[發(fā)明專利]晶片卡緊裝置和包括其的晶片測(cè)試設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910248428.0
• 申請(qǐng)日: 2019-03-29
• 公開（公告）號(hào): CN110346609A
• 公開（公告）日: 2019-10-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張仁奎;金成龍;徐載亨;蘇縣俊;孫守鏞
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 愛思開海力士有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/04
• 分類號(hào): G01R1/04
• 代理公司: 北京弘權(quán)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11363
• 代理人: 許偉群;阮愛青

1.一種晶片卡緊裝置，包括：

用于支撐晶片的卡盤，所述卡盤包括形成在所述卡盤的上表面上的多個(gè)第一環(huán)形真空槽；

真空夾緊器，其連接到所述卡盤的側(cè)表面，以向所述晶片的下表面提供夾緊力；以及

密封構(gòu)件，其布置在所述卡盤的所述上表面上并且被配置為包圍所述多個(gè)第一環(huán)形真空槽之中的最外面的第一環(huán)形真空槽。

2.如權(quán)利要求1所述的晶片卡緊裝置，其中，所述密封構(gòu)件與所述最外面的第一環(huán)形真空槽間隔開。

3.如權(quán)利要求1所述的晶片卡緊裝置，其中，在所述卡盤的所述上表面上形成有用于部分地容納所述密封構(gòu)件的插入槽。

4.如權(quán)利要求3所述的晶片卡緊裝置，其中，所述插入槽具有在所述插入槽中從上端到下端逐漸增大的直徑。

5.如權(quán)利要求3所述的晶片卡緊裝置，其中，在所述卡盤的所述上表面上形成有臺(tái)階部分，所述臺(tái)階部分被配置為包圍所述插入槽的入口。

6.如權(quán)利要求1所述的晶片卡緊裝置，其中，所述密封構(gòu)件具有實(shí)心結(jié)構(gòu)，所述實(shí)心結(jié)構(gòu)具有封閉的兩端，并且所述密封構(gòu)件包括彈性材料。

7.如權(quán)利要求1所述的晶片卡緊裝置，其中，所述密封構(gòu)件具有中空管狀的形狀，并且所述密封構(gòu)件包括彈性材料。

8.如權(quán)利要求1所述的晶片卡緊裝置，其中，所述密封構(gòu)件具有呈均勻?qū)挾鹊膸螤睢?/p>

9.如權(quán)利要求1所述的晶片卡緊裝置，其中，所述密封構(gòu)件包括管狀主體部分和與所述主體部分連接的尾部分。

10.如權(quán)利要求9所述的晶片卡緊裝置，其中，在所述卡盤的所述上表面上形成有第一臺(tái)階部分，所述密封構(gòu)件的所述尾部分布置在所述第一臺(tái)階部分處，并且在所述卡盤的所述上表面上形成有與所述第一臺(tái)階部分相鄰的第二臺(tái)階部分。

11.如權(quán)利要求10所述的晶片卡緊裝置，還包括固定構(gòu)件，所述固定構(gòu)件布置在所述密封構(gòu)件的所述尾部分，以將所述尾部分固定到所述第一臺(tái)階部分的底表面。

12.如權(quán)利要求1所述的晶片卡緊裝置，其中，所述卡盤還包括形成在所述卡盤的所述上表面上的第二環(huán)形真空槽，所述第二環(huán)形真空槽與所述密封構(gòu)件間隔開并且在所述密封構(gòu)件的外側(cè)延伸。

13.如權(quán)利要求1所述的晶片卡緊裝置，其中，所述卡盤還包括：

多個(gè)真空孔，其形成在所述多個(gè)第一環(huán)形真空槽中的每個(gè)環(huán)形真空槽的底表面上；以及

至少一個(gè)真空線路，其形成在所述卡盤中并且平行于所述卡盤的所述上表面而延伸，所述真空線路連接到所述多個(gè)真空孔。

14.如權(quán)利要求13所述的晶片卡緊裝置，其中，所述多個(gè)真空孔包括：

多個(gè)第一真空孔，其布置在沿第一方向延伸的第一直線上；以及

多個(gè)第二真空孔，其布置在沿第二方向延伸的第二直線上，所述第二方向相對(duì)于所述第一方向以規(guī)定角度傾斜。

15.如權(quán)利要求14所述的晶片卡緊裝置，其中，所述至少一個(gè)真空線路包括：

第一真空線路，其連接到所述多個(gè)第一真空孔；以及

第二真空線路，其連接到所述多個(gè)第二真空孔。

16.如權(quán)利要求14所述的晶片卡緊裝置，其中，所述第一真空孔的數(shù)量大于所述第二真空孔的數(shù)量。

17.如權(quán)利要求1所述的晶片卡緊裝置，還包括：

真空傳感器，用于對(duì)布置有所述多個(gè)第一環(huán)形真空槽的空間中的真空進(jìn)行感測(cè)；以及

警報(bào)器，用于根據(jù)所述真空傳感器的感測(cè)結(jié)果來產(chǎn)生并輸出警報(bào)信號(hào)。