[發(fā)明專利]微型器件的轉(zhuǎn)移裝置及微型器件的轉(zhuǎn)移方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910301234.2
• 申請日: 2019-04-15
• 公開（公告）號: CN110707016B
• 公開（公告）日: 2022-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張煒熾;林金源;陳英杰;陸一民;吳逸蔚
• 申請（專利權(quán)）人: 鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L33/48
• 代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44334
• 代理人: 汪飛亞;薛曉偉

1.一種微型器件的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于，包括：

第一基底；

轉(zhuǎn)移基底，所述轉(zhuǎn)移基底形成于所述第一基底上，所述轉(zhuǎn)移基底用于承載多個微型器件，所述轉(zhuǎn)移基底通過粘合層固定對應(yīng)設(shè)置的所述微型器件；

紫外光光源，用以發(fā)射紫外光至所述粘合層，使所述粘合層粘性下降；

所述第一基底和所述轉(zhuǎn)移基底之間還設(shè)置有至少一個緩沖元件,所述緩沖元件用于為所述微型器件提供緩沖力；

所述第一基底上形成有凹陷形成的至少一個井，每一個所述井中容納有至少一個平臺，所述緩沖元件設(shè)置于所述井和所述平臺之間的空間內(nèi)，所述轉(zhuǎn)移基底形成于所述平臺上；

其中，所述緩沖元件為磁鐵組，所述磁鐵組包括第一磁鐵和第二磁鐵，所述第一磁鐵位于所述井的側(cè)壁，所述第二磁鐵位于所述平臺的側(cè)壁，所述第一磁鐵與所述第二磁鐵相對設(shè)置，且磁場方向相反，使得所述平臺呈懸浮狀態(tài)收容于所述井中。

2.一種微型器件的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于：包括：

第一基底；

轉(zhuǎn)移基底，所述轉(zhuǎn)移基底形成于所述第一基底上，所述轉(zhuǎn)移基底用于承載多個微型器件，所述轉(zhuǎn)移基底通過粘合層固定對應(yīng)設(shè)置的所述微型器件；

紫外光光源，用以發(fā)射紫外光至所述粘合層，使所述粘合層粘性下降；

所述第一基底和所述轉(zhuǎn)移基底之間還設(shè)置有至少一個緩沖元件,所述緩沖元件用于為所述微型器件提供緩沖力；

所述第一基底上形成有凹陷形成的至少一個井，每一個所述井中容納有至少一個平臺，所述緩沖元件設(shè)置于所述井和所述平臺之間的空間內(nèi)，所述轉(zhuǎn)移基底形成于所述平臺上；

其中，所述緩沖元件為電磁鐵組，所述電磁鐵組包括第一電磁鐵和第二電磁鐵，所述第一電磁鐵位于所述井的側(cè)壁，所述第二電磁鐵位于所述平臺的側(cè)壁，所述第一電磁鐵與所述第二電磁鐵相對設(shè)置，且磁場方向相反，使得所述平臺呈懸浮狀態(tài)收容于所述井中。

3.如權(quán)利要求1或2所述的微型器件的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于：所述平臺為不透明的材質(zhì)，所述平臺具有暴露所述轉(zhuǎn)移基底的通孔,所述每一個井的底面具有至少一個紫外光光源，所述轉(zhuǎn)移基底通過粘合層固定對應(yīng)設(shè)置的所述多個微型器件。

4.如權(quán)利要求1或2所述的微型器件的轉(zhuǎn)移裝置，其特征在于：所述平臺為透明的材質(zhì)，所述每一個井的底面具有至少一個所述紫外光光源，所述轉(zhuǎn)移基底通過粘合層固定對應(yīng)設(shè)置的所述多個微型器件。

5.一種微型器件的轉(zhuǎn)移方法，其包括：

提供一轉(zhuǎn)移裝置，所述轉(zhuǎn)移裝置包括第一基底及轉(zhuǎn)移基底，所述轉(zhuǎn)移基底形成于所述第一基底上，所述第一基底和所述轉(zhuǎn)移基底之間還包括至少一個緩沖元件及一紫外光光源；

在所述轉(zhuǎn)移基底上形成多個微型器件，所述轉(zhuǎn)移基底和所述微型器件之間通過粘合層固定；

提供用于使用所述微型器件的接收基板，對準所述轉(zhuǎn)移基底和所述接收基板；

向所述接收基板或所述轉(zhuǎn)移裝置施加壓力，使所述多個微型器件固定于所述接收基板；

打開所述紫外光光源，所述紫外光光源發(fā)出的紫外光照射到所述粘合層,使得所述粘合層失去粘性；

移除所述轉(zhuǎn)移基底；

其中，所述第一基底包括多個井以及容納于所述井中的平臺，所述緩沖元件設(shè)置于所述井和所述平臺之間的空間中，所述轉(zhuǎn)移基底形成于所述平臺上，所述緩沖元件為磁鐵組，所述磁鐵組包括第一磁鐵和第二磁鐵，所述第一磁鐵位于所述井的側(cè)壁，所述第二磁鐵位于所述平臺的側(cè)壁，所述第一磁鐵與所述第二磁鐵相對設(shè)置，且磁場方向相反，使得所述平臺呈懸浮狀態(tài)收容于所述井中。

6.一種微型器件的轉(zhuǎn)移方法，其包括：

提供一轉(zhuǎn)移裝置，所述轉(zhuǎn)移裝置包括第一基底，所述第一基底包括多個井以及容納于所述井中的平臺，所述井和所述平臺之間設(shè)置有緩沖元件，所述平臺承載有轉(zhuǎn)移基底，每一個井的底面具有至少一個紫外光光源；

在所述轉(zhuǎn)移基底上形成多個微型器件，所述轉(zhuǎn)移基底和所述微型器件之間通過粘合層固定；

提供用于使用所述微型器件的接收基板，對準所述轉(zhuǎn)移基底和所述接收基板；

向所述接收基板或所述轉(zhuǎn)移裝置施加壓力，使所述多個微型器件固定于所述接收基板；

打開所述紫外光光源，所述紫外光光源發(fā)出的紫外光照射到所述粘合層,使得所述粘合層失去粘性；

移除所述轉(zhuǎn)移裝置；

其中，所述緩沖元件為電磁鐵組，所述電磁鐵組包括第一電磁鐵和第二電磁鐵，所述第一電磁鐵位于所述井的側(cè)壁，所述第二電磁鐵位于所述平臺的側(cè)壁，所述第一電磁鐵與所述第二電磁鐵相對設(shè)置，且磁場方向相反，使得所述平臺呈懸浮狀態(tài)收容于所述井中。