[發(fā)明專(zhuān)利]集成電路光學(xué)芯片光圈測(cè)試方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910251137.7
• 申請(qǐng)日: 2019-03-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110031188B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王華;張志勇;鄧維維;余琨;季海英;羅斌
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海華嶺集成電路技術(shù)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01M11/02
• 分類(lèi)號(hào): G01M11/02;G01R31/303;G01N21/95
• 代理公司: 上海海貝律師事務(wù)所 31301
• 代理人: 范海燕

1.一種集成電路光學(xué)芯片光圈測(cè)試方法，其特征在于：

對(duì)抓取到的圖像陣列按照?qǐng)A的概念進(jìn)行處理，處理的方法即是通過(guò)半徑來(lái)劃分，得到一個(gè)一個(gè)的圓形圖案，按照坐標(biāo)進(jìn)行重構(gòu)為另外的一個(gè)二維數(shù)組，然后對(duì)得到的數(shù)組進(jìn)行相應(yīng)的運(yùn)算，最終得到需要的值；

具體如下步驟進(jìn)行：

1)抓取到圖像，將圖像按照X、Y坐標(biāo)排列成二維陣列；

2)根據(jù)待測(cè)陣列的尺寸，以陣列的行Y、列X值小的一半為光圈的最大半徑R；

3)以原圖像中心坐標(biāo)為圓心，坐標(biāo)00，將原圖像進(jìn)行轉(zhuǎn)換；

4)從圓心為坐標(biāo)中心，半徑為1開(kāi)始，查找在圓半徑上的坐標(biāo)；

5)根據(jù)選取的坐標(biāo)以R為半徑重新構(gòu)成一個(gè)二維數(shù)組；

6)按照行數(shù)組求取每個(gè)數(shù)組中所有坐標(biāo)對(duì)應(yīng)像素的均值；

7)將得到的均值轉(zhuǎn)換為一維數(shù)組，M[]＝[M1,M2,M3……MN]；

8)將一維數(shù)組M中元素按照相鄰相減的原則進(jìn)行運(yùn)算；

X1＝M2-M1；

X2＝M3-M2；

XN-1＝MN-MN-1

通過(guò)運(yùn)算后得到一維數(shù)組X[]＝[X1,X2……XN-1]；

9)求取數(shù)組X絕對(duì)值最大值；

將絕對(duì)值最大值與需要進(jìn)行光圈判斷的標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比較，超過(guò)標(biāo)準(zhǔn)值即判斷為光圈測(cè)試失效，否則即為合格。

2.如權(quán)利要求1所述的集成電路光學(xué)芯片光圈測(cè)試方法，其特征在于：3)步驟，構(gòu)成左-80、0，中心0、0，右80、0，上0、80，下0、-80的一個(gè)圓。

3.如權(quán)利要求2所述的集成電路光學(xué)芯片光圈測(cè)試方法，其特征在于：4)步驟，查找方式如下：

R＝1,2,3,4……N；

R＝1時(shí)，以R為半徑，X,Y坐標(biāo)取最接近半徑R的坐標(biāo)。

4.如權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的集成電路光學(xué)芯片光圈測(cè)試方法，其特征在于，5)步驟構(gòu)成一個(gè)二維數(shù)組，方式如下：

Array[R＝1]＝[(1,0)，(0,1)，(-1，0)，(0，-1)]

Array[R＝2]＝[(2,0)，(2,1)，(1,2)，(0,2),(-1,2)，(-2,1)，(-2,0)，(-2，-1)，(-1，-2)，(0，-2)，(1，-2)，(2，-1)]

…

Array[R＝N]＝[()，()，()…]。