[發明專利]過濾裝置及清洗設備

在審

• 申請號: 201910261692.8
• 申請日: 2019-04-02
• 公開（公告）號: CN111760372A
• 公開（公告）日: 2020-10-13
• 發明（設計）人: 初國超
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: B01D36/00
• 分類號: B01D36/00
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種過濾裝置，其特征在于，包括過濾本體和回收部，其中，所述過濾本體用于對待過濾流體進行過濾，所述回收部與所述過濾本體可拆卸的連接，用于回收經所述過濾本體過濾出的固體雜質。

2.根據權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，還包括透視結構，所述透視結構設置在所述過濾本體和/或所述回收部上。

3.根據權利要求2所述的過濾裝置，其特征在于，所述透視結構的制作材料包括可溶性聚四氟乙烯材料。

4.根據權利要求3所述的過濾裝置，其特征在于，所述過濾本體和/或所述回收部的制作材料包括可溶性聚四氟乙烯材料。

5.根據權利要求1-4任意一項所述的過濾裝置，其特征在于，所述過濾本體包括流通管道和過濾部件，所述流通管道包括供所述待過濾流體流入的流入端，和供所述待過濾流體流出的流出端；

所述過濾部件設置在所述流通管道中，用于對自所述流通管道的流入端流入所述流通管道中的所述待過濾流體進行過濾；所述回收部與所述流通管道可拆卸的連接，用于回收經所述過濾部件過濾出的所述固體雜質。

6.根據權利要求5所述的過濾裝置，其特征在于，所述過濾本體還包括回收管道，所述回收管道連接在所述流通管道的下方，并與所述回收部可拆卸的連接，且所述回收管道與所述流通管道的連接處位于所述過濾部件的上游，用于回收經所述過濾部件過濾出的所述固體雜質。

7.根據權利要求1所述的過濾裝置，其特征在于，所述回收部與所述過濾本體螺紋連接。

8.根據權利要求5所述的過濾裝置，其特征在于，所述過濾本體還包括排氣管道和開關部件，所述排氣管道與所述流通管道連接，所述開關部件設置在所述排氣管道中，用于控制所述排氣管道與大氣的連通或斷開。

9.根據權利要求5所述的過濾裝置，其特征在于，所述過濾部件包括過濾板，且所述過濾板所在平面與所述流通管道的徑向橫截面平行，所述過濾板中包括多個過濾孔，且多個所述過濾孔的總面積大于或等于所述流通管道的徑向橫截面的面積。

10.根據權利要求9所述的過濾裝置，其特征在于，所述過濾板的數量為多個，所述回收部的數量為多個，且多個所述過濾板與多個所述回收部一一對應設置；多個所述過濾板沿所述待過濾流體在所述流通管道中的流通方向間隔設置，每個所述回收部用于回收經與該所述回收部對應的所述過濾板過濾出的所述固體雜質。

11.根據權利要求10所述的過濾裝置，其特征在于，在所述待過濾流體在所述流通管道中的流通方向上，多個所述過濾板上的所述過濾孔的直徑逐漸減小。

12.根據權利要求5所述的過濾裝置，其特征在于，所述過濾本體還包括流入連接部件和流出連接部件，所述流入連接部件與所述流通管道的流入端連接，所述流出連接部件與所述流通管道的流出端連接，所述過濾本體通過所述流入連接部件和所述流出連接部件與過濾管路螺紋連接。

13.一種清洗設備，其特征在于，包括過濾管路和如權利要求1-12任意一項的所述過濾裝置，所述過濾裝置設置在所述過濾管路中，用于對所述過濾管路中的所述待過濾流體進行過濾。

14.根據權利要求13所述的清洗設備，其特征在于，還包括二級過濾器、泵、工藝腔室，所述二級過濾器、所述泵和所述工藝腔室都設置在所述過濾管路中，所述工藝腔室用于進行工藝產生所述待過濾流體，所述泵用于驅動所述待過濾流體在所述過濾管路中流動，所述過濾裝置相對于所述工藝腔室位于所述過濾管路的下游，且相對于所述泵和所述二級過濾器位于所述過濾管路的上游；

所述過濾管路的兩端都與所述工藝腔室連接，以使所述待過濾流體經所述過濾裝置和所述二級過濾器過濾后流回所述工藝腔室中循環利用。