[發(fā)明專利]微機(jī)電泵的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910249696.4
• 申請日: 2019-03-29
• 公開（公告）號: CN111747373B
• 公開（公告）日: 2023-02-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 莫皓然;余榮侯;張正明;戴賢忠;廖文雄;黃啟峰;韓永隆;蔡長諺
• 申請（專利權(quán)）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02;B81C1/00
• 代理公司: 隆天知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 聶慧荃;鄭特強(qiáng)

一種微機(jī)電泵的制造方法，包含以下步驟：提供第一基板，第一基板具有第一表面及第二表面；于第一基板上形成第一氧化層，并形成流入孔；對第一氧化層進(jìn)行蝕刻，形成匯流腔室及匯流通道；提供第二基板，第二基板具有第三表面及第四表面；對第二基板的第三表面進(jìn)行蝕刻，以形成穿孔；通過第二基板的穿孔進(jìn)行蝕刻，以于第二基板內(nèi)形成振動腔室；將第二基板結(jié)合至第一基板，第二基板的第三表面與第一氧化層貼合；并對第二基板的第四表面進(jìn)行薄化，形成與第三表面相對的薄化表面；于薄化表面疊置壓電組件。

技術(shù)領(lǐng)域

本案是關(guān)于一種微機(jī)電泵的制造方法，尤指一種透過半導(dǎo)體制程來制作微機(jī)電泵的制造方法。

背景技術(shù)

目前于各領(lǐng)域中無論是醫(yī)藥、電腦科技、打印、能源等工業(yè)，產(chǎn)品均朝精致化及微小化方向發(fā)展，其中微幫浦、噴霧器、噴墨頭、工業(yè)打印裝置等產(chǎn)品所包含的用以輸送流體的泵構(gòu)為其關(guān)鍵元件，是以，如何借創(chuàng)新結(jié)構(gòu)突破其技術(shù)瓶頸，為發(fā)展的重要內(nèi)容。

隨著科技的日新月異，流體輸送裝置的應(yīng)用上亦愈來愈多元化，舉凡工業(yè)應(yīng)用、生醫(yī)應(yīng)用、醫(yī)療保健、電子散熱等等，甚至近來熱門的穿戴式裝置皆可見它的踨影，可見傳統(tǒng)的泵已漸漸有朝向裝置微小化、流量極大化的趨勢。

然而，目前微型化的泵雖然持續(xù)地改良使其微小化，但仍舊無法突破毫米等級進(jìn)而將泵縮小到微米等級，因此如何將泵縮小到微米等級并且將其完成為本案所欲發(fā)明的主要課題。

發(fā)明內(nèi)容

本案的主要目的在于提供一種微機(jī)電泵的制造方法，用以制造一微米等級的微機(jī)電泵，來減少體積對于泵的限制。

為達(dá)上述目的，本案的較廣義實(shí)施態(tài)樣為提供一種微機(jī)電泵的制造方法，包含以下步驟：

步驟(S101)提供一第一基板，該第一基板具有相對的一第一表面及一第二表面；

步驟(S102)于該第一基板的該第一表面上形成一第一氧化層，以及形成自該第二表面至該第一表面呈漸縮的多個流入孔；

步驟(S103)對該第一氧化層進(jìn)行蝕刻，以形成一匯流腔室及多個匯流通道，且該多個匯流通道分別對應(yīng)于該第一基板的該多個流入孔；

步驟(S104)提供一第二基板，該第二基板具有相對的一第三表面及一第四表面；

步驟(S105)對該第二基板的該第三表面進(jìn)行蝕刻，以于其中心形成一穿孔；

步驟(S106)通過該第二基板的該穿孔進(jìn)行蝕刻，以于第二基板內(nèi)形成一振動腔室；

步驟(S107)將該第二基板結(jié)合至該第一基板，該第二基板的第三表面與該第一氧化層貼合；

步驟(S108)并對該第二基板的該第四表面進(jìn)行薄化，形成與該第三表面相對的一薄化表面；以及

步驟(S109)于該薄化表面疊置一壓電組件。

附圖說明

圖1A、圖1B為本案的微機(jī)電泵的制造方法的流程示意圖。

圖2A、圖2B為本案的微機(jī)電泵的制造方法的剖面示意圖。

圖3A為微機(jī)電泵的剖面示意圖。

圖3B為微機(jī)電泵的分解示意圖。

圖4為本案的微機(jī)電泵的另一制造方法的流程示意圖。

圖5A、圖5B為本案的微機(jī)電泵的第二基板的剖面示意圖。

圖6為本案微機(jī)電泵的壓電組件的制造流程圖。

圖7A至圖7C為微機(jī)電泵的作動示意圖。

附圖標(biāo)記說明

100：微機(jī)電泵

1：第一基板