[發(fā)明專利]旋轉(zhuǎn)靶材、旋轉(zhuǎn)靶材的綁定方法和裝置

在審

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• 申請日: 2019-04-04
• 公開（公告）號: CN111778486A
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳寶忠;徐國軍;萬捷;張蛟
• 申請（專利權(quán)）人: 領(lǐng)凡新能源科技（北京）有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京智晨知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11584
• 代理人: 張婧

本發(fā)明公開了一種旋轉(zhuǎn)靶材的綁定方法，涉及靶材技術(shù)，能夠解決通過人工釬焊綁定靶材費時費力的問題。所述旋轉(zhuǎn)靶材的綁定方法包括：將背襯管裝配在可旋轉(zhuǎn)底座上；將各段靶材管穿套在所述背襯管上，并對各段靶材管之間的拼接縫隙進行密封，各段靶材管形成環(huán)繞所述背襯管的靶材材料層；對所述背襯管與所述靶材材料層之間的間隙抽真空；向所述背襯管與所述靶材材料層之間的間隙灌入導電膠，并通過旋轉(zhuǎn)所述可旋轉(zhuǎn)底座使所述導電膠在所述間隙中分布均勻。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及靶材技術(shù)，尤其一種旋轉(zhuǎn)靶材、旋轉(zhuǎn)靶材的綁定方法和裝置。

背景技術(shù)

靶材已經(jīng)逐漸發(fā)展成為一個專業(yè)化產(chǎn)業(yè)，且隨著薄膜技術(shù)的不斷發(fā)展，靶材市場將進一步擴大。目前，靶材的設(shè)計逐漸由平面靶材向旋轉(zhuǎn)靶材過渡，因為一般平面靶材利用率只能達到30％，而旋轉(zhuǎn)靶材的材料利用率可以達到65％以上，而且旋轉(zhuǎn)靶材的濺射速率相對較快，所以適用旋轉(zhuǎn)靶材的鍍膜設(shè)備也越來越多。旋轉(zhuǎn)靶材一般包括背襯管和由靶材材料制成的靶材管，背襯管和靶材管通過綁定工序結(jié)合在一起。目前旋轉(zhuǎn)靶材的綁定主要是通過人工釬焊粘合，通常是先分別將靶材管和背襯管做金屬化處理，再通過人工釬焊將靶材管逐段地拼接粘合到背襯管上。整個過程中費時費力，而且焊料填充困難，靶材與背襯管之間的粘結(jié)率難以保證。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決問題，本發(fā)明提供了一種旋轉(zhuǎn)靶材、旋轉(zhuǎn)靶材的綁定方法和裝置，能夠解決通過人工釬焊綁定靶材費時費力的問題。

本公開的實施例提供一種旋轉(zhuǎn)靶材的綁定方法，包括：

將各段靶材管穿套在所述背襯管上，并對各段靶材管之間的拼接縫隙進行密封，各段靶材管形成環(huán)繞所述背襯管的靶材材料層；

對所述背襯管與所述靶材材料層之間的間隙抽真空；

向所述背襯管與所述靶材材料層之間的間隙灌入導電膠，并通過旋轉(zhuǎn)所述可旋轉(zhuǎn)底座使所述導電膠在所述間隙中分布均勻。

本公開的實施例還提供一種旋轉(zhuǎn)靶材的綁定裝置，包括：

可旋轉(zhuǎn)底座，用于固定所述背襯管；

升降裝置，用于驅(qū)動所述可旋轉(zhuǎn)底座上升或下降；

抽真空設(shè)備，用于對所述背襯管與環(huán)繞所述背襯管的靶材材料層之間的間隙抽真空；

灌膠裝置，用于向所述背襯管與所述靶材材料層之間的間隙灌入導電膠；

所述可旋轉(zhuǎn)底座還用于在灌入導電膠時，使所述背襯管和所述靶材材料層旋轉(zhuǎn)，以使所述導電膠在所述間隙中分布均勻。

本公開的實施例還提供一種旋轉(zhuǎn)靶材，包括：

背襯管；

穿套在所述背襯管上的靶材管；

導電膠，所述導電膠設(shè)置于所述背襯管和所述靶材管之間的間隙，用于連接所述背襯管和所述靶材管。

本公開實施例提供的旋轉(zhuǎn)靶材的綁定方法，先將各段靶材管穿套在所述背襯管上，并對各段靶材管之間的拼接縫隙進行密封，然后向背襯管與靶材管之間的間隙灌入導電膠，并通過旋轉(zhuǎn)所述可旋轉(zhuǎn)底座使所述導電膠在所述間隙中分布均勻。

與釬焊方式相比，本公開實施例提供的旋轉(zhuǎn)靶材的綁定方法，具有如下優(yōu)勢：

1、導電膠的膠化溫度一般比釬焊溫度低得多，可改善作業(yè)環(huán)境。

2、由逐段拼接焊合變成通過一次性灌入導電膠，背襯管與各段靶材管通過導電膠結(jié)合，并利用可旋轉(zhuǎn)底座使導電膠在背襯管與靶材管之間的間隙中分布均勻，提高了生產(chǎn)效率及產(chǎn)品良率。