[發(fā)明專利]用于檢查的具有電可控制孔徑的傳感器及計量系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910251964.6
• 申請日: 2016-05-13
• 公開（公告）號: CN110062180B
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發(fā)明（設計）人: 勇-霍·亞歷克斯·莊;約翰·費爾登;戴維·L·布朗;張璟璟;凱斯·里昂;馬克·士·王
• 申請（專利權）人: 科磊股份有限公司
• 主分類號: H04N5/3722
• 分類號: H04N5/3722;G01N21/956
• 代理公司: 北京律盟知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 劉麗楠

1.一種檢查樣本的方法，所述方法包括：

將輻射引導及聚焦到所述樣本上；

將從所述樣本接收的輻射引導到線傳感器，其中所述線傳感器包含安置于襯底上的多個像素，每一所述像素包含附接到所述襯底的上表面且安置于每一所述像素的相關聯(lián)光敏區(qū)域上方的電阻式控制柵極，且其中引導接收到的輻射包含引起經(jīng)引導的光進入每一所述像素的所述相關聯(lián)光敏區(qū)域；

使用預定孔徑控制信號驅(qū)動每一所述像素的所述電阻式控制柵極，使得所述電阻式控制柵極在所述相關聯(lián)光敏區(qū)域中產(chǎn)生電場，所述電場將由第一光部分在每一所述像素的第一光敏部分中產(chǎn)生的第一光電子驅(qū)動到經(jīng)定位成鄰近每一所述電阻式控制柵極的第一端部分的第一電荷積累區(qū)域中，且將由第二光部分在每一所述像素的第二光敏部分中產(chǎn)生的第二光電子驅(qū)動到經(jīng)定位成鄰近每一所述電阻式控制柵極的第二端部分的第二電荷積累區(qū)域中，及

讀出及測量僅收集于所述第一電荷積累區(qū)域和所述第二電荷積累區(qū)域中的一者中的電荷，且忽視收集于所述第一電荷積累區(qū)域和所述第二電荷積累區(qū)域中的另一者中的電荷。

2.根據(jù)權利要求1所述的方法，其進一步包括：在預定周期期間測量積累于所述第一電荷積累區(qū)域中的所述第一光電子。

3.根據(jù)權利要求2所述的方法，其中引導所述輻射進一步包括：產(chǎn)生共焦圖像，所述共焦圖像包含從所述樣本引導到每一所述像素的所述相關聯(lián)光敏區(qū)域的第一光敏部分中的第一共焦圖像部分；及從所述樣本引導到每一所述像素的所述相關聯(lián)光敏區(qū)域的第二光敏部分中的第二共焦圖像部分。

4.根據(jù)權利要求2所述的方法，其中引導所述輻射進一步包括：將安置于第一角度范圍內(nèi)的第一輻射部分從所述樣本引導到每一所述像素的所述相關聯(lián)光敏區(qū)域的第一光敏部分中；及將安置于第二角度范圍內(nèi)的第二輻射部分從所述樣本引導到每一所述像素的所述相關聯(lián)光敏區(qū)域的第二光敏部分中。

5.根據(jù)權利要求1所述的方法，其中驅(qū)動每一所述像素的所述電阻式控制柵極包括：在接觸每一所述電阻式控制柵極的對置端部分的第一端電極及第二端電極上產(chǎn)生第一孔徑控制信號及第二孔徑控制信號；及在接觸每一所述電阻式控制柵極的中心部分的至少一個中心電極上產(chǎn)生第三孔徑控制信號。

6.根據(jù)權利要求5所述的方法，其中驅(qū)動所述電阻式控制柵極進一步包括：

在第一時間周期期間，產(chǎn)生所述第一孔徑控制信號、所述第二孔徑控制信號及所述第三孔徑控制信號，使得所述第一孔徑控制信號的電壓電平及所述第二孔徑控制信號的電壓電平大于所述第三孔徑控制信號的電壓電平，及

在第二時間周期期間，產(chǎn)生所述第一孔徑控制信號、所述第二孔徑控制信號及所述第三孔徑控制信號，使得所述第一孔徑控制信號的所述電壓電平大于所述第二孔徑控制信號的所述電壓電平及所述第三孔徑控制信號的所述電壓電平。

7.根據(jù)權利要求1所述的方法，其中驅(qū)動每一所述像素的所述電阻式控制柵極包括：在分別接觸每一所述電阻式控制柵極的對應端部分的第一端電極及第二端電極上產(chǎn)生第一孔徑控制信號及第二孔徑控制信號；及分別在分別接觸每一所述電阻式控制柵極的對應中心部分的第一中心電極、第二中心電極及第三中心電極上產(chǎn)生第三孔徑控制信號、第四孔徑控制信號及第五孔徑控制信號，其中所述第一孔徑控制信號的電壓電平、所述第二孔徑控制信號的電壓電平及所述第四孔徑控制信號的電壓電平大于所述第三孔徑控制信號的電壓電平及所述第五孔徑控制信號的電壓電平，借此每一所述像素的所述電阻式控制柵極在所述相關聯(lián)光敏區(qū)域中產(chǎn)生電場，所述電場將所述第一光電子驅(qū)動到所述第一電荷積累區(qū)域中，將所述第二光電子驅(qū)動到所述第二電荷積累區(qū)域中，且將由第三光部分在每一所述像素的第三光敏部分中產(chǎn)生的第三光電子驅(qū)動到定位于所述第一電荷積累區(qū)域與所述第二電荷積累區(qū)域之間的第三電荷積累區(qū)域中。