[發明專利]一種平板式PECVD設備閥門密封裝置

在審

• 申請號: 201910249599.5
• 申請日: 2019-03-29
• 公開（公告）號: CN111750119A
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 龔杰洪;陳特超;楊彬;唐電;李建志
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: F16K1/20
• 分類號: F16K1/20;F16K1/46
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 周長清;徐好

本發明公開了一種平板式PECVD設備閥門密封裝置，包括閥體、閥板、設于閥板上的密封圈、以及用于帶動閥板啟閉的轉軸，所述閥板上固設有第一連接件，所述轉軸上固設有第二連接件，所述第二連接件上固設有連接銷，所述第一連接件上設有豎向的腰型孔，所述連接銷設于所述腰型孔中。本發明具有結構簡單、可靠、有利于防止密封圈扭轉損壞等優點。

技術領域

本發明涉及平板式PECVD設備，尤其涉及一種平板式PECVD設備閥門密封裝置。

背景技術

現有的平板式PECVD設備是采用多腔體串聯結構，工件從設備一端連續運動至另一端，完成整個薄膜生長過程。設備每個腔體完成不同功能，每個腔體需要獨立工作，因此，每個腔體之間需要進行有效隔離。由于腔體寬度尺寸大，各腔體內的工序時間短，各腔體之間的隔離大都采用旋轉式翻板閥門進行密封隔離，閥門的閥板上安裝有密封圈以保證關閉時的密封性。隨著生產節拍的加快，閥板需要頻繁啟閉，由于閥板是旋轉結構，關閉時閥板上的密封圈會受到切向力，容易使密封圈產生扭轉，導致密封圈使用壽命較短，需要經常更換。

發明內容

本發明要解決的技術問題是克服現有技術的不足，提供一種結構簡單、可靠、有利于防止密封圈扭轉損壞的平板式PECVD設備閥門密封裝置。

為解決上述技術問題，本發明采用以下技術方案：

一種平板式PECVD設備閥門密封裝置，包括閥體、閥板、設于閥板上的密封圈、以及用于帶動閥板啟閉的轉軸，所述閥板上固設有第一連接件，所述轉軸上固設有第二連接件，所述第二連接件上固設有連接銷，所述第一連接件上設有豎向的腰型孔，所述連接銷設于所述腰型孔中。

作為上述技術方案的進一步改進：所述第二連接件設有多個并沿所述轉軸的軸向布置，所述第一連接件設有多個并與多個所述第二連接件一一對應布置。

作為上述技術方案的進一步改進：所述密封圈為空心充氣密封圈。

與現有技術相比，本發明的優點在于：本發明公開的平板式PECVD設備閥門密封裝置，采用旋轉密封，工作時，轉軸旋轉，帶動第二連接件及連接銷擺動，連接銷則帶動第一連接件及閥板繞轉軸軸線旋轉，并將閥板壓緊于閥體上，利用密封圈的形變填充閥體與閥板之間的間隙，由于連接銷穿設于豎向的腰型孔中，從而可以消除第一連接件及閥板豎向的位移，進而防止密封圈發生扭轉損壞，結構簡單、可靠，有利于延長密封圈的使用壽命。

附圖說明

圖1是本發明平板式PECVD設備閥門密封裝置的結構示意圖。

圖2是圖1的局部放大圖。

圖中各標號表示：1、閥體；2、閥板；21、第一連接件；22、腰型孔；3、密封圈；4、轉軸；41、第二連接件；42、連接銷。

具體實施方式

以下結合說明書附圖和具體實施例對本發明作進一步詳細說明。

圖1示出了本發明的一種實施例，本實施例的平板式PECVD設備閥門密封裝置，包括閥體1、閥板2、設于閥板2上的密封圈3、以及用于帶動閥板2旋轉的轉軸4，閥板2上固設有第一連接件21，轉軸4上固設有第二連接件41，第二連接件41上固設有連接銷42，第一連接件21上設有豎向的腰型孔22，連接銷42設于腰型孔22中。

該平板式PECVD設備閥門密封裝置，采用旋轉密封，工作時，轉軸4旋轉，帶動第二連接件41及連接銷42擺動，連接銷42則帶動第一連接件21及閥板2與之一起旋轉，并將閥板2壓緊于閥體1上，利用密封圈3填充閥體1與閥板2之間的間隙，由于連接銷42穿設于豎向的腰型孔22中，從而可以消除第一連接件41及閥板2豎向的位移，進而防止密封圈3發生扭轉損壞，結構簡單、可靠，有利于延長密封圈3的使用壽命。