[發明專利]一種紅外線控制電路

在審

• 申請號: 201910259907.2
• 申請日: 2019-04-02
• 公開（公告）號: CN111769031A
• 公開（公告）日: 2020-10-13
• 發明（設計）人: 劉海財
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01J37/304
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明涉及用于晶圓缺口位置檢測的紅外線光源。本發明提供了一種新型紅外線控制電路，該紅外線控制電路具有穩定可控、成本低的優點。當該紅外線控制電路應用于離子注入機時，可為晶圓缺口檢測提供穩定可控的紅外線光源，屬于半導體領域。

技術領域

本發明涉及一種紅外線控制電路，應用在離子注入機。

背景技術

離子注入機是將某種元素的原子進行電離，并使其在電場中加速，控制其以一定的速度和角度射入固體材料表面的設備。

粒子注入時，要求晶圓的缺口方向一致，以保證對固體材料的導電性能改善一致。所以在粒子注入前，需要對晶圓進行精確定位。

本發明設計了一種紅外線控制電路，為離子注入機晶圓定位提供了穩定可控的紅外線光源。

發明內容

本發明設計了一種紅外線控制電路，提供了穩定可控的紅外線光源，應用在離子注入機的晶圓定位。

本發明的一種紅外線控制電路由五大部分組成，包括輸入電路、放大電路、輸出電路、反饋電路及監測電路。

本發明提供的一種紅外線控制電路實現了兩個功能，一是由輸入電路101、放大電路102、輸出電路103、反饋電路104實現的閉環控制紅外線光強功能，二是由反饋電路104和監測電路105實現的實時監測紅外線光強功能。

本發明具有如下顯著優點：

1.紅外線光強穩定可控、

2.紅外線光強可監測。

3.控制電路簡單，成本低。

附圖說明

圖1為根據本發明的一個實施方式的紅外線控制電路結構框圖

圖2為根據本發明的一個實施方式的輸入電路結構框圖

圖3為根據本發明的一個實施方式的放大電路結構框圖

圖4為根據本發明的一個實施方式的輸出電路結構框圖

圖5為根據本發明的一個實施方式的反饋電路結構框圖

圖6為根據本發明的一個實施方式的監測電路結構框圖

具體實施方式

下面結合附圖進一步詳細描述本發明，本發明的較佳實施例圖示在附圖中。提供實施例是為了使揭示的內容更加透徹和完整。但不作為對本發明的限定。

圖1為根據本發明的一個實施方式的紅外線控制電路結構框圖，其中

101為輸入電路，

102為放大電路，

103為輸出電路，

104為反饋電路，

105為監測電路。

紅外線控制電路的控制信號由輸入電路101轉化為相應電壓信號，該電壓信號經放大電路102進行電壓調理，調理信號控制輸出電路103的電流，驅動LED發出紅外線，反饋電路104中的光敏電阻接收紅外線信號，并轉換為電壓信號輸入至放大電路的輸入端，形成閉環控制。反饋電路104轉換的電壓信號另外經過監測電路105的處理，轉換為0～10V的可監測電壓信號，該信號是紅外線光強的量化指標。

圖2為根據本發明的一個實施方式的輸入電路結構框圖，201為2個限流電阻，202為1個分壓電阻，在202分壓電阻處并聯電容，起濾波作用。控制信號經過限流電阻限流，分壓電阻的分壓得到電壓信號。控制信號與電壓信號滿足下式的關系：

u_i＝λ₁·u_c (1)