[發明專利]彈性波裝置

有效

• 申請號: 201910247816.7
• 申請日: 2019-03-28
• 公開（公告）號: CN110324021B
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 山根毅;高井努;竹下徹
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/10
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 李國華

提供一種彈性波裝置，更加難以產生布線電極的斷線且可靠性更加優異。彈性波裝置(1)在支承基板(2)上層疊有包含壓電薄膜4的層疊膜(3)。在設置有IDT電極的區域的外側的區域(R)，局部地不存在層疊膜(3)。第一絕緣層(12)設置為從不存在該層疊膜(3)的區域(R)的至少一部分到達壓電薄膜(4)上。布線電極(6a)設置為從壓電薄膜(4)上到達第一絕緣層(12)上，且到達位于區域(R)的第一絕緣層部分上。另外，在支承基板(2)上設置有具有用于構成中空空間的開口部的支承層(8)。支承層(8)在布線電極(6a)上具有從不存在層疊膜(3)的區域(R)到達第一絕緣層(12)的內側端(12c)的上方的部分。

技術領域

本發明涉及在支承基板上設置有層疊膜的彈性波裝置，該層疊膜具有包含壓電薄膜的多個膜。

背景技術

以往，彈性波裝置廣泛用于便攜式電話機的濾波器等。

作為這樣的彈性波裝置的一例，在下述的專利文獻1中公開了一種在支承基板上設置有層疊膜的彈性波裝置，該層疊膜具有包含壓電薄膜的多個膜。在該彈性波裝置中，在設置有IDT電極的區域的外側的區域，局部地不存在層疊膜。而且，將絕緣層設置為從不存在層疊膜的區域的至少一部分到達壓電薄膜上。另外，將布線電極設置為從壓電薄膜上到達絕緣層、且到達位于不存在層疊膜的區域的絕緣層部分上。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開第2016/208428號小冊子

發明內容

發明要解決的課題

在專利文獻1所記載的彈性波裝置中，由于具備上述那樣的結構，因此，難以產生壓電薄膜的破裂、缺損，并且難以產生層疊膜上的界面剝離，進而難以產生布線電極的斷線。

然而，近年來，要求在重復低溫至高溫的循環這樣的嚴酷條件下也難以產生布線電極的斷線的彈性波裝置，對彈性波裝置要求的要求性能日益提高。

本發明的目的在于，提供一種更加難以產生布線電極的斷線、可靠性更加優異的彈性波裝置。

用于解決課題的手段

本發明的彈性波裝置具備：支承基板；層疊膜，其設置于所述支承基板或所述支承基板的上方，且具有包含壓電薄膜的多個膜；IDT電極，其設置于所述壓電薄膜的一個面；第一絕緣層，在俯視下，在設置有所述IDT電極的區域的外側的區域，局部地不存在所述層疊膜，該第一絕緣層設置為從不存在所述層疊膜的區域的至少一部分到達所述壓電薄膜上；布線電極，其與所述IDT電極電連接，該布線電極從所述壓電薄膜上的一個區域到達所述第一絕緣層上，且到達位于不存在所述層疊膜的區域的所述第一絕緣層部分上；以及支承層，其設置于所述支承基板或所述支承基板的上方，且具有用于構成中空空間的開口部，所述支承層在所述布線電極上具有從不存在所述層疊膜的區域到達位于所述壓電薄膜上的所述第一絕緣層的內側端的上方的部分。

在本發明的彈性波裝置的某一特定方面，所述支承層在所述布線電極上具有從不存在所述層疊膜的區域到達比位于所述壓電薄膜上的所述第一絕緣層的內側端靠內側的位置的部分。

在本發明的彈性波裝置的另一特定方面，所述第一絕緣層從不存在所述層疊膜的區域的至少一部分起，通過所述層疊膜的側面而到達所述壓電薄膜上。

在本發明的彈性波裝置的又一特定方面，所述第一絕緣層的與所述支承基板側相反的一側的面具有第一傾斜面，該第一傾斜面傾斜為隨著從不存在所述層疊膜的區域接近位于所述壓電薄膜上的部分而遠離所述支承基板側。

在本發明的彈性波裝置的又一特定方面，所述第一絕緣層的所述第一傾斜面從所述支承基板上到達所述壓電薄膜上的所述第一絕緣層的一個區域。

在本發明的彈性波裝置的又一特定方面，所述第一絕緣層從所述第一傾斜面到達不存在所述層疊膜的區域的至少一部分。