[發(fā)明專利]一種電容式薄膜真空計在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910263025.3 | 申請日： | 2019-04-02 |
| 公開（公告）號： | CN109813492A | 公開（公告）日： | 2019-05-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 朱泓;唐云劍 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海振太儀表有限公司 |
| 主分類號： | G01L21/00 | 分類號： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京易捷勝知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11613 | 代理人： | 韓國勝 |
| 地址： | 200333 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 固定極板 真空計 固定基板 容置空間 檢測膜 電容式薄膜 左右對稱 測量 真空腔 準(zhǔn)確度 朝向檢測 方式設(shè)置 固定設(shè)置 間隔布置 間隔分布 最大區(qū)域 變形量 檢測腔 靈敏度 穩(wěn)定度 最大化 分辨率 殼體 膜片 體內(nèi) 分割 | ||
本發(fā)明涉及一種電容式薄膜真空計，包括殼體、檢測膜片、固定基板和固定極板，殼體內(nèi)具有一容置空間，檢測膜片固定在容置空間內(nèi)并將容置空間分割成檢測腔和真空腔。固定基板固定在真空腔內(nèi)，固定基板朝向檢測膜片的一面固定設(shè)置有兩個固定極板，兩個固定極板左右對稱且間隔布置。本發(fā)明中將兩個固定極板按照左右對稱且間隔分布的方式設(shè)置，使得兩個固定極板都有一部分面積在檢測膜片中心變形量最大區(qū)域，因而能使兩個ΔC最大化，進(jìn)而增加了測量的準(zhǔn)確度和穩(wěn)定度，提高了真空計的測量精度和測量范圍，同時提高真空計的靈敏度和分辨率。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于真空計量技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種電容式薄膜真空計。
背景技術(shù)
在工業(yè)生產(chǎn)中真空已廣泛地應(yīng)用于冶金、化工、航天、原子能加速器、半導(dǎo)體及電真空制造中，所以真空測量也必不可少。近年來隨著電子技術(shù)的發(fā)展，已可測量微小電容的變化，因此電容式薄膜真空計得到了飛速發(fā)展。
電容式薄膜真空計是根據(jù)彈性的檢測膜片在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成的，其主要由電容式薄膜規(guī)(又稱電容式絕壓變送器)和測量儀器兩部分組成。電容式薄膜真空計與其他低真空測量儀器相比具有如下特點：1、是全壓強(qiáng)測量，與被測氣體的種類無關(guān)，其靈敏度對各種氣體、蒸汽是相同的。2、動態(tài)響應(yīng)時間快。3、測最范圍寬。4、可以實現(xiàn)壓力的遠(yuǎn)距離測量和控制。其輸出電信號可接上百米的電纜以實現(xiàn)真空系統(tǒng)的遠(yuǎn)距離測量。
但是，目前的電容式薄膜真空計測量精度較低、測量誤差較大、穩(wěn)定性較差且靈敏度和分辨率較低。
發(fā)明內(nèi)容
(一)要解決的技術(shù)問題
本發(fā)明提供一種電容式薄膜真空計，旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的電容式薄膜真空計測量精度較低、測量誤差較大、穩(wěn)定性較差以及靈敏度和分辨率較低的問題。
(二)技術(shù)方案
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的主要技術(shù)方案包括：
本發(fā)明提供一種電容式薄膜真空計，包括殼體、檢測膜片、固定基板和固定極板；殼體內(nèi)具有一容置空間，檢測膜片固定在容置空間內(nèi)并將容置空間分割成檢測腔和真空腔；固定基板固定在真空腔內(nèi)，固定基板朝向檢測膜片的一面固定設(shè)置有兩個固定極板，兩個固定極板左右對稱且間隔布置；其中，兩個固定極板為固定電極，檢測膜片為彎曲電極，固定電極與彎曲電極組成一個可變電容器。
根據(jù)本發(fā)明，兩個固定極板之間的間隙的寬度小于等于0.1mm。
根據(jù)本發(fā)明，兩個固定極板與檢測膜片相對設(shè)置的一面上均設(shè)有金屬層。
根據(jù)本發(fā)明，金屬層的厚度為8～10μm。
根據(jù)本發(fā)明，金屬層的材質(zhì)為金或者銀。
根據(jù)本發(fā)明，殼體上還設(shè)有消氣劑，消氣劑與真空腔相連通。
根據(jù)本發(fā)明，還包括極板引出線，極板引出線的一端與兩個固定極板連接，其另一端伸出真空腔的外部。
根據(jù)本發(fā)明，殼體上設(shè)有檢測孔，且檢測孔與檢測腔相連通。
根據(jù)本發(fā)明，殼體上還設(shè)有排氣管，排氣管與真空腔相連通。
根據(jù)本發(fā)明，殼體的材質(zhì)為鎳基合金。
(三)有益效果
本發(fā)明的有益效果是：
本發(fā)明中將兩個固定極板按照左右對稱且間隔分布的方式設(shè)置，使得兩個固定極板都有一部分面積在檢測膜片中心變形量最大區(qū)域，因而能使兩個ΔC最大化，進(jìn)而增加了測量的準(zhǔn)確度和穩(wěn)定度，提高了真空計的測量精度和測量范圍，同時提高真空計的靈敏度和分辨率。
附圖說明
圖1為如下實施例提供的電容式薄膜真空計的結(jié)構(gòu)示意圖；
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于上海振太儀表有限公司，未經(jīng)上海振太儀表有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201910263025.3/2.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
