[發(fā)明專(zhuān)利]研磨裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910284961.2 | 申請(qǐng)日： | 2019-04-10 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN110394726B | 公開(kāi)（公告）日： | 2022-06-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 田山游;巖本陽(yáng)平;吉原秀明;井上裕介;田中敬;加藤剛敏 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 創(chuàng)技股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | B24B37/00 | 分類(lèi)號(hào)： | B24B37/00;B24B37/005;B24B49/04 |
| 代理公司： | 北京匯思誠(chéng)業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11444 | 代理人： | 龔敏;王剛 |
| 地址： | 日本國(guó)神奈川縣*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 研磨 裝置 | ||
1.一種研磨裝置，其特征在于：
所述研磨裝置具備：研磨機(jī)，其利用旋轉(zhuǎn)的定盤(pán)來(lái)研磨工件；
形狀測(cè)量部，其通過(guò)形成在所述定盤(pán)上的測(cè)量孔對(duì)所述工件的形狀進(jìn)行測(cè)量；
存儲(chǔ)部，其存儲(chǔ)由所述形狀測(cè)量部測(cè)量的所述工件的形狀信息；
顯示部，其顯示由所述形狀測(cè)量部測(cè)量的所述工件的形狀信息；以及
控制部，其對(duì)所述顯示部顯示的內(nèi)容進(jìn)行控制，
所述控制部生成第一繪圖，并將所述第一繪圖顯示在所述顯示部，所述第一繪圖是將由所述形狀測(cè)量部測(cè)量的作為當(dāng)前研磨中的工件的研磨中工件的形狀繪圖按照時(shí)間序列進(jìn)行排列而成的。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于：
所述存儲(chǔ)部將研磨加工所述工件時(shí)的條件屬性或者學(xué)習(xí)生成的條件屬性與預(yù)測(cè)信息相關(guān)聯(lián)并存儲(chǔ)，所述預(yù)測(cè)信息包含所述工件的形狀信息和對(duì)所述工件的形狀信息進(jìn)行運(yùn)算處理所得到的工件形狀模式中的至少一方，
所述控制部基于比較運(yùn)算的結(jié)果，對(duì)所述研磨中工件的形狀推移進(jìn)行預(yù)測(cè)，并基于所述研磨中工件的形狀推移的預(yù)測(cè)，實(shí)施所述研磨中工件的狀態(tài)判定，所述比較運(yùn)算是所述研磨中工件的預(yù)測(cè)信息的時(shí)間序列變化和與所述研磨中工件的條件屬性匹配的條件屬性相關(guān)聯(lián)的預(yù)測(cè)信息的時(shí)間序列變化之間的比較運(yùn)算。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的研磨裝置，其特征在于：
所述控制部在根據(jù)所述研磨中工件的狀態(tài)判定的結(jié)果，判定停止所述研磨中工件的研磨加工時(shí)，實(shí)施所述研磨中工件的研磨加工的停止和所述研磨中工件的研磨加工的停止判定的通知中的至少一方。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的研磨裝置，其特征在于：
所述控制部在基于所述研磨中工件的形狀推移的預(yù)測(cè)而判定所述研磨中工件不能成為所期望的工件狀態(tài)時(shí)，在所述研磨中工件為二次容許狀態(tài)時(shí)，實(shí)施所述研磨中工件的研磨加工的停止和所述研磨中工件的研磨加工的停止判定的通知中的至少一方。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的研磨裝置，其特征在于：
所述控制部針對(duì)所述研磨中工件的二次容許狀態(tài)的出現(xiàn)而確定相關(guān)度高的條件屬性，或者針對(duì)所述研磨中工件的二次容許狀態(tài)的出現(xiàn)而按照相關(guān)度的高低順序列舉條件屬性，并通知所確定或所列舉的條件屬性。
6.一種研磨裝置，其特征在于：
所述研磨裝置具備：研磨機(jī)，其利用旋轉(zhuǎn)的定盤(pán)來(lái)研磨工件；
形狀測(cè)量部，其通過(guò)形成在所述定盤(pán)上的測(cè)量孔對(duì)所述工件的形狀進(jìn)行測(cè)量；
存儲(chǔ)部，其存儲(chǔ)由所述形狀測(cè)量部測(cè)量的所述工件的形狀信息；
顯示部，其顯示由所述形狀測(cè)量部測(cè)量的所述工件的形狀信息；以及
控制部，其對(duì)所述顯示部顯示的內(nèi)容進(jìn)行控制，
所述控制部生成第一繪圖和第二繪圖，并將所述第一繪圖和第二繪圖同時(shí)顯示在所述顯示部，所述第一繪圖是將由所述形狀測(cè)量部測(cè)量的作為當(dāng)前研磨中的工件的研磨中工件的形狀繪圖按照時(shí)間序列進(jìn)行排列而成的，所述第二繪圖是將在所述研磨中工件的研磨之前被研磨加工的工件的形狀繪圖按照時(shí)間序列進(jìn)行排列而成的。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的研磨裝置，其特征在于：
所述存儲(chǔ)部將研磨加工所述工件時(shí)的條件屬性或者學(xué)習(xí)生成的條件屬性與所述工件的形狀信息相關(guān)聯(lián)并存儲(chǔ)，
所述控制部基于與所述研磨中工件的條件屬性匹配的條件屬性相關(guān)聯(lián)的工件的形狀信息來(lái)生成所述第二繪圖。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或者7所述的研磨裝置，其特征在于：
所述控制部基于工件形狀模式生成所述第二繪圖，所述工件形狀模式是對(duì)所述存儲(chǔ)部存儲(chǔ)的所述工件的形狀信息進(jìn)行運(yùn)算處理而獲得的工件形狀模式、或者是基于研磨加工所述工件時(shí)的條件屬性與所述工件的形狀信息之間的相關(guān)度的學(xué)習(xí)結(jié)果所生成的工件形狀模式。
該專(zhuān)利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)。該專(zhuān)利全部權(quán)利屬于創(chuàng)技股份有限公司，未經(jīng)創(chuàng)技股份有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買(mǎi)此專(zhuān)利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201910284961.2/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專(zhuān)利網(wǎng)。
- 光源裝置、照明裝置、液晶裝置和電子裝置
- 預(yù)測(cè)裝置、編輯裝置、逆預(yù)測(cè)裝置、解碼裝置及運(yùn)算裝置
- 圖像形成裝置、定影裝置、遮光裝置以及保持裝置
- 打印裝置、讀取裝置、復(fù)合裝置以及打印裝置、讀取裝置、復(fù)合裝置的控制方法
- 電子裝置、光盤(pán)裝置、顯示裝置和攝像裝置
- 光源裝置、照明裝置、曝光裝置和裝置制造方法
- 用戶(hù)裝置、裝置對(duì)裝置用戶(hù)裝置、后端裝置及其定位方法
- 遙控裝置、通信裝置、可變裝置及照明裝置
- 透鏡裝置、攝像裝置、處理裝置和相機(jī)裝置
- 抖動(dòng)校正裝置、驅(qū)動(dòng)裝置、成像裝置、和電子裝置
