[發明專利]極板間距調節裝置及調節設備在審
| 申請號： | 201910275215.7 | 申請日： | 2019-04-08 |
| 公開（公告）號： | CN110117781A | 公開（公告）日： | 2019-08-13 |
| 發明（設計）人： | 伍強;翟偉辰;蔣冬冬;李荻;李昕然 | 申請（專利權）人： | 深圳市華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/52 | 分類號： | C23C16/52;C23C16/44 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黃威 |
| 地址： | 518132 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 單元極板 連接裝置 間距調節裝置 上極板 下極板 極板 單元驅動裝置 調節設備 電場 上下調節 成膜 靜止 體內 保證 | ||
【權利要求書】：
1.一種極板間距調節裝置，其特征在于，包括：
上極板、與所述上極板相對的下極板、連接裝置以及單元驅動裝置；
其中，所述連接裝置連接所述下極板與所述單元驅動裝置；
所述下極板包括復數個單元極板，所述單元極板在靜止時位于同一平面內，每個所述單元極板對應連接所述連接裝置，所述單元極板通過所述連接裝置上下調節。
2.根據權利要求1所述的極板間距調節裝置，其特征在于，還包括加熱裝置，所述加熱裝置設置在所述單元極板內。
3.根據權利要求2所述的極板間距調節裝置，其特征在于，所述加熱裝置為可控式電阻絲。
4.根據權利要求1所述的極板間距調節裝置，其特征在于，所述連接裝置為伸縮桿或彈性裝置。
5.根據權利要求1所述的極板間距調節裝置，其特征在于，所述單元極板的截面為矩形。
6.根據權利要求1所述的極板間距調節裝置，其特征在于，每個所述單元極板接地。
8.根據權利要求1所述的極板間距調節裝置，其特征在于，所述單元驅動裝置用于控制所述連接裝置。
9.根據權利要求1所述的極板間距調節裝置，其特征在于，每個所述單元極板的上表面積相同。
10.一種調節設備，其特征在于，包括如權利要求1至9任一項所述的極板間距調節裝置。
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- 專利分類
C23 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
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C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
