[發(fā)明專利]感光性樹脂組合物、耐熱性樹脂膜的制造方法及顯示裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910307047.5
• 申請日: 2013-12-13
• 公開（公告）號: CN110147031A
• 公開（公告）日: 2019-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 小森悠佑;越野美加;三好一登
• 申請（專利權(quán)）人: 東麗株式會社
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;G03F7/023;G03F7/037;G03F7/038;G03F7/40;H01L27/32;H01L51/52;C09D179/08;C09D7/40;C08G73/10
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 楊宏軍;李國卿

1.一種感光性樹脂組合物，包含(a1)具有酰胺基、三氟甲基和芳香環(huán)，且可溶于丙二醇單甲醚乙酸酯的芳香族酰胺樹脂；(b)感光劑及(c)溶劑，所述感光性樹脂組合物的固態(tài)成分濃度為20重量％，25℃時(shí)的粘度為1～15cp。

2.一種感光性樹脂組合物，包含(a2)具有酰胺基、酰胺酸酯基、三氟甲基和芳香環(huán)，且可溶于丙二醇單甲醚乙酸酯的芳香族酰胺樹脂；(b)感光劑及(c)溶劑，所述感光性樹脂組合物的固態(tài)成分濃度為20重量％，25℃時(shí)的粘度為1～15cp。

3.如權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其中，所述(b)感光劑為醌二疊氮化合物。

4.一種耐熱性樹脂膜的制造方法，包含下述工序：將權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物涂布于基板上從而形成感光性樹脂膜的工序；將所述感光性樹脂膜進(jìn)行干燥的工序；將干燥過的感光性樹脂膜進(jìn)行曝光的工序；將曝光過的感光性樹脂膜進(jìn)行顯影的工序以及將顯影過的感光性樹脂膜進(jìn)行加熱處理的工序。

5.一種耐熱性樹脂膜的制造方法，包含下述工序：將權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物涂布于基板上從而形成感光性樹脂膜的工序；將所述感光性樹脂膜進(jìn)行干燥的工序；將干燥過的感光性樹脂膜進(jìn)行曝光的工序；將曝光過的感光性樹脂膜進(jìn)行顯影的工序以及將顯影過的感光性樹脂膜進(jìn)行加熱處理的工序，

其中，使用輸送過除權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物以外的感光性樹脂組合物的涂布裝置，在不進(jìn)行所述涂布裝置的輸送路徑內(nèi)的清洗的情況下，使用所述涂布裝置將權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物涂布于基板上。

6.如權(quán)利要求5所述的耐熱性樹脂膜的制造方法，其中，所述除權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物以外的感光性樹脂組合物，為含有選自乙二醇單乙醚乙酸酯、乙基－3－乙氧基丙酸酯、甲基－3－甲氧基丙酸酯、2－庚酮、丙二醇單甲醚乙酸酯、環(huán)己酮中的至少1種溶劑的感光性樹脂組合物。

7.一種顯示裝置，其包含形成于基板上的第一電極、以使第一電極部分地露出的方式形成于第一電極上的絕緣層、和與第一電極相對設(shè)置的第二電極，所述顯示裝置的特征在于，所述絕緣層為利用權(quán)利要求4～6中任一項(xiàng)所述的耐熱性樹脂膜的制造方法而得到的耐熱性樹脂膜。

8.一種顯示裝置，其是具備以覆蓋形成有薄膜晶體管(TFT)的基板上的凹凸的狀態(tài)而設(shè)置的平整膜、和設(shè)置于平整膜上的顯示元件而成，所述顯示裝置的特征在于，所述平整膜為利用權(quán)利要求4～6中任一項(xiàng)所述的耐熱性樹脂膜的制造方法而得到的耐熱性樹脂膜。