[發明專利]圓柱形靶材增大濺射面積加工方法在審
| 申請號： | 201910294904.2 | 申請日： | 2019-04-12 |
| 公開（公告）號： | CN109894629A | 公開（公告）日： | 2019-06-18 |
| 發明（設計）人： | 張益 | 申請（專利權）人： | 東莞市歐萊濺射靶材有限公司 |
| 主分類號： | B23B1/00 | 分類號： | B23B1/00;B23B25/00 |
| 代理公司： | 東莞恒成知識產權代理事務所(普通合伙) 44412 | 代理人： | 鄧燕 |
| 地址： | 523000 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靶材 濺射 圓柱形靶材 車刀 加工面 刻度盤 小拖板 加工 機床 錐面 靶材加工 待加工面 方向移動 一端設置 用戶使用 刀架 固定靶 | ||
【權利要求書】：
1.圓柱形靶材增大濺射面積加工方法，其特征在于：包括以下步驟，
S1，提供靶材，所述靶材一端設置有待加工面；
S2，固定靶材，將靶材固定在機床一側；
S3，根據提供的刻度，調整機床上的刻度盤；
S4，推動刻度盤上的小拖板，使小拖板上的設置有車刀的刀架往靶材的待加工面方向移動；
S5，車刀開始對待加工面車錐面。
2.根據權利要求1所述的圓柱形靶材增大濺射面積加工方法，其特征在于：所述車刀設置的前角度大于20°。
3.根據權利要求1所述的圓柱形靶材增大濺射面積加工方法，其特征在于：所述靶材設置為金屬靶材或合金靶材中的一種。
4.根據權利要求1所述的圓柱形靶材增大濺射面積加工方法，其特征在于：所述靶材的形狀為圓柱形。
5.根據權利要求1所述的圓柱形靶材增大濺射面積加工方法，其特征在于：所述錐面與靶材水平面形成的角度大于15°。
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