[發(fā)明專利]一種平板式PECVD設備閥門密封裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910249599.5
• 申請日: 2019-03-29
• 公開（公告）號: CN111750119A
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發(fā)明（設計）人: 龔杰洪;陳特超;楊彬;唐電;李建志
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: F16K1/20
• 分類號: F16K1/20;F16K1/46
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 周長清;徐好

1.一種平板式PECVD設備閥門密封裝置，其特征在于：包括閥體(1)、閥板(2)、設于閥板(2)上的密封圈(3)、以及用于帶動閥板(2)啟閉的轉(zhuǎn)軸(4)，所述閥板(2)上固設有第一連接件(21)，所述轉(zhuǎn)軸(4)上固設有第二連接件(41)，所述第二連接件(41)上固設有連接銷(42)，所述第一連接件(21)上設有豎向的腰型孔(22)，所述連接銷(42)設于所述腰型孔(22)中。

2.根據(jù)權利要求1所述的平板式PECVD設備閥門密封裝置，其特征在于：所述第二連接件(41)設有多個并沿所述轉(zhuǎn)軸(4)的軸向布置，所述第一連接件(21)設有多個并與多個所述第二連接件(41)一一對應布置。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的平板式PECVD設備閥門密封裝置，其特征在于：所述密封圈(3)為空心充氣密封圈。