[發明專利]背開透射式MEMS芯片、MEMS照明系統及汽車

在審

• 申請號: 201910263831.0
• 申請日: 2019-04-02
• 公開（公告）號: CN109799607A
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發明（設計）人: 郭田忠;戈斌;朱明華
• 申請（專利權）人: 華域視覺科技(上海)有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 曹桓

本申請公開了一種背開透射式MEMS芯片、MEMS照明系統及汽車，涉及智能照明的技術領域，以解決現有技術中的光照效果不好的技術問題。本申請的背開透射式MEMS芯片包括封裝框架和驅動機構，封裝框架上設有透光通道和微擋光片陣列，微擋光片陣列至少包括第一個微擋光片組和第二個微擋光片組，其中，在第一個微擋光片組和第二個微擋光片組處于平直狀態時，第一個微擋光片組中的微擋光片與第二個微擋光片組中的微擋光片具有上下交疊部分；在第一個微擋光片組和第二個微擋光片組處于彎曲狀態時，第一個微擋光片組的彎曲端和第二個微擋光片組彎曲端分別位于封裝框架頂面的兩側。故本申請具有光照效果好的優點。

技術領域

本申請涉及照明器械的技術領域，具體而言，涉及一種背開透射式MEMS芯片、MEMS照明系統及汽車。

背景技術

MEMS即微機電系統(英文全稱：Micro Electromechanical System)，它是指由半導體材料或其它適用于微加工的材料構成的可控的微機械結構系統。它是一種尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置，其內部結構一般在微米甚至納米量級，是一個獨立的智能系統。

目前，照明使用的MEMS芯片以DLP(Digital Light Processing，數字光處理)的透射式方案為主流，也有通過雙軸單個微擋光片做掃描的方案。這些方案都有其局限性：DLP的光學系統復雜，光源的利用率低；單鏡雙軸掃描的方案，如果是逐行掃描，會使整體照明強度變低；如果是適量掃描，其成像的分辨率就有限，不適用于整體面光源的照明。透射式的MEMS芯片能夠解決上述的局限性，可用簡單的光學系統，做到極高的光源利用率，并且其陣列的方案非常適合整體面光源的照明。

現有技術中，透射式的MEMS芯片的微擋光片陣列中，微擋光片陣列中，相鄰兩行之間的間距相等，且現有的微擋光片陣列中每個微擋光片的彎曲方向即打開方向相同，且各個微擋光片之間留有間隙，當光透射過該微擋光片陣列后會發生漏光現象，產生亮線，即可看到明顯的明暗截止線，使得光照效果不好。

發明內容

本申請的目的在于提供一種背開透射式MEMS芯片，以解決現有技術中的光照效果不好的技術問題。

本申請的另一目的在于提供一種MEMS照明系統，以解決現有技術中的光照效果不好的技術問題。

本申請的另一目的在于提供一種汽車，以解決現有技術中的光照效果不好的技術問題。

本申請的上述技術問題主要是通過下述技術方案得以解決的：

一種背開透射式MEMS芯片，包括封裝框架和驅動機構，所述封裝框架的頂面上開設有透光通道，所述封裝框架上連接有用于開啟或關閉透光通道的微擋光片陣列，所述微擋光片陣列包括多個陣列式排布的微擋光片，所述驅動機構與所述微擋光片陣列連接，并用于驅動各個微擋光片彎曲；

各個微擋光片的兩端分別為固定端和自由端，所述固定端固定在所述封裝框架上，所述自由端在所述驅動機構驅動所述微擋光片彎曲后能形成彎曲端；

所述微擋光片陣列至少包括第一個微擋光片組和第二個微擋光片組，其中，在所述第一個微擋光片組和所述第二個微擋光片組處于平直狀態時，所述第一個微擋光片組中的微擋光片與所述第二個微擋光片組中的微擋光片具有上下交疊部分；

在所述第一個微擋光片組和所述第二個微擋光片組處于彎曲狀態時，所述第一個微擋光片組的彎曲端和所述第二個微擋光片組彎曲端分別位于所述封裝框架頂面的兩側。

驅動機構用于使能活動的微擋光片的鏡面發生轉動或平動，從而達到利用微擋光片陣列開啟或關閉透光通道的效果。而驅動機構的驅動方式包括但不限于靜電、磁力、電流、電熱、壓電或者溫度。驅動機構為對各個微擋光片進行單獨控制，可實現單個像素點處透光狀態的單獨控制，從而靈活地調節照明光型，并且實現高像素的照明顯示。其中，第一個微擋光片組中至少包括兩個微擋光片。第二個微擋光片組中至少包括兩個微擋光片。