[發明專利]背開透射式MEMS芯片、MEMS照明系統及汽車

在審

• 申請號: 201910263831.0
• 申請日: 2019-04-02
• 公開（公告）號: CN109799607A
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發明（設計）人: 郭田忠;戈斌;朱明華
• 申請（專利權）人: 華域視覺科技(上海)有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 曹桓

1.一種背開透射式MEMS芯片，其特征在于：包括封裝框架和驅動機構，所述封裝框架的頂面上開設有透光通道，所述封裝框架上連接有用于開啟或關閉透光通道的微擋光片陣列，所述微擋光片陣列包括多個陣列式排布的微擋光片，所述驅動機構與所述微擋光片陣列連接，并用于驅動各個微擋光片彎曲；

各個微擋光片的兩端分別為固定端和自由端，所述固定端固定在所述封裝框架上，所述自由端在所述驅動機構驅動所述微擋光片彎曲后能形成彎曲端；

所述微擋光片陣列至少包括第一個微擋光片組和第二個微擋光片組，

其中，在所述第一個微擋光片組和所述第二個微擋光片組處于平直狀態時，所述第一個微擋光片組中的微擋光片與所述第二個微擋光片組中的微擋光片具有上下交疊部分；

在所述第一個微擋光片組和所述第二個微擋光片組處于彎曲狀態時，所述第一個微擋光片組的彎曲端和所述第二個微擋光片組彎曲端分別位于所述封裝框架頂面的兩側。

2.根據權利要求1所述的背開透射式MEMS芯片，其特征在于：所述第一個微擋光片組的固定端和所述第二個微擋光片組的固定端均位于所述透光通道的同一側壁上，

其中，所述第一個微擋光片組中的微擋光片被設置為一行，所述第二個微擋光片組中的微擋光片被設置為一行，所述第一個微擋光片組設于第二個微擋光片組的上方，

所述第一個微擋光片組和所述第二個微擋光片組為交錯分布，所述第一個微擋光片組中的相鄰兩個所述微擋光片之間留有第一間隔，所述第二個微擋光片組中的相鄰兩個所述微擋光片之間留有第二間隔，且所述第一個微擋光片組中的微擋光片與第二間隔相對應，所述第二個微擋光片組中的微擋光片與第一間隔相對應。

3.根據權利要求2所述的背開透射式MEMS芯片，其特征在于：所述微擋光片陣列中，所述第一個微擋光片組和所述第二個微擋光片組構成一個微擋光片系列，且所述微擋光片陣列中至少包括兩個微擋光片系列，所述兩個微擋光片系列分別為第一個微擋光片系列和第二個微擋光片系列，

其中，所述第一個微擋光片系列的固定端和所述第二個微擋光片系列的固定端分別位于所述透光通道相對的兩側壁上；

所述第一個微擋光片系列的自由端為靠近所述第二個微擋光片系列設置，所述第二個微擋光片系列的自由端為靠近所述第一個微擋光片系列設置。

4.根據權利要求3所述的背開透射式MEMS芯片，其特征在于：所述第一個微擋光片系列與所述第二個微擋光片系列為對稱設置。

5.根據權利要求3所述的背開透射式MEMS芯片，其特征在于：所述第一個微擋光片系列中的第一個微擋光片組與所述第二個微擋光片系列中的第二個微擋光片組成對齊設置；所述第二個微擋光片系列中的第二個微擋光片組與所述第一個微擋光片系列中的第一個微擋光片組成對齊設置。

6.根據權利要求5所述的背開透射式MEMS芯片，其特征在于：在所述第一個微擋光片系列和所述第二個微擋光片系列處于平直狀態時，所述第一個微擋光片系列中第一個微擋光片組的自由端與所述第二個微擋光片系列中第二個微擋光片組的自由端具有上下交疊部分；所述第二個微擋光片系列中第二個微擋光片組的自由端與所述第一個微擋光片系列中第一個微擋光片組的自由端具有上下交疊部分。

7.根據權利要求6所述的背開透射式MEMS芯片，其特征在于：在所述第一個微擋光片系列中，第一個微擋光片組中單個微擋光片的寬度小于第二個微擋光片組中單個微擋光片的寬度；

在所述第二個微擋光片系列中，第二個微擋光片組中單個微擋光片的寬度小于第一個微擋光片組中單個微擋光片的寬度。