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[發明專利]一種紅外線控制電路在審

專利信息
申請號: 201910259907.2 申請日: 2019-04-02
公開(公告)號: CN111769031A 公開(公告)日: 2020-10-13
發明(設計)人: 劉海財 申請(專利權)人: 北京中科信電子裝備有限公司
主分類號: H01J37/317 分類號: H01J37/317;H01J37/304
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 101111 北京市通*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 紅外線 控制電路
【權利要求書】:

1.一種紅外線控制電路,為晶圓定位提供穩定的紅外線光源。該控制電路包括:

輸入電路,用于轉換輸入電壓,

放大電路,用于放大輸入電壓,

輸出電路,用于控制紅外線產生器件,

反饋電路,用于檢測紅外線強度信號,并將此信號反饋至放大電路的輸入端,監測電路,用于處理紅外線強度信號,轉換0~10V可監測的電壓信號。

2.如權利要求1所述的一種紅外線控制電路,其所述輸入電路是由3個或任意不少于2個電阻接地。

3.如權利要求1所述的一種紅外線控制電路,其所述放大電路包括功率放大器、PNP晶體管、NPN晶體管。

4.如權利要求1所述的一種紅外線控制電路,其所述輸出電路有NPN晶體管、1個或多個電阻、12個或任意個940nm或其他波長紅外線LED。

5.如權利要求1所述的一種紅外線控制電路,其所述反饋電路包括光敏二極管、1個或多個電阻接地。

6.如權利要求1所述的一種紅外線控制電路,其所述監測電路由3個放大器構成,其中一級放大器用于電壓反相比例放大,二級放大器用于電壓跟隨,三級放大器用于電壓反相。

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