[發(fā)明專利]一種直寫光刻機(jī)吸盤壓板裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910262132.4 | 申請(qǐng)日： | 2019-04-02 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN109856928A | 公開（公告）日： | 2019-06-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 胡剛 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 合肥芯碁微電子裝備有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G03F7/20 | 分類號(hào)： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明專利事務(wù)所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚華保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新區(qū)*** | 國(guó)省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 吸盤 前掛板組件 后掛板 氣缸 直寫光刻機(jī) 滾珠絲杠 壓板裝置 移動(dòng)壓桿 左端部 掛板 壓桿 電機(jī) 螺母 氣缸活塞桿 輸出軸相連 對(duì)稱設(shè)置 光刻機(jī) 活塞桿 平整度 良率 翹曲 外壁 壓板 壓平 曝光 貫穿 生產(chǎn) | ||
本發(fā)明涉及一種直寫光刻機(jī)吸盤壓板裝置，包括安裝在吸盤上的若干固定點(diǎn)壓機(jī)構(gòu)和安裝在吸盤上的移動(dòng)壓桿機(jī)構(gòu)。固定點(diǎn)壓機(jī)構(gòu)包括貫穿安裝在吸盤左端部的第一氣缸和安裝在第一氣缸活塞桿頂部的壓板。移動(dòng)壓桿機(jī)構(gòu)包括對(duì)稱設(shè)置在吸盤前后兩側(cè)的前掛板組件和后掛板組件以及連接在前掛板組件與后掛板組件之間的壓桿。前掛板組件和后掛板組件均包括掛板、安裝在掛板左端部外壁上的電機(jī)、與電機(jī)的輸出軸相連的滾珠絲杠以及與滾珠絲杠的螺母相連的第二氣缸。壓桿的前后兩端分別與前掛板組件、后掛板組件的第二氣缸的活塞桿相連。本發(fā)明能夠?qū)⒙N曲的PCB板材壓平，使PCB板材可以正常生產(chǎn)、曝光，提高光刻機(jī)的良率和實(shí)用性，降低對(duì)PCB板材平整度的要求。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及直寫光刻機(jī)吸盤技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種直寫光刻機(jī)吸盤壓板裝置。
背景技術(shù)
直寫光刻機(jī)吸盤是光刻機(jī)的重要組成部分。吸盤的大小、平面度、吸附方式和吸附力大小等因素對(duì)PCB制版的實(shí)際生產(chǎn)制造有著重要影響。
在使用直寫光刻機(jī)進(jìn)行PCB制版時(shí)，由于光刻機(jī)自身焦深有限，所以都會(huì)要求曝光面有較高的平面度。除了對(duì)吸盤等有較高的平面要求外，對(duì)PCB板材也有平面度要求。但是由于種種原因，PCB板材或多或少會(huì)有邊緣翹曲問題，導(dǎo)致僅僅依靠吸盤的吸附力無法將PCB板材吸平。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種直寫光刻機(jī)吸盤壓板裝置，該裝置能夠?qū)⒙N曲的PCB板材壓平，使PCB板材可以正常生產(chǎn)、曝光，提高光刻機(jī)的良率和實(shí)用性，降低對(duì)PCB板材平整度的要求。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了以下技術(shù)方案：
一種直寫光刻機(jī)吸盤壓板裝置，包括安裝在吸盤上的若干固定點(diǎn)壓機(jī)構(gòu)和安裝在吸盤上的移動(dòng)壓桿機(jī)構(gòu)。
具體地說，所述固定點(diǎn)壓機(jī)構(gòu)包括貫穿安裝在吸盤左端部的第一氣缸和安裝在第一氣缸活塞桿頂部的壓板。
所述移動(dòng)壓桿機(jī)構(gòu)包括對(duì)稱設(shè)置在吸盤前后兩側(cè)的前掛板組件和后掛板組件以及連接在前掛板組件與后掛板組件之間的壓桿；所述前掛板組件和后掛板組件的結(jié)構(gòu)相同，均包括掛板、安裝在掛板左端部外壁上的電機(jī)、與電機(jī)的輸出軸相連的滾珠絲杠以及與滾珠絲杠的螺母相連的第二氣缸；所述壓桿的前后兩端分別與前掛板組件、后掛板組件的第二氣缸的活塞桿相連。
進(jìn)一步的，所述第一氣缸的進(jìn)氣口和出氣口處分別安裝有一第一接頭。
進(jìn)一步的，所述掛板的外壁上安裝有導(dǎo)軌組件；所述導(dǎo)軌組件包括安裝在掛板外壁上的導(dǎo)軌以及與導(dǎo)軌滑動(dòng)配合的滑塊。
進(jìn)一步的，所述滾珠絲杠的兩端分別通過絲杠固定側(cè)支座和絲杠支撐側(cè)支座安裝在掛板的外壁上，且滾珠絲杠的螺桿的左端通過聯(lián)軸器與電機(jī)的輸出軸相連。
進(jìn)一步的，所述第二氣缸的進(jìn)氣口和出氣口處分別設(shè)有一與氣管相連的第二接頭。
進(jìn)一步的，所述掛板左右兩端的內(nèi)壁上分別安裝有一傳感器。
進(jìn)一步的，所述掛板外壁上安裝有拖鏈；所述拖鏈的兩端分別通過拖鏈前支撐和拖鏈后支撐安裝在掛板上；所述掛板外壁上還安裝有氣管壓板。
進(jìn)一步的，所述導(dǎo)軌的左右兩端分別設(shè)有一導(dǎo)軌擋塊；所述導(dǎo)軌擋塊安裝在掛板的外壁上。
進(jìn)一步的，所述滑塊上安裝有連接件；所述連接件的一端與滾珠絲杠的螺母相連，另一端與第二氣缸的底部相連。
進(jìn)一步的，所述連接件上設(shè)有感應(yīng)片。
由以上技術(shù)方案可知，本發(fā)明能夠?qū)⒙N曲的PCB板材壓平，使PCB板材可以正常生產(chǎn)、曝光，提高光刻機(jī)的良率和實(shí)用性，降低對(duì)PCB板材平整度的要求。
附圖說明
圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是本發(fā)明的俯視圖；
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