[發(fā)明專利]旋轉(zhuǎn)靶材、旋轉(zhuǎn)靶材的綁定方法和裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910273232.7
• 申請(qǐng)日: 2019-04-04
• 公開（公告）號(hào): CN111778486A
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳寶忠;徐國(guó)軍;萬(wàn)捷;張蛟
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 領(lǐng)凡新能源科技（北京）有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34
• 代理公司: 北京智晨知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11584
• 代理人: 張婧

1.一種旋轉(zhuǎn)靶材的綁定方法，其特征在于，包括：

將背襯管裝配在可旋轉(zhuǎn)底座上；

將各段靶材管穿套在所述背襯管上，并對(duì)各段靶材管之間的拼接縫隙進(jìn)行密封，各段靶材管形成環(huán)繞所述背襯管的靶材材料層；

對(duì)所述背襯管與所述靶材材料層之間的間隙抽真空；

向所述背襯管與所述靶材材料層之間的間隙灌入導(dǎo)電膠，并通過(guò)旋轉(zhuǎn)所述可旋轉(zhuǎn)底座使所述導(dǎo)電膠在所述間隙中分布均勻。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶材的綁定方法，其特征在于，所述導(dǎo)電膠為石墨導(dǎo)電膠。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)靶材的綁定方法，其特征在于，所述導(dǎo)電膠由凝固后為彈性體的膠類物質(zhì)與導(dǎo)電顆粒混合制成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)靶材的綁定方法，其特征在于，所述將各段靶材管穿套在所述背襯管上之前，所述綁定方法還包括：在所述背襯管的外壁環(huán)繞導(dǎo)電的網(wǎng)狀物。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)靶材的綁定方法，其特征在于，將各段靶材管穿套在所述背襯管上時(shí)，所述綁定方法還包括：

對(duì)各段所述靶材管之間的拼接縫隙進(jìn)行控制，使所述拼接縫隙的寬度在目標(biāo)寬度范圍內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的旋轉(zhuǎn)靶材的綁定方法，其特征在于，利用塞規(guī)，對(duì)各段所述靶材管之間的拼接縫隙進(jìn)行控制，所述塞規(guī)的厚度范圍為0.5mm～1mm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)靶材的綁定方法，其特征在于，將各段所述靶材管之間的拼接縫隙用膠帶密封纏繞。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)靶材的綁定方法，其特征在于，所述將背襯管裝配在可旋轉(zhuǎn)底座上之前，所述綁定方法還包括：將所述背襯管的第一端與法蘭固定連接，所述法蘭的遠(yuǎn)離所述背襯管的面與所述可旋轉(zhuǎn)底座的安裝面相匹配；

所述背襯管通過(guò)所述法蘭裝配在所述可旋轉(zhuǎn)底座上。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的旋轉(zhuǎn)靶材的綁定方法，其特征在于，

將所述背襯管直立并將所述背襯管的第一端裝配在所述可旋轉(zhuǎn)底座上；

在將各段靶材管穿套在所述背襯管上時(shí)，先將所述可旋轉(zhuǎn)底座升降至操作位置，再將所述靶材管穿套在所述背襯管上；

通過(guò)下述方式對(duì)所述背襯管與所述靶材材料層之間的間隙抽真空：

將真空罩從所述背襯管的頂部向下套在所述可旋轉(zhuǎn)底座上，并使所述真空罩的底端與所述可旋轉(zhuǎn)底座密封相接，所述可旋轉(zhuǎn)底座上的所述背襯管、所述靶材材料層以及灌膠頭位于所述真空罩和所述可旋轉(zhuǎn)底座形成的密閉空間內(nèi)，

對(duì)所述真空罩和所述可旋轉(zhuǎn)底座形成的密閉空間抽真空。

10.一種旋轉(zhuǎn)靶材的綁定裝置，其特征在于，包括：

可旋轉(zhuǎn)底座，用于固定所述背襯管；

升降裝置，用于驅(qū)動(dòng)所述可旋轉(zhuǎn)底座上升或下降；

抽真空設(shè)備，用于對(duì)所述背襯管與環(huán)繞所述背襯管的靶材材料層之間的間隙抽真空；

灌膠裝置，用于向所述背襯管與所述靶材材料層之間的間隙灌入導(dǎo)電膠；

所述可旋轉(zhuǎn)底座還用于在灌入導(dǎo)電膠時(shí)，使所述背襯管和所述靶材材料層旋轉(zhuǎn)，以使所述導(dǎo)電膠在所述間隙中分布均勻。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的旋轉(zhuǎn)靶材的綁定裝置，其特征在于，還包括：

真空罩，所述真空罩的底端與所述可旋轉(zhuǎn)底座密封相接，所述真空罩和所述可旋轉(zhuǎn)底座形成容納所述背襯管、所述靶材材料層以及灌膠頭的密閉空間；

所述抽真空設(shè)備用于對(duì)所述真空罩和所述可旋轉(zhuǎn)底座形成的密閉空間抽真空。

12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的旋轉(zhuǎn)靶材的綁定裝置，其特征在于，

所述背襯管的一端固定連接有法蘭；

所述可旋轉(zhuǎn)底座的安裝面與所述法蘭的遠(yuǎn)離所述背襯管的面相匹配。