂膜的制造方法及顯示裝置”的申請的分案申請。

技術領域

本發明涉及一種包含以特定結構為主要成分的樹脂的感光性樹脂組合物。更詳細而言，涉及一種適用于半導體元件的表面保護膜或層間絕緣膜、有機場致發光(Electroluminescence：以下記作EL)元件的絕緣膜、使用了有機EL元件的顯示裝置的驅動用薄膜晶體管(Thin Film Transistor：以下記作TFT)基板的平整膜、電路基板的布線保護絕緣膜、固體攝像元件的單片微透鏡(on-chip microlens)或各種顯示器·固體攝像元件用平整膜等用途的感光性樹脂組合物。

背景技術

聚酰亞胺被廣泛用于半導體元件的表面保護膜、層間絕緣膜和平整膜等，最近，例如用于有機EL元件的絕緣膜、TFT基板的平整膜等。這些用途與半導體用途相比，基板尺寸非常大，因此，通常利用狹縫涂布來涂布樹脂組合物。狹縫涂布是使用狹縫噴嘴的涂布方式，與以往的旋轉涂布不同，狹縫涂布不需要旋轉基板，因此，從削減樹脂組合物的使用量和工序安全性的觀點考慮，狹縫涂布被廣泛采用。在狹縫涂布中，由于從狹縫噴嘴中排出的涂布膜含有大量溶劑，所以通常在涂布后立即進行減壓干燥將溶劑除去，之后使用熱板等進行加熱干燥。

對于狹縫涂布而言，膜厚取決于來自狹縫噴嘴的排出量和成為涂液的樹脂組合物中的固態成分濃度。因此，為了形成厚膜，需要使排出量較大或使樹脂組合物中的固態成分濃度較高。然而，如果排出量過多，則液面在基板搬運中波動，所以會導致膜厚均勻性惡化。另一方面，使用了聚酰亞胺或聚酰亞胺前體的樹脂組合物存在下述問題：如果使樹脂組合物中的固態成分濃度較高，則粘度變得過高。

樹脂組合物的粘度可以通過使用對樹脂而言為良溶劑、溶劑本身的粘度低的溶劑來降低。聚酰亞胺、聚酰亞胺前體因其具有剛直的結構，所以在多數情況下在各種溶劑中的溶解性低。迄今為止，提出了在有機溶劑中的溶解性得以改善的聚酰亞胺(例如，參見專利文獻1)、聚酰亞胺前體(例如，參見專利文獻2～3)。然而，這些樹脂在有機溶劑中的溶解性仍然不充分。此外，由這些樹脂無法得到具有適于狹縫涂布的粘度的樹脂組合物。

專利文獻1：日本特開2005-41936號公報

專利文獻2：日本特開2011-42701號公報

專利文獻3：日本特開2011-202059號公報

發明內容

鑒于上述問題，本發明的目的在于提供一種包含在有機溶劑中的溶解性高的聚酰亞胺前體、粘度低且涂布性優異、由此形成均勻的膜厚、具有良好的圖案加工性的感光性樹脂組合物。

即，本發明為下述感光性樹脂組合物：包含(a1)具有酰胺基、三氟甲基和芳香環，且可溶于丙二醇單甲醚乙酸酯的芳香族酰胺樹脂、(b)感光劑及(c)溶劑，固態成分濃度為20重量％，25℃時的粘度為1～15cp；或者包含(a2)具有酰胺基、酰胺酸酯基、三氟甲基和芳香環，且可溶于丙二醇單甲醚乙酸酯的芳香族酰胺樹脂、(b)感光劑及(c)溶劑，固態成分濃度為20重量％，25℃時的粘度為1～15cp；或者含有(a)具有通式(1)表示的結構作為主要重復單元的樹脂、(b)感光劑及(c)溶劑。