[發(fā)明專利]用于自動化材料搬運系統(tǒng)AMHS的自動清潔單元

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910278300.9
• 申請日: 2019-04-09
• 公開（公告）號: CN110867395A
• 公開（公告）日: 2020-03-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黎輔憲;董啟峰;沈香吟
• 申請（專利權(quán)）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 龔詩靖

1.一種用于自動化材料搬運系統(tǒng)AMHS的自動清潔單元，其包括：

位于懸吊式起重機運輸OHT軌道上方的多個傳感器，其中所述多個傳感器經(jīng)配置以界定清潔區(qū)且檢測OHT載具的位置；

真空產(chǎn)生器；

控制器，其與所述多個傳感器及所述真空產(chǎn)生器進(jìn)行通信；及

頂部清潔部件，其安裝于所述OHT軌道上方所述清潔區(qū)中且耦合到所述真空產(chǎn)生器，

其中當(dāng)所述多個傳感器檢測到所述OHT載具進(jìn)入所述清潔區(qū)時，所述控制器開啟所述真空產(chǎn)生器以透過所述頂部清潔部件執(zhí)行真空清潔操作。