[發(fā)明專利]一種電容式薄膜真空計在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910263025.3 | 申請日： | 2019-04-02 |
| 公開（公告）號： | CN109813492A | 公開（公告）日： | 2019-05-28 |
| 發(fā)明（設計）人： | 朱泓;唐云劍 | 申請（專利權）人： | 上海振太儀表有限公司 |
| 主分類號： | G01L21/00 | 分類號： | G01L21/00 |
| 代理公司： | 北京易捷勝知識產權代理事務所(普通合伙) 11613 | 代理人： | 韓國勝 |
| 地址： | 200333 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 固定極板 真空計 固定基板 容置空間 檢測膜 電容式薄膜 左右對稱 測量 真空腔 準確度 朝向檢測 方式設置 固定設置 間隔布置 間隔分布 最大區(qū)域 變形量 檢測腔 靈敏度 穩(wěn)定度 最大化 分辨率 殼體 膜片 體內 分割 | ||
1.一種電容式薄膜真空計，其特征在于，包括殼體(1)、檢測膜片(2)、固定基板(3)和固定極板(4)；
所述殼體(1)內具有一容置空間，所述檢測膜片(2)固定在所述容置空間內并將所述容置空間分割成檢測腔(11)和真空腔(12)；
所述固定基板(3)固定在所述真空腔(12)內，所述固定基板(3)朝向所述檢測膜片(2)的一面固定設置有兩個所述固定極板(4)，兩個所述固定極板(4)左右對稱且間隔布置；
其中，兩個所述固定極板(4)為固定電極，所述檢測膜片(2)為彎曲電極，所述固定電極與所述彎曲電極組成一個可變電容器。
2.如權利要求1所述的電容式薄膜真空計，其特征在于，
兩個所述固定極板(4)之間的間隙的寬度小于等于0.1mm。
3.如權利要求1所述的電容式薄膜真空計，其特征在于，
兩個所述固定極板(4)與所述檢測膜片(2)相對設置的一面上均設有金屬層。
4.如權利要求3所述的電容式薄膜真空計，其特征在于，
所述金屬層的厚度為8～10μm。
5.如權利要求3所述的電容式薄膜真空計，其特征在于，
所述金屬層的材質為金或者銀。
6.如權利要求1所述的電容式薄膜真空計，其特征在于，
所述殼體(1)上還設有消氣劑(5)，所述消氣劑(5)與所述真空腔(12)相連通。
7.如權利要求1所述的電容式薄膜真空計，其特征在于，還包括極板引出線(41)，所述極板引出線(41)的一端與兩個所述固定極板(4)連接，其另一端伸出所述真空腔(12)的外部。
8.如權利要求1所述的電容式薄膜真空計，其特征在于，
所述殼體(1)上設有檢測孔(7)，且所述檢測孔(7)與所述檢測腔(11)相連通。
9.如權利要求1所述的電容式薄膜真空計，其特征在于，
所述殼體(1)上還設有排氣管(6)，所述排氣管(6)與所述真空腔(12)相連通。
10.如權利要求1-9任一項所述的電容式薄膜真空計，其特征在于，
所述殼體(1)的材質為鎳基合金。
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