[發(fā)明專利]一種直寫光刻機吸盤壓板裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910262132.4
• 申請日: 2019-04-02
• 公開（公告）號: CN109856928A
• 公開（公告）日: 2019-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 胡剛
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥芯碁微電子裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 合肥天明專利事務(wù)所(普通合伙) 34115
• 代理人: 奚華保

1.一種直寫光刻機吸盤壓板裝置，其特征在于：包括安裝在吸盤上的若干固定點壓機構(gòu)和安裝在吸盤上的移動壓桿機構(gòu)；

所述固定點壓機構(gòu)包括貫穿安裝在吸盤左端部的第一氣缸和安裝在第一氣缸活塞桿頂部的壓板；

所述移動壓桿機構(gòu)包括對稱設(shè)置在吸盤前后兩側(cè)的前掛板組件和后掛板組件以及連接在前掛板組件與后掛板組件之間的壓桿；所述前掛板組件和后掛板組件的結(jié)構(gòu)相同，均包括掛板、安裝在掛板左端部外壁上的電機、與電機的輸出軸相連的滾珠絲杠以及與滾珠絲杠的螺母相連的第二氣缸；所述壓桿的前后兩端分別與前掛板組件、后掛板組件的第二氣缸的活塞桿相連。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直寫光刻機吸盤壓板裝置，其特征在于：所述第一氣缸的進氣口和出氣口處分別安裝有一第一接頭。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直寫光刻機吸盤壓板裝置，其特征在于：所述掛板的外壁上安裝有導軌組件；所述導軌組件包括安裝在掛板外壁上的導軌以及與導軌滑動配合的滑塊。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直寫光刻機吸盤壓板裝置，其特征在于：所述滾珠絲杠的兩端分別通過絲杠固定側(cè)支座和絲杠支撐側(cè)支座安裝在掛板的外壁上，且滾珠絲杠的螺桿的左端通過聯(lián)軸器與電機的輸出軸相連。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直寫光刻機吸盤壓板裝置，其特征在于：所述第二氣缸的進氣口和出氣口處分別設(shè)有一與氣管相連的第二接頭。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直寫光刻機吸盤壓板裝置，其特征在于：所述掛板左右兩端的內(nèi)壁上分別安裝有一傳感器。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直寫光刻機吸盤壓板裝置，其特征在于：所述掛板外壁上安裝有拖鏈；所述拖鏈的兩端分別通過拖鏈前支撐和拖鏈后支撐安裝在掛板上；所述掛板外壁上還安裝有氣管壓板。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種直寫光刻機吸盤壓板裝置，其特征在于：所述導軌的左右兩端分別設(shè)有一導軌擋塊；所述導軌擋塊安裝在掛板的外壁上。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種直寫光刻機吸盤壓板裝置，其特征在于：所述滑塊上安裝有連接件；所述連接件的一端與滾珠絲杠的螺母相連，另一端與第二氣缸的底部相連。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種直寫光刻機吸盤壓板裝置，其特征在于：所述連接件上設(shè)有感應(yīng)片。