[發(fā)明專利]激光打標(biāo)機(jī)及其打標(biāo)方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910306387.6
• 申請日: 2019-04-17
• 公開（公告）號: CN109968854B
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 謝圣君;溫堯明;覃忠賢;焦波;林家新;郭良;楊萍;高云峰
• 申請（專利權(quán)）人: 大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號: B41M5/26
• 分類號: B41M5/26;B41J2/47;B23K26/362;B23K26/70
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 何鋒;何平

本發(fā)明涉及一種激光打標(biāo)機(jī)及其打標(biāo)方法。該打標(biāo)方法包括步驟：將透光膜貼附于工件的待打標(biāo)表面上，獲取所述工件的待打標(biāo)圖形，根據(jù)所述待打標(biāo)圖形在所述工件的待打標(biāo)表面上進(jìn)行激光打標(biāo)。上述激光打標(biāo)方法中，通過在晶圓表面上貼附透光膜，能較大提升晶圓的整體強(qiáng)度，避免晶圓表面卷曲的情況發(fā)生，使得晶圓保持平整，同時減小應(yīng)力損傷和微裂紋，減小破片的可能性，實現(xiàn)了厚度小于100毫米以下的晶圓的激光打標(biāo)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及激光打標(biāo)領(lǐng)域，特別是涉及一種激光打標(biāo)機(jī)及其打標(biāo)方法。

背景技術(shù)

激光打標(biāo)是利用高能量密度的激光對工件某一個部分進(jìn)行照射，使表層材料汽化或發(fā)生顏色變化的化學(xué)反應(yīng)，從而留下永久性標(biāo)記的一種打標(biāo)方法。

隨著電子器件的微型化，多功能化和智能化，集成電路封裝器件體積向三維方向減小，封裝芯片厚度不可避免的要求越來越薄，故晶圓減薄成為一種發(fā)展趨勢。當(dāng)晶圓厚度減薄到一定厚度時，自身強(qiáng)度會下降，發(fā)生嚴(yán)重的變形翹曲，導(dǎo)致無法進(jìn)行激光打標(biāo)。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要提供一種對厚度較薄的晶圓實現(xiàn)激光打標(biāo)的激光打標(biāo)機(jī)及其打標(biāo)方法。

一種打標(biāo)方法，包括如下步驟：

將透光膜貼附于工件的待打標(biāo)表面上；

獲取所述工件的待打標(biāo)圖形；

根據(jù)所述待打標(biāo)圖形在所述工件的待打標(biāo)表面上進(jìn)行激光打標(biāo)。

上述激光打標(biāo)方法中，通過在晶圓表面上貼附透光膜，能較大提升晶圓的整體強(qiáng)度，避免晶圓表面卷曲的情況發(fā)生，使得晶圓保持平整，同時減小應(yīng)力損傷和微裂紋，減小破片的可能性，實現(xiàn)了厚度小于100毫米以下的晶圓的激光打標(biāo)。

在其中一個實施例中，所述待打標(biāo)圖形設(shè)置在所述工件上與所述待打標(biāo)表面相對的一面，激光穿射所述透光膜對所述工件進(jìn)行打標(biāo)。

在其中一個實施例中，所述將透光膜貼附于所述工件的待打標(biāo)表面上的步驟之后，還包括對所述工件進(jìn)行合格篩選。

在其中一個實施例中，所述對所述工件進(jìn)行合格篩選的步驟，包括：

調(diào)節(jié)所述工件到檢測位置；

讀取所述工件的身份信息；

將合格的所述工件輸送到打標(biāo)工位上。

在其中一個實施例中，所述根據(jù)所述待打標(biāo)圖形對所述工件進(jìn)行激光打標(biāo)的步驟之前，還包括對所述工件進(jìn)行試打標(biāo)。

在其中一個實施例中，所述對所述工件進(jìn)行試打標(biāo)的步驟，包括：

根據(jù)所述待打標(biāo)圖形獲取打標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)；

對所述工件進(jìn)行測試打標(biāo)；

根據(jù)打標(biāo)后的圖形獲取打標(biāo)實際數(shù)據(jù)；

比較所述打標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)及所述打標(biāo)實際數(shù)據(jù)，當(dāng)符合大于誤差范圍時，將所述工件轉(zhuǎn)移到廢料盒中。

在其中一個實施例中，所述透光膜的厚度為80微米至100微米。

在其中一個實施例中，所述根據(jù)所述待打標(biāo)圖形對所述工件進(jìn)行激光打標(biāo)的步驟之前，還包括對激光器添加小孔光闌。

一種應(yīng)用于上述的激光打標(biāo)方法的激光打標(biāo)機(jī)，包括：

用于輸出激光束的激光器，所述激光器上安裝有小孔光闌，所述激光器設(shè)置于所述工件靠近所述待打標(biāo)表面的一側(cè)；

光學(xué)傳導(dǎo)機(jī)構(gòu)，用于改變所述激光器輸出的激光束的路徑；

振鏡機(jī)構(gòu)，用于將從所述振鏡機(jī)構(gòu)輸出的激光聚焦于所述工件上；