[發明專利]極板間距調節裝置及調節設備

在審

• 申請號: 201910275215.7
• 申請日: 2019-04-08
• 公開（公告）號: CN110117781A
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發明（設計）人: 伍強;翟偉辰;蔣冬冬;李荻;李昕然
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23C16/52
• 分類號: C23C16/52;C23C16/44
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

1.一種極板間距調節裝置，其特征在于，包括：

上極板、與所述上極板相對的下極板、連接裝置以及單元驅動裝置；

其中，所述連接裝置連接所述下極板與所述單元驅動裝置；

所述下極板包括復數個單元極板，所述單元極板在靜止時位于同一平面內，每個所述單元極板對應連接所述連接裝置，所述單元極板通過所述連接裝置上下調節。

2.根據權利要求1所述的極板間距調節裝置，其特征在于，還包括加熱裝置，所述加熱裝置設置在所述單元極板內。

3.根據權利要求2所述的極板間距調節裝置，其特征在于，所述加熱裝置為可控式電阻絲。

4.根據權利要求1所述的極板間距調節裝置，其特征在于，所述連接裝置為伸縮桿或彈性裝置。

5.根據權利要求1所述的極板間距調節裝置，其特征在于，所述單元極板的截面為矩形。

6.根據權利要求1所述的極板間距調節裝置，其特征在于，每個所述單元極板接地。

7.根據權利要求1所述的極板間距調節裝置，其特征在于，所述下極板的上表面積不小于所述上極板的下表面積。

8.根據權利要求1所述的極板間距調節裝置，其特征在于，所述單元驅動裝置用于控制所述連接裝置。

9.根據權利要求1所述的極板間距調節裝置，其特征在于，每個所述單元極板的上表面積相同。

10.一種調節設備，其特征在于，包括如權利要求1至9任一項所述的極板間距調節裝置。